激光直写

作品数：261被引量：612H指数：13
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数字微镜器件衍射模型建立及其在激光直写机台中的应用被引量：1
《激光与光电子学进展》2024年第15期308-314,共7页方林 蔡健 叶加良 蔡潍 张琦 
安徽省科技重大专项(2021d05050004)。
数字微镜器件(DMD)是激光直写光刻设备(LDI)的核心光学器件。基于LDI实际生产条件建立相关衍射模型,仿真和分析不同参数下DMD频谱面衍射光斑分布和像平面成像质量的对应关系,解释同一型号的DMD投影图形对比度差异原因。首次通过改变光...
关键词：数字微镜器件 直写光刻 衍射模型 图像对比度 
中国科学院重庆绿色智能技术研究院集成光电技术研究中心副研究员刘锡 “芯”系祖国 倾力微纳
《中国高新科技》2024年第16期8-9,共2页殷雪 
微纳器件因具有高集成度与高功能性,被广泛用于航空航天、生物医学、新型材料等领域,极大地推动了现代科学技术的发展。与微纳器件对应的微纳加工技术,在全球缺“芯”的现状下,已经成为备受关注的研究领域,相关高端装备与技术的研发也...
关键词：激光直写技术 中国科学院 新型材料 微纳器件 航空航天 绿色智能 真三维 微纳结构 
基于飞秒激光微加工的温度补偿型高灵敏度光纤光栅传感器的实验教学研究被引量：1
《大学物理实验》2024年第4期58-62,共5页李宏韬 刘雨轩 王伟胜 戴娇研 吕亮 孙火姣 
国家自然科学基金项目(62105001、62275001);安徽大学质量工程项目(2023xjzlgc191、2022xjzlgc307);2022年教育部产学合作协同育人项目(220601094185801、2022604090245226);国家级大学生创新创业训练计划项目(202410357012、202110357018);省级大学生创新创业训练计划项目(S202210357027、S202210357026);安徽省新时代育人质量工程(2022lhpysfjd014、2022jyjxggyj115);皖西学院质量工程项目(wxxy2022133)。
在传统的大学物理实验教学中,长周期光纤光栅的折射率灵敏度较低且温度灵敏度通常为正值,与布拉格光纤光栅相结合不能很好地实现温度串扰的消除。因此,我们利用飞秒激光直写技术制备出一种微纳光纤布拉格光栅(mFBG)与微纳小长周期光纤光...
关键词：微纳小长周期光纤光栅 微纳布拉格光纤光栅 飞秒激光直写技术 温度补偿 
激光直写光刻技术的发展与应用(特邀)被引量：1
《中国激光》2024年第12期278-291,共14页陈林森 黄文彬 浦东林 乔文 周冯斌 眭博闻 孟志 
国家重点研发计划(2022YFB3606603);国家自然科学基金面上项目(61975140,62075145);江苏省前沿引领技术基础研究专项(BK20192003);苏州市重点产业创新前瞻性应用研究项目(SYG201930);江苏高校优势学科建设工程(PAPD)。
以“光”为媒介的激光直写技术是研制先进功能材料与功能元器件的重要途径、探索未知光电子世界的窗口,也是通向更高制造目标的桥梁。激光直写产生的微纳结构形貌及其排列所形成的许多新特性、新现象和新机理是研究制备新材料、新器件...
关键词：激光直写光刻技术 微纳光学 3D形貌 新型显示 
具有超衍射和多受体的新型纳秒激光直写研究进展(特邀)
《中国激光》2024年第12期292-308,共17页王骏琦 陈胜垚 王树 马立俊 杜潇姗 王聪 齐俊杰 刘前 
国家自然科学基金(51971070);国家重点研发计划(2016YFA0200403);欧盟第七框架计划(No.247644);中国科学院A类战略性先导科技专项(XDA 09020300)。
激光直写(LDW)是一种无掩模、高效且经济的微纳米加工手段,它广泛应用于微机电系统、光刻掩模版制作和微纳米加工等领域。随着纳米技术的迅猛发展,研究人员对LDW系统的多受体和高加工分辨率的需求日益增加。为了满足上述需求和探索新的...
