云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 大数值孔径

大数值孔径: 作品数：64被引量：118H指数：6; 导出分析报告; 相关领域：机械工程理学电子电信更多>>; 相关作者：王向朝邢廷文廖志远朱红伟白瑜更多>>; 相关机构：中国科学院浙江大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>; 相关期刊：《微处理机》《影像科学与光化学》《光纤光缆传输技术》《光学精密工程》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家科技重大专项国家杰出青年科学基金江苏省自然科学基金更多>>

超大数值孔径深紫外投影光刻空间像的偏振响应分析: 《成都工业学院学报》2025年第2期14-19,共6页彭仁举; 成都工业学院科研项目(2024RC017)。; 65 nm以下工艺节点的投影物镜具有超大数值孔径,且处于深紫外工作波段,导致不同偏振态所对应的投影光刻空间像之间存在显著的差异。将s和p偏振所对应空间像之间的差异定义为偏振响应,以十字线和竖线条阵列为研究对象,利用矢量衍射投影...; 关键词：偏振响应超大数值孔径深紫外投影光刻

基于误差提取算法辅助装调的离焦误差校正方法: 《应用光学》2024年第6期1245-1251,共7页张汉琳张蓉竹; 国家重点研发计划(2022YFF07129031)。; 在大数值孔径(NA)球面面形检测中,被测球面偏离理想共焦位置引入的离焦误差严重影响检测精度。为了对离焦误差进行精确提取和有效校正,提高元件终检位置的调整效率,设计了一种基于误差提取算法辅助装调的离焦误差校正方法。通过离焦误...; 关键词：大数值孔径干涉检测离焦误差 Zernike波面拟合算法

用于三角测量大数值孔径双远心光学系统设计: 《红外与激光工程》2024年第7期188-195,共8页赵哲承朱嘉诚刘雪峰宋玲玲陈新华沈为民; 江苏高校优势学科建设工程(PAPD);苏州市产业前瞻与关键核心技术项目(SYC2022142)。; 测量不确定度是与测量结果紧密相关的重要指标,反映了仪器测量的稳定性。激光三角测量仪器的测量不确定度与成像光学系统数值孔径直接相关,增大数值孔径能够有效降低测量不确定度。为了满足高精度测量需求,应用二维Q-type多项式自由曲面...; 关键词：线激光三角测量仪光学设计双远心光学系统二维Q-type自由曲面

基于TiO_(2)的近红外大数值孔径、高聚焦效率、高透射率会聚透镜: 《聊城大学学报（自然科学版）》2024年第1期16-22,共7页李真牛慧娟高松范鑫烨段晓峰黄永清; 国家重点研发计划(2018YFB2200803);山东省自然科学基金项目(ZR2022MF305,ZR2022MF253,ZR2021MF053,ZR2021MF070);信息光子学与光通信国家重点实验室(北京邮电大学)开放基金项目(IPOC2021B07);山东省高校2021年青年引进与培养计划;聊城大学博士科研(318052168)资助;科技型中小企业创新能力提升工程(2022TSGC2570);教育部产学协同育人项目(220605160271242,221002802140950,220906093200103)资助。; 利用相位调控原理设计了一种基于TiO_(2)材料的具有非周期同心圆环形高折射率差亚波长光栅结构的会聚透镜,可实现大数值孔径、高聚焦效率、高透射率、低损耗特性,同时具有体积小、易集成的优点。采用时域有限差分法对提出的透镜结构进...; 关键词：高折射率差亚波长光栅非周期同心圆环形结构会聚透镜高聚焦效率

大数值孔径宽光谱折反式物镜设计(特邀): 《红外与激光工程》2023年第9期58-64,共7页严冬国成立刘泉黎发志余晨阳马洋张宇龙闫力松; 湖北省自然科学基金面上项目(2022CFB099)。; 为了满足半导体缺陷检测系统对成像系统高分辨的要求,依据系统的特点和设计指标,设计了一种近紫外-可见光大数值孔径折反式物镜。在近紫外-可见光波段对光学玻璃材料的色散特性进行分析,通过二级光谱理论计算,选择合适的玻璃材料,对光...; 关键词：宽光谱大数值孔径折反式物镜物镜设计光学设计

