中国科学院重庆绿色智能技术研究院集成光电技术研究中心副研究员刘锡 “芯”系祖国 倾力微纳  

作　　者：殷雪 

机构地区：[1]不详

出　　处：《中国高新科技》2024年第16期8-9,共2页

摘　　要：微纳器件因具有高集成度与高功能性,被广泛用于航空航天、生物医学、新型材料等领域,极大地推动了现代科学技术的发展。与微纳器件对应的微纳加工技术,在全球缺“芯”的现状下,已经成为备受关注的研究领域,相关高端装备与技术的研发也是当前我国发展战略的重要内容之一。与传统投影光刻技术、电子束直写等技术相比,激光直写技术是微纳加工技术中最具有潜力解决真三维、复杂微纳结构加工难题的微纳加工技术。2024年1月22日,Nature杂志发表了题为“Seven technologies to watch in 2024”的文章,3D纳米激光直写技术便是Nature杂志2024年值得关注的七项技术之一。

关 键 词：激光直写技术 中国科学院 新型材料 微纳器件 航空航天 绿色智能 真三维 微纳结构 

分 类 号：TN25[电子电信—物理电子学]