关键词：激光直写 超衍射加工 多受体材料 纳米加工 
基于相变薄膜高分辨激光直写光刻研究进展(特邀)
《中国激光》2024年第12期329-348,共20页郭嘉龙 魏涛 魏劲松 胡敬 程淼 刘倩倩 王瑞瑞 李宛飞 刘波 
国家自然科学基金(62205231,52303130)。
激光直写光刻因其高速、低成本、无需掩模辅助以及能实现大面积的微纳结构制造的优点,在光学元件制造、光学成像、微机电系统等领域中具有广阔的应用前景。然而,受到光学衍射极限的限制,激光直写光刻的分辨率难以达到nm量级。相变薄膜...
关键词：光刻 高分辨 激光直写 相变薄膜 热阈值 应用 
像差预补偿的铌酸锂晶体内部激光直写(特邀)
《激光与光电子学进展》2024年第11期1-7,共7页王天新 张勇 
中央高校基本业务费(021314380226,021314380191)。
集成光电器件正由传统的二维构型向全空间维度发展,激光直写凭借其独特的三维加工优势在全维度光子芯片的发展中发挥了重要的作用。铌酸锂是近年来受到广泛关注的高性能光电材料,但由于界面间的大折射率失配引入像差,极大地影响了在铌...
关键词：铌酸锂 飞秒激光直写 自适应光学 像差校正 泽尼克多项式 
光纤多通道并行激光直写光刻系统(特邀)
《中国激光》2024年第12期382-388,共7页张娜 罗昊 邱毅伟 詹刚垚 温积森 吕碧沪 匡翠方 朱大钊 刘旭 
国家重点研发计划(2022YFC2403100,2021YFF0502700);浙江省“尖兵”“领雁”研发攻关计划(2023C01051);国家自然科学基金(62105298,12204434);浙江省自然科学基金(LQ22F050017)。
激光直写是一项应用广泛的微纳加工技术。但受限于通量,单通道激光直写技术无法实现大面积应用。为此,提出并验证一种多通道激光直写技术,以提升激光直写技术的通量。与传统的以空间光光路为基础的多通道系统不同,介绍的技术使用光纤器...
关键词：激光直写 多通道并行光刻 光纤系统 微纳加工 
基于边缘光与化学抑制方法的三维结构表面粗糙度优化研究(特邀)
《中国激光》2024年第12期415-421,共7页高秀君 丁晨良 沈小明 詹刚垚 朱大钊 匡翠方 刘旭 
国家青年科学基金(52105565);浙江省自然科学基金(LQ22F050015);国家重点研发计划(2021YFF0502700);浙江省尖兵领雁研发攻关计划(2023C01051);浙江省万人计划青年拔尖人才(2020R52001);之江实验室重大科研项目(2020MC0AE01)。
表面粗糙度是影响激光直写技术制备微纳光学器件质量的核心参数之一,其对于曲面类光场调控微纳器件的性能来说至关重要。在传统的刻写方法中,过低的轴向分辨率会对弯曲轮廓器件的表面粗糙度产生不利影响,使其产生不必要的台阶状痕迹,从...
关键词：激光直写 抑制剂 边缘光抑制 轴向分辨率 表面粗糙度 
基于飞秒激光直写技术的金属图案化研究(特邀)
《中国激光》2024年第12期431-439,共9页庞茂璋 邱毅伟 曹春 匡翠方 
国家自然科学基金(22105180);浙江省尖兵领雁重点研发项目(2023C01186、2023C01051);之江实验室重大科学项目(2020MC0AE01);浙江省自然科学基金(LQ22F050017)。
飞秒激光直写是一种新型的纳米加工技术,但由于飞秒激光和金属的光热效应会产生激光烧蚀现象,难以直接在金属上实现高质量图案转移。结合飞秒激光直写技术和剥离(lift-off)工艺,开发了一种新型金属图案转移技术,可成功实现亚微米精度(0...
关键词：激光技术 飞秒激光直写 剥离工艺 金属图案化 掩模板加工 光刻胶 
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