许伟才

作品数：15被引量：100H指数：7
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：光学设计成像质量光学系统大视场探测器阵列更多>>
发文领域：机械工程理学自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《光学学报》《红外与激光工程》《光子学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家科技重大专项应用光学国家重点实验室开放基金中国航空科学基金更多>>
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差分五棱镜扫描法在波前检测中的应用被引量：11
《中国光学》2014年第6期1003-1011,共9页汤兆鑫 黄玮 许伟才 刘立峰 徐象如 
国家重大科学专项资助项目(No.2012ZX02701001)
为了实现高精度大口径平行光管波前检测,评价平行光管出射波前质量,提出了采用差分五棱镜扫描波前检测方法检测平行光管。该方法为五棱镜扫描法的优化方法,通过测量波前斜率的改变得到波前曲率的信息来重构波前,从而消除由于五棱镜扫描...
关键词：波前检测 差分五棱镜扫描法 平行光管 误差分析 
Shack-Hartmann波前传感器质心探测的优化方法被引量：4
《红外与激光工程》2014年第9期3005-3009,共5页赵菲菲 黄玮 许伟才 杨添星 
应用光学国家重点实验室开放基金(Y2Q03FQK07)
为提高Shack-Hartmann(S-H)波前传感器的光斑质心探测精度,在分析质心探测误差来源的基础上,提出基于模板匹配的探测窗口选取方法和基于单个光斑的自适应阈值选取方法,将这两种方法与加权质心算法相结合求取质心,提高了质心探测精度。...
关键词：质心探测 Shack-Hartmann波前传感器 阈值选取 窗口选取 
大视场像方远心离轴三反射镜光学系统设计被引量：7
《激光与光电子学进展》2014年第12期199-205,共7页刘军 黄玮 许伟才 徐明飞 
基于三反射镜的三级相差理论,通过自定义优化函数,并使用遗传算法寻找合适的三反射镜光学系统的初始结构参数,利用光学设计软件ZEMAX对初始结构进一步离轴优化,设计出了视场角为18°×0.6°,焦距为1700 mm,入瞳直径为200 m的像方远心离...
关键词：光学设计 三反射镜光学系统 大视场 空间光学 
投影光刻物镜的计算机辅助装调被引量：8
《光学学报》2014年第6期198-203,共6页赵菲菲 唐剑宇 黄玮 许伟才 
国家重大专项基金(2009ZX02205)
针对投影光刻物镜苛刻的像质要求，将计算机辅助装调（CAA）技术引人投影光刻物镜的装调过程中，建立了相应的数学模型。选取33个视场Fringe Zernike多项式的4～37项，以及畸变作为校正对象，并选取19个结构参量作为补偿器。通过将CODE...
关键词：光学设计 计算机辅助装调 投影光刻物镜 奇异值分解 畸变 
材料折射率非均匀性对极小像差光学系统像质的影响被引量：5
《激光与光电子学进展》2013年第11期181-186,共6页杨添星 黄玮 尚红波 许伟才 赵菲菲 
国家重大专项基金(2009ZX02205)
为了分析光学材料折射率非均匀性对极小像差光学系统成像质量的影响,从而指导系统的进一步优化设计,提出一种三维仿真和光线追迹方法。该方法是在Zemax中通过自定义的程序,构建材料折射率均匀性的三维分布,设置光线追迹的步长,并控制整...
关键词：光学设计 极小像差光学系统 非均匀性 ZERNIKE多项式 光线追迹 
光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析被引量：3
《光学学报》2013年第9期227-231,共5页杨旺 黄玮 许伟才 尚红波 
研究了光学表面中频误差对杂散光的影响规律,提出使用功率谱密度函数描述表面中频误差,并通过该描述方法进行杂散光分析;同时利用等效光瞳空间频率对表面中频误差进行公差分析。利用以上方法,对工作波长为193nm、数值孔径为0.75的光刻...
关键词：光学设计 杂散光 功率谱密度 公差分析 光刻物镜 
高成像质量光学系统的元件旋转补偿被引量：3
《光学学报》2013年第9期120-126,共7页刘春来 黄玮 尚红波 许伟才 杨旺 
国家重大专项基金(2009ZX02205)
在高成像质量的光学系统的集成制造中,受元件的面形和材料的均匀性误差的影响很难满足极限的成像质量要求,必须采用多种像质补偿措施,元件的旋转补偿是其中必要的像质补偿措施之一。提出了一种光学系统光学元件旋转补偿优化方法,该方法...
关键词：光学设计 高成像质量 旋转补偿 材料筛选 波前像差 
高准确度光学系统中材料非均匀性对成像质量的影响被引量：2
《光子学报》2013年第4期451-455,共5页刘洋舟 李晓彤 岑兆丰 许伟才 尚红波 阮望超 
国家自然科学基金(Nos.10875105;60977010);航空科学基金(No.20090176001);应用光学国家重点实验室开放基金(No.Y1Q03FQK09)资助
利用Zernike多项式对用Zygo干涉仪测得的离散材料折射率数据进行了拟合,再使用光线光学的方法评价了系统的成像质量.由于材料折射率分布的无规则性,在对包含非均匀介质的实际光学系统的模拟仿真和优化时,需要考虑选取材料不同部位加工...
关键词：光学设计 非均匀 光线追迹 成像质量 
偏振对光学系统成像质量的影响被引量：9
《物理学报》2012年第23期217-224,共8页庞武斌 岑兆丰 李晓彤 钱炜 尚红波 许伟才 
国家自然科学基金(批准号:10875105;60977010);航空科学基金(批准号:2090176001);应用光学国家重点实验室开放基金(批准号:Y1Q03FQK09)资助的课题~~
通常情况下,评价光学成像系统像质的几个重要参数,如能量集中度(Strehl比)、分辨率、焦深等,都是以标量衍射理论为基础进行计算和分析的.考虑光波的矢量偏振特性,尤其是在高数值孔径系统中,标量衍射的精度已不能满足精度要求.本文讨论...
关键词：偏振光 矢量衍射理论 成像质量 数值孔径 
关于部分偏振光能量传递和偏振态的光线椭圆分析方法被引量：2
《物理学报》2012年第13期154-160,共7页刘超 岑兆丰 李晓彤 许伟才 尚红波 能芬 陈立 
国家自然科学基金(批准号:10875105;60977010);航空科学基金(批准号:20090176001);应用光学国家重点实验室开发基金(批准号:Y1Q03FQK09)资助的课题~~
部分偏振光传播时的光强和偏振态变化情况比较复杂,尤其是当大数值孔径成像时,光束的偏振态还会影响成像质量.本文提出一种用于分析部分偏振光能量传递和偏振态的光线椭圆方法,采用光线椭圆叠加的办法来分析光束在各向同性的均匀介质中...
关键词：部分偏振光 大数值孔径 能量 偏振效应 
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