徐乐

作品数：3被引量：18H指数：2
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：非球面复眼匹配方法照明模式抛光更多>>
发文领域：机械工程理学化学工程电子电信更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《光学学报》更多>>
所获基金：国家科技重大专项应用光学国家重点实验室开放基金更多>>
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计算全息图案位置误差致波前误差的标定方法被引量：3
《光学学报》2023年第8期393-400,共8页张海涛 徐乐 谢常青 
应用光学国家重点实验室开放基金(SKLAO2021001A05)。
通过对计算全息图检测非球面的误差进行分析,提出了一种用于计算全息图检测非球面过程中图案位置误差引入的波前误差的标定方法。该方法先设计检测过程中所需要的辅助波前和检测波前在计算全息基板上所对应的相位分布,再通过光场叠加的...
关键词：光学设计 非球面 复合相位 计算全息 图案位置误差 绝对检测 
全频段亚纳米精度氟化钙材料加工被引量：2
《光学精密工程》2016年第11期2636-2643,共8页张春雷 徐乐 刘健 马占龙 王飞 谷永强 代雷 彭石军 
国家科技重大专项(No.2009ZX02205)
考虑用CaF_2材料制作投影光刻物镜可以明显提高其性能指标,本文研究了CaF_2材料加工工艺的全流程,以实现CaF_2材料的全频段高精度加工。首先,利用沥青抛光膜和金刚石微粉使CaF_2元件有较好的面形和表面质量。然后,优化转速、抛光盘移动...
关键词：氟化钙 投影光刻物镜 精密光学加工 亚纳米精度加工 离子束修形(IBF) 
高精度非回转对称非球面加工方法研究被引量：13
《中国光学》2016年第3期364-370,共7页徐乐 张春雷 代雷 张健 
国家科技重大专项资助项目(No.2009ZX02205)~~
本文提出一种高精度非回转对称非球面加工方法。首先,通过范成法铣磨出非回转对称非球面的最佳拟合球;然后,利用古典抛光修正小磨头确定抛光难以修正的中频误差;最后,利用高精度气囊抛光设备(IRP)精确对位精修面形,在不引入额外中频误...
关键词：非回转对称 非球面 气囊抛光 IRP 抛光 
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