张德福

作品数：19被引量：98H指数：6
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：光学元件反射镜投影物镜遥感相机光刻物镜更多>>
发文领域：机械工程电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《光子学报》《中国激光》《激光与光电子学进展》《中国科学：技术科学》更多>>
所获基金：国家科技重大专项国家自然科学基金吉林省科技发展计划基金更多>>
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S型柔性结构的柔度建模与验证分析
《机械传动》2025年第2期131-137,共7页余明伟 李宗轩 张德福 李清雅 徐佳坤 
中国科学院青年创新促进会2021会员项目(2021218);中国科学院天基动态快速光学成像技术重点实验室基金项目(CXJJ-22S040)。
【目的】现有文献对柔性铰链的分析大多基于Euler-Bernoulli梁模型,忽略了剪切挠度的影响。为进行更精确的柔度计算,基于Timshenko梁模型和旋量变换理论,针对由直梁柔性单元组成的一般柔性机构建立了其柔度分析模型。【方法】以S型柔性...
关键词：柔性机构 Timshenko梁 旋量变换 柔度矩阵 
1.8 m长条形轻质SiC反射镜支撑位置设计
《光学学报》2024年第13期240-248,共9页龙荃 李宗轩 张德福 李清雅 任书慧 徐佳坤 
中国科学院青年创新促进会项目(2021218);中国科学院天基动态快速光学成像技术重点实验室项目(CXJJ-22S040);“旭光”人才计划(E1X011Y6X0)。
反射镜在自重作用下的形变是影响光学表面质量的重要误差源之一。对于圆形的反射镜来说,其内部有一个中性面,当柔性支撑的回转中心与中性面重合时,反射镜表面受到重力影响后的形变最小。但由于长条形反射镜不再具有回转对称性,其原有的...
关键词：离轴三反相机 长条形反射镜 中性面 柔性支撑 面形误差 
航天光学相机微振动的光机集成分析现状与展望被引量：1
《光学精密工程》2023年第6期822-838,共17页马斌 宗易昕 李宗轩 李清雅 张德福 李云峰 
吉林省科技发展计划资助项目(No.20200201294JC)。
随着我国航天事业的持续发展和不断进步,航天光学相机正在朝着大口径、大视场、高分辨、轻量化的趋势发展,这对相机的设计分析提出了更高的要求。光学系统焦距与光学口径不断增加,光机系统刚度受质量限制提升空间有限,其对星上活动部件...
关键词：微振动 航天光学相机 线性状态空间 光机集成 
1.8 m空间长条反射镜柔性支撑技术研究被引量：2
《中国光学（中英文）》2022年第5期1079-1091,共13页李宗轩 张昌昊 张德福 马斌 李云峰 
吉林省科技发展计划项目(No.20200201294JC)。
1.8 m×0.5 m口径的长条形主反射镜是某空间离轴三反光学系统的重要光学元件,其面形精度的好坏是决定光学系统在轨成像质量的关键。为保证主镜组件结构的稳定性、可靠性及反射镜的面形精度,提出一种适用于大尺寸长条形反射镜的双轴柔性...
关键词：空间光学 离轴三反光学系统 长条反射镜 柔性支撑 有限元方法 动力学实验 
交叉簧片柔性铰链设计被引量：6
《中国机械工程》2022年第10期1203-1209,共7页吴昊 李宗轩 张德福 李清雅 李云峰 
国家自然科学基金(62005275)。
针对某光学仪器对光学元件柔性支撑的要求,提出了一种新型交叉簧片型柔性铰链,利用卡氏第二定理研究了设计方法。首先,利用卡氏第二定理推导交叉簧片型柔性铰链的柔度计算公式,确定铰链的轴向刚度与转动刚度,分析了直梁长度、直梁高度...
关键词：交叉簧片柔性铰链 有限元分析 卡氏第二定理 转动刚度 
金属橡胶减振器在同轴两反空间相机中的应用被引量：4
《光学精密工程》2021年第3期524-535,共12页宋文轩 李宗轩 谢晓光 吴昊 张德福 
国家科技重大专项(No.2016YFB0501202);吉林省科技发展计划资助项目(No.20180414066GH)。
为了减少振动对同轴两反空间相机的影响,研究了金属橡胶减振结构及同轴两反空间相机的随机振动响应。分析金属橡胶结构的力学模型,研制出串联金属橡胶减振结构,建立空间相机的有限元模型并进行模态分析和随机振动响应分析;最后,通过正...
关键词：空间相机 金属橡胶 减振 有限元分析 随机振动 
光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析被引量：4
《中国光学》2017年第6期790-797,共8页董世则 郭抗 李显凌 陈华男 张德福 
国家科技重大专项(02专项)资助项目(No.2009ZX02205);国家自然科学基金资助项目(No.61504142)~~
设计了一种狭缝柔性结构的光学元件调节机构,使光学元件在具备较高调节精度的同时,保持较高的导向精度。采用弹性力学应力函数法分析了狭缝柔性结构的刚度,以径向刚度与轴向刚度的比值为目标函数,对狭缝柔性结构尺寸参数进行了优化,在...
关键词：光刻物镜 调节机构 狭缝柔性结构 刚度比 导向精度 
193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展被引量：11
《中国科学：技术科学》2017年第6期565-581,共17页张德福 李显凌 芮大为 李朋志 东立剑 张建国 
国家自然科学基金(批准号:61504142);国家科技重大专项基金(批准号:2009ZX02205)资助项目
结合双/多曝光的193nm投影光刻是未来5~10年大规模集成电路工业化生产的主要方法.投影物镜作为光刻机的核心分系统,其光机系统关键技术的研究进展直接影响物镜整体性能的提升.本文分析了当前集成电路装备制造业对193nm投影物镜的需求,...
关键词：集成电路 光刻 投影物镜 波像差 调节机构 主动光学 
基于微PCD刀具的微结构成型制造与应用被引量：1
《纳米技术与精密工程》2016年第4期304-309,共6页陈颖 张建国 张德福 
国家自然科学基金资助项目(61504142)
本文提出一种基于微聚晶金刚石(PCD)刀具的微结构快速车削成型制造方法.首先利用电火花线切割加工(WEDM)放电蚀除技术实现了微PCD刀具的精密切割成型制造.在WEDM过程中对线切割丝的运动轨迹、电火花加工间隙及加工能量进行了研究分析以...
关键词：微结构 微PCD刀具 电火花线切割加工 微车削 
面向电容式传感器线性度标定的柔性微动机构设计被引量：3
《仪器仪表学报》2016年第6期1210-1217,共8页张德福 李显凌 葛川 倪明阳 郭抗 
国家自然科学基金(61504142);国家科技重大专项基金(2009ZX02205)项目资助
针对光学精密工程中位移检测问题,研制了一种电容式位移传感器线性度标定装置。阐明了标定装置的组成和标定方法的原理,该装置采用运动轴、测量轴和传感轴三轴共线的设计方案,从测量原理上降低了阿贝误差。基于伪刚体模型和拉格朗日方...
关键词：柔性机构 伪刚体模型 传感器 线性度 标定 
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