李朋志

作品数：17被引量：136H指数：8
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：压电陶瓷驱动器压电陶瓷电容传感器压电驱动器激光干涉仪更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程一般工业技术更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《光学学报》《现代电子技术》《仪器仪表学报》更多>>
所获基金：国家科技重大专项国家自然科学基金上海市自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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压电微动台数据驱动迭代前馈补偿与自适应抑振被引量：2
《光学精密工程》2024年第6期833-842,共10页王雯雯 赖磊捷 李朋志 朱利民 
国家自然科学基金重点项目(No.U2013211);国家自然科学基金青年科学基金资助项目(No.51605275);上海市自然科学基金项目(No.21ZR1426000);机械系统与振动国家重点实验室课题资助项目(No.MSV202210)。
为消除压电驱动柔性微定位平台高精控制对平台不确定动力学模型的依赖性,提出了一种数据驱动无模型迭代前馈补偿和自适应陷波滤波结合的控制方法来提高平台的跟踪性能。首先,建立了数据驱动无模型迭代前馈控制器,提高系统对噪声和其他...
关键词：压电微动台 数据驱动迭代前馈 在线谐振抑制 自适应陷波滤波器 
三自由度压电偏摆台耦合迟滞模型建模与逆补偿被引量：3
《光学精密工程》2023年第20期2964-2974,共11页司马津甫 赖磊捷 李朋志 方宇 朱利民 
国家自然科学基金重点项目资助(No.U2013211);国家自然科学基金青年科学基金资助项目(No.51605275);上海市自然科学基金项目(No.21ZR1426000);机械系统与振动国家重点实验室课题资助项目(No.MSV202210)。
为了解决三自由度压电驱动纳米偏摆台中的多轴耦合与迟滞问题,设计了一种可以同时表征多个压电驱动器间耦合效应及其自身迟滞效应的耦合迟滞模型,并利用其逆模型进行前馈补偿以提升平台的定位和轨迹跟踪精度。首先,搭建了三自由度压电...
关键词：压电偏摆台 压电驱动器 耦合迟滞模型 逆补偿 跟踪控制 
全簧片式空间大行程并联柔性微定位平台及其轨迹控制被引量：5
《光学精密工程》2023年第18期2675-2686,共12页陈云壮 赖磊捷 李朋志 朱利民 
国家自然科学基金联合基金重点支持项目(No.U2013211);国家自然科学基金青年科学基金资助项目(No.51605275);上海市自然科学基金资助项目(No.21ZR1426000);机械系统与振动国家重点实验室课题资助项目(No.MSV202210)。
为了解决传统微定位平台运动范围小、寄生运动和交叉轴耦合严重导致运动精度低等问题,提出了一种音圈电机驱动的全簧片式大行程、空间多自由度并联柔性解耦微定位平台。首先,介绍了含簧片型柔性球铰的大行程多自由度并联柔性机构的结构...
关键词：并联柔性机构 音圈电机 大行程 簧片型柔性球铰 相位超前PI控制 滑模控制 
电磁驱动柔顺微定位平台闭环频域逆迭代学习控制被引量：8
《光学精密工程》2021年第9期2149-2157,共9页张旭 赖磊捷 李朋志 朱利民 
国家自然科学基金联合基金重点支持项目(No.U2013211);国家自然科学基金青年科学基金项目(No.51605275);上海自然科学基金资助项目(No.21ZR1426000)。
为了克服音圈电机电磁驱动柔顺微定位平台在大行程范围内存在的低阻尼谐振和动力学特性差异等问题,利用综合数据驱动频域逆迭代前馈补偿和含相位超前校正PI反馈控制的复合闭环频域逆迭代学习控制方法对其进行高速高精控制。首先,搭建了...
关键词：音圈电机 微定位平台 柔性机构 相位超前 频域逆迭代 
一种步进式压电陶瓷驱动器负载模型研究被引量：1
《现代电子技术》2020年第2期14-16,19,共4页王学亮 彭吉 徐立松 李朋志 陈雪 郑楠 李佩玥 
国家科技重大专项基金资助项目(2009ZX02205)
为了能够准确高效地以步进式压电陶瓷驱动器进行定位控制,文中对其在不同负载力条件下的位移性能进行了研究。首先,设计和实施了测定驱动器位移-负载力曲线的实验;然后,通过高阶多项式拟合的方法对实验结果进行拟合,分析得到可用的拟合...
关键词：压电陶瓷 步进式驱动器 定位控制 负载实验 多项式拟合 数据分析 
193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展被引量：11
《中国科学：技术科学》2017年第6期565-581,共17页张德福 李显凌 芮大为 李朋志 东立剑 张建国 
国家自然科学基金(批准号:61504142);国家科技重大专项基金(批准号:2009ZX02205)资助项目
结合双/多曝光的193nm投影光刻是未来5~10年大规模集成电路工业化生产的主要方法.投影物镜作为光刻机的核心分系统,其光机系统关键技术的研究进展直接影响物镜整体性能的提升.本文分析了当前集成电路装备制造业对193nm投影物镜的需求,...
关键词：集成电路 光刻 投影物镜 波像差 调节机构 主动光学 
光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验被引量：2
《光学学报》2017年第3期295-303,共9页东立剑 崔庆龙 李朋志 赵磊 
国家重大专项02专项(2009ZX02205);国家自然科学基金青年基金(61504142)
光刻物镜硅片刻蚀过程中的Z5像散会使光刻物镜波像差产生严重的劣化。为了对像散进行实时补偿,提出一种Z5像散主动补偿系统。该系统由实时数据平台、驱动力系统、柔性支撑结构和光学透镜构成。采用球面干涉仪作为光学透镜表面面形的检...
关键词：光学设计 光刻物镜 热像差 主动光学 像散 响应函数 
高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究被引量：9
《电子测量与仪器学报》2016年第8期1275-1281,共7页尹志生 李友如 李佩玥 郭抗 李朋志 
国家重大科技专项02专题(2009ZX02205)资助项目
根据极大规模集成电路制造对光刻物镜中敏感光学元件调节机构高精度的调整要求,研究设计了一套基于双频激光干涉仪的高精度六自由度位姿检测测量系统。但由于双频激光干涉仪是一种线性增量式的测长仪器,其固有的机械安装误差及运动平台...
关键词：双频激光干涉仪 六自由度位姿检测 误差补偿 齐次变换 
电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定被引量：18
《光学精密工程》2015年第9期2546-2552,共7页葛川 张德福 李朋志 郭抗 李佩玥 杨怀江 
02重大专项资助项目(No.2009ZX02205)
由于光刻投影物镜装调中电容传感器的线性度指标不能够满足位移调节精度的需求,本文提出了一种提高电容传感器测量线性度的方法。该方法采用压电驱动器提供位移进给;采用高精度激光测长干涉仪校准电容传感器的线性度,提供位移反馈以保...
关键词：电容传感器 位移传感器 标定 线性度 不确定度 光刻投影物镜 
电阻应变式位移传感器电路设计与实现被引量：24
《国外电子测量技术》2015年第6期58-61,共4页葛川 李朋志 徐立松 李佩玥 
国家重大科技专项02专题(2009ZX02205)
超精密平台中使用压电陶瓷驱动器提供位移进给,采用集成应变式位移传感器的驱动器能够减小磁滞与蠕变特性,提高位移控制精度。设计并实现应变式位移传感器位移检测电路,介绍电阻应变式位移传感器位移测量原理;设计位移传感器电路,采用...
关键词：应变 位移传感器 压电陶瓷 
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