微纳加工

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金刚石等离子体刻蚀技术研究进展
《表面技术》2025年第7期34-49,共16页焦硕沛 张旭芳 李明坤 张雪恰 张静 
国家自然科学基金资助项目(62304005);北方工业大学校内专项(110051360024XN147-07/150-23/245/246)。
金刚石因其优越的电学、物理及化学性质,如超宽的禁带宽度、高硬度、高热导率和高稳定性,被广泛应用于电子器件、光学元件及微机电系统(MEMS)等领域。然而,由于其高度稳定的物理和化学性质,使得金刚石的加工具有极大的挑战性。在众多金...
关键词：金刚石 等离子体刻蚀 微纳加工 金属催化 图案化 激光诱导 
基于扫描热探针技术的二维材料物性调控研究进展
《物理学报》2025年第3期58-66,共9页赵世杰 马浩南 刘霞 
国家重点研发计划(批准号:2023YFB3405600);国家自然科学基金(批准号:62274013)资助的课题。
随着微观领域探索的不断深入,以光刻和各类刻蚀工艺为代表的微纳加工技术已被广泛应用于微米及纳米尺度的结构与器件制造,推动了集成电路、微纳光电器件、微机电系统等领域的不断革新.这不仅带动了设备性能的提升,还为微观物性调控机制...
关键词：扫描热探针技术 二维材料 微纳加工 物性调控 
《功能材料与器件学报》“先进微纳加工及应用”专题征文通知
《功能材料与器件学报》2025年第1期I0001-I0001,共1页
随着科技的迅猛发展,微纳加工技术作为支撑现代科学与工程的重要手段,正在各个领域展现出强大的潜力与应用价值。从半导体制造到柔性电子,从生物医学传感器到能源转换装置,微纳加工技术不仅推动了材料和器件的小型化、集成化,更为新型...
关键词：上海交通大学 生物医学传感器 半导体制造 微纳加工技术 中国科学院 柔性电子 信息技术 能源转换 
液晶聚合物执行器的微加工方法及其应用
《液晶与显示》2024年第12期1708-1721,共14页刘凯 吕久安 
国家自然科学基金(No.52273111)。
液晶聚合物是一种环境刺激响应的智能形变材料,由这种智能材料构建的微型执行器可以将外界的环境刺激直接转换为机械运动,无需复杂的能量转换部件和机械传动结构,因此液晶聚合物微执行器在微型机器人、智能传输、生物医学设备等领域具...
关键词：微纳加工 液晶聚合物 柔性执行器 刺激响应形变 液晶取向 
微纳加工技术的虚拟仿真教学探索
《大连民族大学学报》2024年第6期621-624,共4页高文帅 
随着科技的不断进步,微纳加工技术在诸多领域发挥着至关重要的作用。然而,由于微纳加工技术的复杂性、高成本以及对实验环境的严格要求,传统教学方式面临诸多挑战。微纳加工技术虚拟仿真课程建设旨在为培养高素质的微纳加工技术人才提...
关键词：微纳加工 虚拟仿真 教学模式 
陷光结构增强光电化学电池光吸收的模拟研究
《光学学报》2024年第23期219-225,共7页宋香丽 朱忱 吴鋆 陈乐 
中央引导地方科技发展资金项目(桂科ZY23055054);南宁市科技重大专项(20231028);广西自动检测技术与仪器重点实验室主任基金项目(YQ21106)。
光电化学分解水制氢作为生产氢气的方法之一而备受关注。采用时域有限差分法模拟金字塔和倒金字塔结构的光电化学电池光电极的吸收特性和电池的光电性能。通过对比不同高宽比金字塔结构以及不同深宽比倒金字塔结构光电极的反射率,得到...
关键词：光电化学分解水制氢 时域有限差分 金字塔结构 倒金字塔结构 微纳加工 
高精度Ω型辐射结构的微纳加工
《合肥工业大学学报（自然科学版）》2024年第12期1642-1647,共6页王欣然 徐南阳 马钰 于志飞 
国家自然科学基金重点培育资助项目(92265114)。
微波辐射结构的均匀性以及精度是影响金刚石固态自旋量子态调控实验灵敏度的直接因素,因此利用微纳工艺制备出高精度、均匀性良好的微波辐射结构显得尤为重要。文章提出一种新的微纳加工流程,基于CST MWS软件Ω槽线模型仿真,通过光学曝...
关键词：辐射结构 NV色心 微纳加工 光学曝光 磁控溅射 
感光材料的制备及微纳加工综合实验设计
《实验室科学》2024年第5期41-45,共5页王哲哲 贾思仪 杨晨 冯卓宏 王丽丽 陈水源 
福建省教育教学研究重大项目(项目编号:FBJY20230287);2021年高等学校大学物理课程教学指导委员会华东地区工作委员会教学研究项目(项目编号:2021JZWHD04);福建师范大学碳中和研究院开放基金(项目编号:TZH2022-08);2021年福建师范大学课程思政示范课程建设项目(项目编号:K202101041)。
在新时代“新工科”教育背景下,贴近科技发展前沿,培养家国情怀,提高学生的专业实验水平和科技创新能力意义重大。从当前“卡脖子”的热点问题出发,开展与芯片加工相关的光刻实验。通过使用商用光刻胶,要求学生掌握光刻的理论知识和基...
关键词：新工科 综合实验设计 光刻 感光溶胶-凝胶 
贺信精神引领下微纳加工技术课课程思政教学改革与实践
《高教学刊》2024年第30期61-64,共4页王晨曦 刘威 张威 原小慧 闫寒 田艳红 
黑龙江省高等教育教学改革研究项目“电子封装专业核心课程教学改革与创新教育融合探索”(SJGY20200198)。
微纳加工技术课程的教学内容与我国当前所面临的高端芯片制造“卡脖子”技术密切相连。2020年以来该课程将习近平总书记贺信精神融入课程思政教学设计,通过寓德于教、寓哲于教、寓念于教和寓新于教的“四位一体”方式,引导学生树立坚定...
关键词：贺信精神 课程思政 微纳加工 芯片制造 教学改革 
拓扑结构的激光加工及其在细胞生物学中的应用
《中国激光》2024年第20期283-301,共19页牛梦瑶 武昕宜 宾凡淳 段琦 李腾 郑美玲 
国家重点研发计划(2017YFB1104300);国家自然科学基金(61975213,61475164);中国科学院国际伙伴计划项目(GJHZ2021130)。
拓扑结构能对细胞的行为进行调控,这对于组织和器官的形成以及整体结构和功能的发展至关重要。激光微纳加工技术的崭新应用正引领着细胞生物学研究的一场革命。激光技术的高精度和高可控性使得设计特定拓扑结构成为可能,为细胞工程、组...
关键词：拓扑结构 激光技术 微纳加工 细胞生物学 
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