数值孔径

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超大数值孔径深紫外投影光刻空间像的偏振响应分析
《成都工业学院学报》2025年第2期14-19,共6页彭仁举 
成都工业学院科研项目(2024RC017)。
65 nm以下工艺节点的投影物镜具有超大数值孔径,且处于深紫外工作波段,导致不同偏振态所对应的投影光刻空间像之间存在显著的差异。将s和p偏振所对应空间像之间的差异定义为偏振响应,以十字线和竖线条阵列为研究对象,利用矢量衍射投影...
关键词：偏振响应 超大数值孔径 深紫外 投影光刻 
塑料光纤面板的改进
《塑料科技》2025年第2期127-130,共4页刘永梅 常桂龙 王三昭 石攀 刘浩然 明玥彤 
聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)透明度较好。采用PMMA为原料,通过预制聚合物光纤棒,拉制成丝,排板热压方式制备塑料光纤面板。结果表明:随保温时间的增加,塑料光纤面板成像性能呈现先提高后降低的趋势,最佳保温时间为6 h,比理论保温时间多2 h...
关键词：光纤面板 塑料光纤 成像 数值孔径 
标准单光纤对内窥镜冷光源光通量测试结果的影响研究
《中国医疗设备》2025年第1期8-14,共7页蒋硕 付丽 韩乃水 范书健 陈一依 冯乐菲 王春雨 张克 
山东省重点研发计划(重大科技创新工程)(2022CXGC010502);山东省医疗器械和药品包装检验研究院内部科研课题(NB202208)。
目的研究标准单光纤对内窥镜冷光源光通量测试结果的影响。方法对同一台内窥镜LED冷光源先后进行如下试验分析:选用4根不同数值孔径的标准单光纤分别进行总光通量对比测试;选用3根采用相同光能传递效率测定方法的标准单光纤进行总光通...
关键词：内窥镜设备 冷光源 光通量 标准单光纤 数值孔径 光能传递效率 
基于误差提取算法辅助装调的离焦误差校正方法
《应用光学》2024年第6期1245-1251,共7页张汉琳 张蓉竹 
国家重点研发计划(2022YFF07129031)。
在大数值孔径(NA)球面面形检测中,被测球面偏离理想共焦位置引入的离焦误差严重影响检测精度。为了对离焦误差进行精确提取和有效校正,提高元件终检位置的调整效率,设计了一种基于误差提取算法辅助装调的离焦误差校正方法。通过离焦误...
关键词：大数值孔径 干涉检测 离焦误差 Zernike波面拟合算法 
专利视角看光刻机技术应用
《中国科技信息》2024年第19期42-44,共3页程小梅 尹春梅 
光刻机是半导体制造过程中的核心设备之一,它包括光源、掩模版、光学系统、工件台等关键组件。光刻机的设计和制造难度极高,需要精确控制光源波长、光学系统的数值孔径、工件台的定位精度等,以实现高精度的图案转移。随着技术的发展,光...
关键词：光刻机 微电子芯片 半导体制造 极紫外光刻 光刻技术 数值孔径 工件台 集成电路生产 
低NA大模场光纤高耦合效率模场适配器
《光子学报》2024年第8期1-13,共13页熊峰 慕伟 王洋 马云亮 徐呈霖 张琦 张小贝 
国家自然科学基金(Nos.62022053,62205192);111计划项目(No.D20231);上海市先进光波导智能制造与测试专业技术服务平台项目(No.19 DZ2294000);上海市科委项目(Nos.22010500100,22ZR1424800)。
为提高低数值孔径大模场光纤与单模光纤的耦合效率,并提高输出光束的光束质量,结合加热扩芯技术和大模场光纤拉锥技术实现二者的模场匹配。基于粒子扩散和绝热拉锥方程分别建立了热扩芯光纤和锥形大模场光纤的理论模型,并仿真了其模场...
关键词：光纤光学 模场适配器 光束质量 数值孔径 插入损耗 
用于三角测量大数值孔径双远心光学系统设计
《红外与激光工程》2024年第7期188-195,共8页赵哲承 朱嘉诚 刘雪峰 宋玲玲 陈新华 沈为民 
江苏高校优势学科建设工程(PAPD);苏州市产业前瞻与关键核心技术项目(SYC2022142)。
测量不确定度是与测量结果紧密相关的重要指标,反映了仪器测量的稳定性。激光三角测量仪器的测量不确定度与成像光学系统数值孔径直接相关,增大数值孔径能够有效降低测量不确定度。为了满足高精度测量需求,应用二维Q-type多项式自由曲面...
关键词：线激光三角测量仪 光学设计 双远心光学系统 二维Q-type自由曲面 
数值孔径对飞秒激光角膜切削的影响
《中国激光》2024年第9期247-253,共7页吕海军 王雨 李华明 张卓宇 赵新恒 吕晓华 刘秀丽 曾绍群 
国家重点研发计划(2022YFC2404500);国家自然科学基金(62275094);湖北省重点研发计划(2022BCA049)。
飞秒激光得益于其精准、微创等优势被广泛应用于屈光疾病的治疗。在飞秒激光屈光手术中,光学系统的数值孔径是影响手术效果的重要参数。本研究旨在探讨数值孔径对飞秒激光角膜基质切削质量的影响规律,以帮助临床医生更好地选择合适的手...
关键词：激光技术 飞秒激光 角膜 数值孔径 气泡 细胞损伤 
适用于数值孔径和像素尺寸受限的高分辨率叠层成像方法
《激光与光电子学进展》2024年第8期108-114,共7页张静怡 裴子豪 胡友友 杨忠明 窦健泰 
国家自然科学基金(62205133);江苏省自然科学基金(BK20190954)。
叠层成像的成像分辨率会受到数值孔径和电荷耦合器件(CCD)像素尺寸的限制。CCD靶面有限则数值孔径有限,采集大光斑图像时,易丢失CCD靶面边缘的部分高频信息。此外,像素尺寸较大会导致成像时采样率不足,也会丢失部分细节高频信息。提出...
关键词：超分辨率 叠层成像 外推法 生成对抗网络 多权重损失函数 
基于角度分辨倾斜背散射拉曼光谱的单晶硅应力分量解耦分析
《Acta Mechanica Sinica》2024年第4期238-250,共13页常颖 何赛赛 孙铭媛 赵宇琦 马路路 仇巍 
the National Natural Science Foundation of China(Grant Nos.12125203,12021002,and 11890680).
对于应变工程而言,应力是控制半导体器件光电性能的关键.显微拉曼光谱是一种有效的半导体材料应力无损分析技术.然而,使用传统拉曼方法得到的结果通常是特定晶体/特定晶面的面内等效应力或主应力和.本文提出了一种基于角度分辨倾斜背散...
关键词：显微拉曼光谱 材料应力 应力分量 背散射 半导体器件 晶格动力学 无损分析 数值孔径 
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