李显凌

作品数：24被引量：159H指数：6
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：光学元件镜框投影光刻物镜投影物镜光刻物镜更多>>
发文领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信医药卫生更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《光学学报》《仪器仪表学报》《摩擦学学报（中英文）》更多>>
所获基金：国家科技重大专项国家高技术研究发展计划国家自然科学基金黑龙江省科技攻关计划更多>>
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光学元件表面疵病检测仪的精度建模及预测被引量：6
《机械设计与制造》2018年第6期98-101,共4页杨荟琦 李显凌 
国家科技重大专项02专项资助项目(2009ZX02205)
为了对疵病检测仪的精度进行预测并对设计方案的合理性进行验证,基于多体系统理论对疵病检测仪机械运动机构进行了精度建模。用低序体阵列和拓扑结构描述了疵病检测仪的结构特点,提出了疵病检测仪的精度模型,针对光学系统的要求进行了...
关键词：疵病检测仪 多体系统 精度模型 精度预测 
光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析被引量：4
《中国光学》2017年第6期790-797,共8页董世则 郭抗 李显凌 陈华男 张德福 
国家科技重大专项(02专项)资助项目(No.2009ZX02205);国家自然科学基金资助项目(No.61504142)~~
设计了一种狭缝柔性结构的光学元件调节机构,使光学元件在具备较高调节精度的同时,保持较高的导向精度。采用弹性力学应力函数法分析了狭缝柔性结构的刚度,以径向刚度与轴向刚度的比值为目标函数,对狭缝柔性结构尺寸参数进行了优化,在...
关键词：光刻物镜 调节机构 狭缝柔性结构 刚度比 导向精度 
193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展被引量：11
《中国科学：技术科学》2017年第6期565-581,共17页张德福 李显凌 芮大为 李朋志 东立剑 张建国 
国家自然科学基金(批准号:61504142);国家科技重大专项基金(批准号:2009ZX02205)资助项目
结合双/多曝光的193nm投影光刻是未来5~10年大规模集成电路工业化生产的主要方法.投影物镜作为光刻机的核心分系统,其光机系统关键技术的研究进展直接影响物镜整体性能的提升.本文分析了当前集成电路装备制造业对193nm投影物镜的需求,...
关键词：集成电路 光刻 投影物镜 波像差 调节机构 主动光学 
面向电容式传感器线性度标定的柔性微动机构设计被引量：3
《仪器仪表学报》2016年第6期1210-1217,共8页张德福 李显凌 葛川 倪明阳 郭抗 
国家自然科学基金(61504142);国家科技重大专项基金(2009ZX02205)项目资助
针对光学精密工程中位移检测问题,研制了一种电容式位移传感器线性度标定装置。阐明了标定装置的组成和标定方法的原理,该装置采用运动轴、测量轴和传感轴三轴共线的设计方案,从测量原理上降低了阿贝误差。基于伪刚体模型和拉格朗日方...
关键词：柔性机构 伪刚体模型 传感器 线性度 标定 
电容传感器线性度标定平台被引量：7
《光学精密工程》2016年第1期143-151,共9页张德福 葛川 李显凌 倪明阳 郭抗 
国家自然科学基金资助项目(No.61504142);国家科技重大专项基金资助项目(No.2009ZX02205)
设计了一种电容位移传感器在线标定平台,用于位移的高精度调节和检测。该平台的运动对称中心轴、测量光路的对称中心轴和传感器的传感轴共轴,故从测量原理上减小了阿贝误差。标定平台具有z/tip/tilt调节功能,保证了传感器的传感面和被...
关键词：电容传感器 线性度标定 标定平台 柔度矩阵 
光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计被引量：3
《光子学报》2015年第9期29-33,共5页张德福 李显凌 东立剑 孙振 
国家科技重大专项基金(No.2009ZX02205)资助~~
为了找出耦合误差产生的根源,探讨了柔性偏心机构设计方法.首先,给出了机构组成和工作原理;然后,基于柔度矩阵法对机构建模,分别推导了桥式位移放大机构、导向机构、连接机构的柔度;最后,综合得到机构的整体柔度.分析结果表明柔度矩阵...
关键词：耦合误差 光刻 物镜 偏心调节机构 柔度矩阵法 
高精度位移传感器线性度标定方法研究被引量：24
《仪器仪表学报》2015年第5期982-988,共7页张德福 葛川 李显凌 倪明阳 郭抗 李朋志 
国家科技重大专项基金(2009ZX02205)项目资助
针对光学系统中光学元件的高精度位移调节和检测问题,提出一种非接触电容位移传感器的线性度标定方法,搭建了一个运动轴、测量轴和传感轴三轴共线的标定平台,从测量原理上消除阿贝误差。介绍了标定平台的组成和标定方法的原理,采用对称...
关键词：传感器 标定 线性度 柔度矩阵 
光刻物镜主动变形镜像差补偿分析
《激光与光电子学进展》2015年第7期232-238,共7页东立剑 赵磊 张德福 于新峰 倪明阳 李显凌 
国家重大专项02专项(2009ZX02205)
为补偿光刻物镜由不均匀照明引入的Z5像散,设计了一种主动变形镜,并分析该主动变形镜的像散补偿性能。利用有限元分析方法,建立主动变形镜的有限元模型,得到主动变形镜调节能力、刚体位移误差、固有频率及最大应力等性能。结果表明,主...
关键词：成像系统 主动光学 像散补偿 有限元分析 
调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响被引量：2
《中国激光》2014年第7期285-292,共8页张德福 李显凌 
国家科技重大专项基金(2009ZX02205)
针对深紫外光刻投影物镜的像质补偿要求,对偏心调节时的透镜进行受力分析,基于柔度矩阵法设计了一种柔性多弹片透镜支撑结构,研究了透镜面形随调节力的变化规律,采用有限元法分析了调节力与透镜面形峰谷(PV)值、均方根(RMS)值和Fringe Z...
关键词：光学器件 深紫外光刻 投影物镜 像差补偿 偏心调节机构 调节力 面形 
胶粘剂对光机结构动力学特性的影响被引量：3
《光电工程》2014年第6期75-80,共6页吴志会 王东平 周连生 倪明阳 李显凌 
国家重大专项02专项(2009ZX02205)
胶粘剂广泛应用于光机结构中,其对光机结构的动力学特性有不可忽视的影响。本文采用有限元建模的方法对含胶粘剂的透镜镜组进行动力学特性分析。建立忽略胶层、节点耦合以及"粘合单元"连接胶合面三种有限元模型,并分别对两种胶粘剂粘接...
关键词：胶粘剂 光机结构 动力学 有限元分析 模态测试 
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