大视场大数值孔径显微物镜光学设计被引量：3: 《激光与光电子学进展》2023年第5期217-221,共5页黄木旺刘旭林法官; 在纳米激光直写加工系统中,显微物镜是其中的关键部件,行业发展的趋势是在大数值孔径(NA)下具有更大的物方视场,并且能适应双光子聚合(Two-photon polymerization,TPP)胶折射率的变化。对比当前TPP效应研究所用显微物镜的指标,挖掘了物...; 关键词：光学设计大视场大数值孔径平场复消色差显微物镜激光直写微纳加工

大数值孔径(NA=0.55)变倍率极紫外光刻投影物镜偏振像差高精度检测方法被引量：1: 《光学学报》2022年第23期56-67,共12页李昂李艳秋韦鹏志袁淼王成成; 国家自然科学基金(62175014);国家科技重大专项(2017ZX02101006)。; 提出了一种严格的非线性成像测量大数值孔径(NA=0.55)变倍率极紫外光刻(EUVL)投影物镜偏振像差的方法。首先在变倍率极紫外(EUV)严格矢量成像模型基础上,通过建立偏振像差与空间像频谱的非线性关系,得到非线性超定方程组,并提出一种同...; 关键词：测量极紫外光刻光刻成像理论像差测量成像测量技术偏振像差

硅基非球面柱面微透镜阵列制备方法: 《红外与激光工程》2022年第7期377-385,共9页张畅达高明友周岩邓晓洲熊欣刘风雷张为国; 国家自然科学基金(61775213)。; 非球面柱面微透镜是一种重要的微光学元件,具有激光准直、聚焦、匀化等功能,在激光通信、光纤传感、激光雷达测距、激光泵浦等系统中具有广泛的应用。为了减小光电系统的体积、提升光纤性能,增大透镜数值孔径是一种常用的解决方案。提...; 关键词：光学工程非球面柱面微透镜阵列移动掩模硅基大数值孔径等离子体刻蚀

基于挤压技术的新型七芯超大数值孔径硫系玻璃光纤制备及其光学性能研究被引量：2: 《光学学报》2021年第10期66-71,共6页吴国林冯赞汪俊汪金晶钟明辉徐铁松梁晓林肖晶王弦歌焦凯赵浙明王训四张培晴刘永兴戴世勋聂秋华; 国家自然科学基金(61875097,61627815,61705091);浙江省杰出自然科学基金(LR18F050002);浙江省光电探测材料及器件重点实验室开放课题(2017004);宁波市领军和拔尖人才培养工程择优资助;嘉兴市科技局项目(2017AY13010);王宽诚幸福基金课题资助。; 基于挤压技术制备新型七芯光纤。首先通过蒸馏纯化工艺和传统熔融淬冷法制备了As2Se3和As2S3两种玻璃,采用改进的分离式挤压法制备了光纤预制棒,并结合聚合物层的高温涂覆保护获得了结构完整的新型七芯硫系玻璃光纤,该光纤的数值孔径分...; 关键词：光纤光学七芯光纤硫系玻璃挤压法中红外超连续谱

超大数值孔径浸没式物镜的研发设计被引量：1: 《中国新技术新产品》2020年第10期80-82,共3页刘雅丽; 该文提出一种超大数值孔径光刻投影物镜。该光刻投影物镜作为光刻机曝光系统的核心模块,将掩模版上的图案以4倍缩小倍率成像于硅片面,该物镜以193 nm的准分子激光器为曝光光源,视场范围为26mm×5.5mm,光学结构不同于传统的全透射系统,...; 关键词：光刻投影物镜浸没超大数值孔径

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