彭海峰

作品数：8被引量：39H指数：5
导出分析报告
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：光学元件投影光刻物镜轴向像差支撑结构更多>>
发文领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术文化科学更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《光学学报》《光子学报》《激光与光电子学进展》更多>>
所获基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-8
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解被引量：10
《光学精密工程》2016年第6期1373-1381,共9页赵磊 梁超 张德福 东立剑 彭海峰 
国家重大专项基金资助项目(No.2009ZX02205);国家自然科学基金资助项目(No.61504142)
针对光刻投影物镜中光学元件X/Y/θ微动调整的工程需求,研制了一种基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构,并对其位姿正解进行了研究。建立了3-RRR柔顺并联机构的伪刚体模型,并采用矢量代数法理论推导了该机构的位姿正解,得到了它的...
关键词：柔顺并联机构 光学元件微动调整 位姿正解 伪刚体模型 矢量代数法 雅克比矩阵 
光刻投影物镜恒温水套小比例模型的设计与性能测试被引量：2
《激光与光电子学进展》2016年第8期140-145,共6页彭海峰 于新峰 秦硕 
国家重大专项基金(2009ZX02205)
恒温水套是光刻物镜工作环境温度控制系统的重要组成部分。为了研究恒温水套的关键参数与性能，设计了一个小比例水套模型。恒温温控系统对其提供±0．001℃的去离子水，通过对比三镜光机系统温度变化及热像差变化获取小比例水套的关键...
关键词：测量 投影物镜 恒温水套 热像差 温度测试 
精密光学系统的热像差被引量：6
《光学精密工程》2015年第11期3033-3040,共8页张巍 于新峰 周连生 王学亮 倪明阳 彭海峰 
国家科技重大专项资助项目(No.2009ZX02205)
为了精确控制与补偿物镜的热像差,设计了一套三镜实验光学系统,基于该系统验证了热像差计算方法的准确性。介绍了热像差分析方法及验证实验方案。开展不同热载工况下热像差测试实验,并与仿真结果进行了对比。最后,综合实验与仿真结果,...
关键词：精密光学系统 激光辐照 投影光刻物镜 热像差 
具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构被引量：8
《光电工程》2015年第10期43-48,共6页赵磊 彭海峰 于新峰 东立剑 
国家重大专项基金资助项目(2009ZX02205)
光刻投影物镜中透镜的面形精度是影响光学系统成像质量的关键因素之一。为满足透镜面形精度RMS值优于1~2 nm的指标要求,本文提出了一种具有整体径向挠性的透镜多点均匀支撑结构,基于自重变形和热变形对支撑块尺寸进行了优化设计,分析了...
关键词：光刻投影物镜 透镜支撑结构 自重变形 热变形 
光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析被引量：5
《光子学报》2014年第4期107-111,共5页彭海峰 孙振 
国家重大专项基金(No.2009ZX02205)资助
柔性铰链与高准确度驱动器的结合是实现光学元件轴向精密调节的重要方法.本文介绍了一种采用柔性铰链的轴向精密调节机构,推导并得出了其实现精密调节的原理.通过对应用柔性调节机构的一种典型光机系统的刚度分析,得到在不超过柔性铰链...
关键词：光刻物镜 光学元件 精密轴向调节 面形分析 柔顺铰链 固有频率特性 
热扰动条件下投影物镜温度响应的高精度建模被引量：4
《光学精密工程》2013年第11期2829-2835,共7页秦硕 巩岩 于新峰 袁文全 彭海峰 杨怀江 
国家02专项基金资助项目(No.2009ZX02005)
针对投影物镜温度控制系统具有多重扰、多时滞和时间常数较大等问题,搭建了投影物镜温控实验平台;研究了实验平台的结构、激励信号设计、数据预处理方法和建模算法,建立了超高精度温度响应模型。首先,考虑光刻机对震动和洁净度的严格要...
关键词：投影物镜 热扰动 伪随机信号 系统辨识 温度控制 
光刻投影物镜中柔性多弹片支撑方式的性能分析被引量：6
《光电工程》2013年第2期71-75,共5页彭海峰 巩岩 赵磊 
国家重大专项基金资助项目(2009ZX02205)
大口径光学元件的支撑技术是精密光学仪器的关键技术之一,在精密光学仪器的光学元件支撑中,多弹片支撑因其能使光学元件均匀受力且能够较好的消除热像差而得到很多应用。本文针对一种L形多弹片光学元件支撑结构做了结构设计,并对通过相...
关键词：光刻投影物镜 多弹片支撑结构 自重变形 面形分析 
18～90mm连续变焦距镜头的研制
《光学学报》2012年第F12期84-90,共7页赵磊 巩岩 赵阳 华洋洋 彭海峰 
国家自然科学基金（40974110）资助课题.
为了实现对有限远物体的快速对准和精确分辨，研制了物距280～340mm的变焦距镜头，对该变焦距镜头的工作原理、结构设计和测试实验等进行了研究。详细阐述了该镜头的整体结构、变焦补偿机构和凋焦机构，研究了变倍补偿凸轮和调焦凸轮的...
关键词：成像系统 变焦镜头 圆柱凸轮 光机结构 模态分析 分辨率 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部