陈华男

作品数：8被引量：25H指数：3
导出分析报告
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：光学元件投影光刻物镜光刻物镜柔性铰链镜框更多>>
发文领域：机械工程自动化与计算机技术理学文化科学更多>>
发文期刊：《光子学报》《真空》《光学学报》《电子测量与仪器学报》更多>>
所获基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-8
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析被引量：4
《中国光学》2017年第6期790-797,共8页董世则 郭抗 李显凌 陈华男 张德福 
国家科技重大专项(02专项)资助项目(No.2009ZX02205);国家自然科学基金资助项目(No.61504142)~~
设计了一种狭缝柔性结构的光学元件调节机构,使光学元件在具备较高调节精度的同时,保持较高的导向精度。采用弹性力学应力函数法分析了狭缝柔性结构的刚度,以径向刚度与轴向刚度的比值为目标函数,对狭缝柔性结构尺寸参数进行了优化,在...
关键词：光刻物镜 调节机构 狭缝柔性结构 刚度比 导向精度 
光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计被引量：1
《光电工程》2015年第6期50-56,共7页陈华男 郭抗 张玲花 刘健 尚红波 
国家重大科技专项02专项资助课题(2009ZX02005)
X-Y向柔性调节机构应用于光刻投影物镜中光学元件X-Y方向偏心位置补偿。基于柔性铰链,设计柔性二级减速机构,并将之应用到新型的一体式X-Y向柔性调节机构上。在对机构原理进行分析的基础上,对X-Y向柔性调节机构结构参数进行了优化设计...
关键词：光刻投影物镜 X-Y向柔性调节机构 减速机构 柔性铰链 
膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进被引量：3
《光学学报》2015年第1期338-345,共8页尚红波 刘春来 张巍 陈华男 
国家科技重大专项(2009ZX02205)
为了实现高成像要求,投影光刻物镜在设计时需要考虑膜层偏振效应的影响,并进行相应的分析和评价。首先介绍了基于琼斯矩阵的偏振像差理论,然后以一个数值孔径(NA)为0.75的投影光刻物镜为例,设计了相应膜系,系统分析了膜层引入的偏振像差...
关键词：光学制造 投影光刻物镜 膜系 偏振像差 对比度 
柔性环片结构的光学元件轴向调节机构设计
《光学学报》2014年第B12期348-354,共7页郭抗 陈华男 倪明阳 李显凌 
在保证光学元件极高面形精度和极高调节精度的同时，为了实现更大的调节行程，采用柔性环片结构，设计了一种光学元件轴向精密调节机构。建立了调节机构的有限元分析模型，分析了主要设计参数对调节机构的调节行程、应力值、固有频率、...
关键词：光学器件 轴向调节机构 有限元分析 柔性环片 
机器人足部柔性传感装置研究被引量：2
《电子测量与仪器学报》2013年第9期867-873,共7页王绍治 刘健 张玲花 陈华男 
为了满足足式机器人动态性能与环境适应性的要求,将测力元件与弹性元件相结合,提出了一种可用于机器人足部的柔性传感装置。通过对其力学模型的分析,给出了三维力/力矩计算与底面倾角估算方法。同时针对装置要求,完成了基于ARM的检测系...
关键词：柔性传感装置 足底倾角 力 力矩传感 信号调理 
光学加工中真空夹具设计及分析被引量：9
《真空》2013年第4期78-82,共5页陈华男 李显凌 孙振 
为了在光学加工中快速、可靠地装夹光学元件,设计了真空夹具,对该真空夹具引起光学元件变形量进行了分析。首先,根据光学加工对夹具的要求,应用手动静压快速夹头以及传统真空吸盘结构,设计了真空夹具;接着,对真空夹具引起光学元件变形...
关键词：真空夹具 光学元件 防护层 光学加工 
超光滑加工技术中光学元件表面材料的均匀去除被引量：1
《光子学报》2013年第4期417-422,共6页陈华男 王君林 刘健 
国家科技重大专项项目(No.2009ZX02205)资助
超光滑加工通常是在保证光学元件面型精度不劣化前提下提升其中高频精度.均匀去除是保证超光滑加工过程中光学元件面型精度不劣化的重要途径.本文以四轴三联动小磨头超光滑加工机床为基础,结合Preston假设,研究了四轴三联动超光滑加工...
关键词：小磨头 超光滑加工 均匀去除 等值驻留时间 
光学元件双转子抛光技术中类高斯型去除函数建模与逼近被引量：5
《光子学报》2013年第3期282-287,共6页陈华男 王君林 李显凌 王绍治 
国家科技重大专项项目(No.2009ZX02205)资助
在Preston假设基础上,研究并推导了光学元件抛光过程中"花瓣"型截面磨头在双转子运动形式下的去除函数.提出了"花瓣"型截面磨头的离散点弧长表达方法,并讨论了该方法的适用范围;基于离散点弧长法,推导了"花瓣"型截面磨头在双转子运动形...
关键词：双转子 离散点弧长 “花瓣”型截面磨头 曲线逼近 类高斯去除函数 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部