彭石军

作品数：10被引量：41H指数：4
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：面形误差干涉仪曲率半径非球面测量方法更多>>
发文领域：机械工程理学电子电信文化科学更多>>
发文期刊：《激光与光电子学进展》《江苏科技信息》《光学精密工程》《光学学报》更多>>
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支撑刚度对激光干涉测量噪声的影响研究
《江苏科技信息》2017年第23期35-37,共3页缑旭 张永凯 彭石军 田伟 
激光干涉测量技术使用范围广,测量快速高效,在精密位移测量中具有非常大的使用空间。测量噪声是干扰激光测量准确性的重要因素,文章以干涉仪移相器为例,分析了支撑刚度对激光测量噪声的影响关系。结果表明在更换刚性较好的支撑零件下可...
关键词：刚度 位移测量 噪声 激光干涉 移相器 
长曲率半径测量系统精度设计及分析
《激光与光电子学进展》2017年第6期147-152,共6页魏凤龙 田伟 彭石军 
国家科技重大专项-02专项基金(2009ZX02205)
根据高精密光学系统的需求,结合目前的研究成果,基于干涉测量法研制了长曲率半径测量系统。分析了影响长曲率半径测量系统测量精度的多种误差因素,根据误差理论和系统组成建立了长曲率半径测量系统误差分配的数学模型和误差分配树。结...
关键词：测量 长曲率半径 精度设计 误差分配 不确定度合成 
全频段亚纳米精度氟化钙材料加工被引量：2
《光学精密工程》2016年第11期2636-2643,共8页张春雷 徐乐 刘健 马占龙 王飞 谷永强 代雷 彭石军 
国家科技重大专项(No.2009ZX02205)
考虑用CaF_2材料制作投影光刻物镜可以明显提高其性能指标,本文研究了CaF_2材料加工工艺的全流程,以实现CaF_2材料的全频段高精度加工。首先,利用沥青抛光膜和金刚石微粉使CaF_2元件有较好的面形和表面质量。然后,优化转速、抛光盘移动...
关键词：氟化钙 投影光刻物镜 精密光学加工 亚纳米精度加工 离子束修形(IBF) 
用计算全息图检测非球面时的自补偿效应分析被引量：2
《光学学报》2015年第11期118-123,共6页高松涛 武东城 彭石军 苏东奇 苗二龙 
国家科技重大专项(2009ZX02205)
用计算全息图(CGH)检测非球面时,除了设计零位补偿CGH外,还往往设计辅助调节CGH,从而可以利用干涉图来精确调节CGH的位置。针对这种同时具有零位补偿和辅助调节功能的CGH,提出零位补偿CGH和辅助调节CGH之间具有相互补偿效应。针对一高...
关键词：全息 计算全息图(CGH) 非球面检测 自补偿效应 
高精度光学平板在三点支撑下自重变形的研究被引量：11
《光学学报》2015年第12期149-157,共9页武东城 高松涛 吴志会 彭石军 曲艺 苏东奇 苗二龙 
国家科技重大专项(2009ZX02205)
影响高精度光学元件重要的因素之一是支撑结构。主要研究了在三点支撑下,自重变形量与口径和厚度的关系。采用数值分析、有限元法(FEM)模型与实验验证相结合的方法完成对三点支撑下自重变形量的研究。采用薄板理论推导了在三点支撑下,...
关键词：光学器件 三点支撑 自重变形 有限元法 
离焦补偿算法提高曲率半径测量精度的研究被引量：1
《激光与光电子学进展》2015年第5期110-115,共6页彭石军 苏东奇 苗二龙 
国家科技重大专项(2009ZX02205)
基于立式Fizeau型干涉仪曲率半径测量系统,提出了一种简捷的离焦补偿算法,该算法对猫眼和共焦零位置的离焦量进行补偿,达到了提高曲率半径测精度的目的。从理论的角度分析了待测面波前像差中的离焦量与待测面位置偏移量之间的线性关系,...
关键词：测量 离焦补偿 曲率半径 立式干涉仪 
高精度平面绝对标定被引量：7
《激光与光电子学进展》2014年第5期110-116,共7页苗二龙 苏东奇 彭石军 
国家科技重大专项(2009ZX02205-004)
在高精度面形检测中,绝对标定是提高检测精度的重要方法。但在平面绝对标定中,无论是经典的三平板绝对检测还是旋转平移绝对检测都无法对平面的power项进行绝对标定。而利用液面进行绝对标定虽然可以给出完整的平面标定,但是液面易受环...
关键词：测量 面形检测 绝对标定 液面 旋转平移绝对标定 
亚微米高精度曲率半径测量及其不确定度分析被引量：8
《光学学报》2014年第5期97-104,共8页彭石军 苗二龙 
国家科技重大专项(2009ZX02205)
针对高精度光学系统的需求,利用立式Fizeau型干涉仪,结合双频激光测长干涉仪,实现了亚微米量级的高精度曲率半径的测量。为了验证该测量系统的可靠性,分别使用两个参考镜对一系列不同曲率半径的光学零件进行了检测。对产生测量误差的主...
关键词：测量 曲率半径 立式干涉仪 不确定度 交叉测量 
基于光纤的溶解氧浓度荧光测定法被引量：4
《发光学报》2014年第3期382-386,共5页彭利荣 杨兴华 张健 代雷 马占龙 彭石军 
国家科技重大专项项目(2009ZX02205)资助
针对溶解氧浓度微量探测的现实需求,提出了一种基于荧光猝灭原理、利用多孔光纤实现的溶解氧浓度测定新方法.该方法将钌联吡啶[Ru(dpp)3]Cl2掺杂的凝胶薄膜修饰在多孔光纤的内壁上,制备了一种溶解氧测定探头并对其测试性能进行表征.光...
关键词：多孔光纤 光学传感 溶解氧 溶胶-凝胶 
高精度曲率半径测量研究被引量：13
《激光与光电子学进展》2014年第1期101-107,共7页彭石军 苗二龙 史振广 陈华 隋永新 杨怀江 
国家科技重大专项(2009ZX02205)
由于影响曲率半径测量精度的因素众多,因此高精度曲率半径测量一直是光学检测中的难题之一。为了实现球面光学元件曲率半径的高精度测量,提出通过环境补偿和提高对准精度的方法来减小测量误差。首先从理论的角度分析了影响曲率半径检测...
关键词：测量 曲率半径 轴向对准误差 环境补偿 菲佐干涉仪 
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