尚红波

作品数：10被引量：34H指数：3
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：光学设计成像质量光学系统光线追迹傅里叶变换更多>>
发文领域：机械工程理学电子电信更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《光学学报》《光子学报》《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家科技重大专项中国航空科学基金应用光学国家重点实验室开放基金更多>>
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掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响被引量：1
《光学精密工程》2016年第3期469-476,共8页杨旺 黄玮 尚红波 
国家重大科技专项资助课题
为使光刻投影物镜满足光刻工艺的要求,研究了掩模位置误差对光刻投影物镜引入的畸变。采用勒让德多项式描述光刻投影物镜的畸变,并应用勒让德多项式对光刻投影物镜进行了畸变分析及畸变补偿。利用以上方法,对一台工作波长为193 nm,数值...
关键词：光刻 光学设计 光刻投影物镜 畸变 勒让德多项式 公差分析 
光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计被引量：1
《光电工程》2015年第6期50-56,共7页陈华男 郭抗 张玲花 刘健 尚红波 
国家重大科技专项02专项资助课题(2009ZX02005)
X-Y向柔性调节机构应用于光刻投影物镜中光学元件X-Y方向偏心位置补偿。基于柔性铰链,设计柔性二级减速机构,并将之应用到新型的一体式X-Y向柔性调节机构上。在对机构原理进行分析的基础上,对X-Y向柔性调节机构结构参数进行了优化设计...
关键词：光刻投影物镜 X-Y向柔性调节机构 减速机构 柔性铰链 
膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进被引量：3
《光学学报》2015年第1期338-345,共8页尚红波 刘春来 张巍 陈华男 
国家科技重大专项(2009ZX02205)
为了实现高成像要求,投影光刻物镜在设计时需要考虑膜层偏振效应的影响,并进行相应的分析和评价。首先介绍了基于琼斯矩阵的偏振像差理论,然后以一个数值孔径(NA)为0.75的投影光刻物镜为例,设计了相应膜系,系统分析了膜层引入的偏振像差...
关键词：光学制造 投影光刻物镜 膜系 偏振像差 对比度 
材料折射率非均匀性对极小像差光学系统像质的影响被引量：5
《激光与光电子学进展》2013年第11期181-186,共6页杨添星 黄玮 尚红波 许伟才 赵菲菲 
国家重大专项基金(2009ZX02205)
为了分析光学材料折射率非均匀性对极小像差光学系统成像质量的影响,从而指导系统的进一步优化设计,提出一种三维仿真和光线追迹方法。该方法是在Zemax中通过自定义的程序,构建材料折射率均匀性的三维分布,设置光线追迹的步长,并控制整...
关键词：光学设计 极小像差光学系统 非均匀性 ZERNIKE多项式 光线追迹 
光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析被引量：3
《光学学报》2013年第9期227-231,共5页杨旺 黄玮 许伟才 尚红波 
研究了光学表面中频误差对杂散光的影响规律,提出使用功率谱密度函数描述表面中频误差,并通过该描述方法进行杂散光分析;同时利用等效光瞳空间频率对表面中频误差进行公差分析。利用以上方法,对工作波长为193nm、数值孔径为0.75的光刻...
关键词：光学设计 杂散光 功率谱密度 公差分析 光刻物镜 
高成像质量光学系统的元件旋转补偿被引量：3
《光学学报》2013年第9期120-126,共7页刘春来 黄玮 尚红波 许伟才 杨旺 
国家重大专项基金(2009ZX02205)
在高成像质量的光学系统的集成制造中,受元件的面形和材料的均匀性误差的影响很难满足极限的成像质量要求,必须采用多种像质补偿措施,元件的旋转补偿是其中必要的像质补偿措施之一。提出了一种光学系统光学元件旋转补偿优化方法,该方法...
关键词：光学设计 高成像质量 旋转补偿 材料筛选 波前像差 
高准确度光学系统中材料非均匀性对成像质量的影响被引量：2
《光子学报》2013年第4期451-455,共5页刘洋舟 李晓彤 岑兆丰 许伟才 尚红波 阮望超 
国家自然科学基金(Nos.10875105;60977010);航空科学基金(No.20090176001);应用光学国家重点实验室开放基金(No.Y1Q03FQK09)资助
利用Zernike多项式对用Zygo干涉仪测得的离散材料折射率数据进行了拟合,再使用光线光学的方法评价了系统的成像质量.由于材料折射率分布的无规则性,在对包含非均匀介质的实际光学系统的模拟仿真和优化时,需要考虑选取材料不同部位加工...
关键词：光学设计 非均匀 光线追迹 成像质量 
偏振对光学系统成像质量的影响被引量：10
《物理学报》2012年第23期217-224,共8页庞武斌 岑兆丰 李晓彤 钱炜 尚红波 许伟才 
国家自然科学基金(批准号:10875105;60977010);航空科学基金(批准号:2090176001);应用光学国家重点实验室开放基金(批准号:Y1Q03FQK09)资助的课题~~
通常情况下,评价光学成像系统像质的几个重要参数,如能量集中度(Strehl比)、分辨率、焦深等,都是以标量衍射理论为基础进行计算和分析的.考虑光波的矢量偏振特性,尤其是在高数值孔径系统中,标量衍射的精度已不能满足精度要求.本文讨论...
关键词：偏振光 矢量衍射理论 成像质量 数值孔径 
关于部分偏振光能量传递和偏振态的光线椭圆分析方法被引量：2
《物理学报》2012年第13期154-160,共7页刘超 岑兆丰 李晓彤 许伟才 尚红波 能芬 陈立 
国家自然科学基金(批准号:10875105;60977010);航空科学基金(批准号:20090176001);应用光学国家重点实验室开发基金(批准号:Y1Q03FQK09)资助的课题~~
部分偏振光传播时的光强和偏振态变化情况比较复杂,尤其是当大数值孔径成像时,光束的偏振态还会影响成像质量.本文提出一种用于分析部分偏振光能量传递和偏振态的光线椭圆方法,采用光线椭圆叠加的办法来分析光束在各向同性的均匀介质中...
关键词：部分偏振光 大数值孔径 能量 偏振效应 
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