激光直写技术

作品数:43被引量:99H指数:5
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中国科学院重庆绿色智能技术研究院集成光电技术研究中心副研究员刘锡 “芯”系祖国 倾力微纳
《中国高新科技》2024年第16期8-9,共2页殷雪 
微纳器件因具有高集成度与高功能性,被广泛用于航空航天、生物医学、新型材料等领域,极大地推动了现代科学技术的发展。与微纳器件对应的微纳加工技术,在全球缺“芯”的现状下,已经成为备受关注的研究领域,相关高端装备与技术的研发也...
关键词:激光直写技术 中国科学院 新型材料 微纳器件 航空航天 绿色智能 真三维 微纳结构 
基于飞秒激光微加工的温度补偿型高灵敏度光纤光栅传感器的实验教学研究
《大学物理实验》2024年第4期58-62,共5页李宏韬 刘雨轩 王伟胜 戴娇研 吕亮 孙火姣 
国家自然科学基金项目(62105001、62275001);安徽大学质量工程项目(2023xjzlgc191、2022xjzlgc307);2022年教育部产学合作协同育人项目(220601094185801、2022604090245226);国家级大学生创新创业训练计划项目(202410357012、202110357018);省级大学生创新创业训练计划项目(S202210357027、S202210357026);安徽省新时代育人质量工程(2022lhpysfjd014、2022jyjxggyj115);皖西学院质量工程项目(wxxy2022133)。
在传统的大学物理实验教学中,长周期光纤光栅的折射率灵敏度较低且温度灵敏度通常为正值,与布拉格光纤光栅相结合不能很好地实现温度串扰的消除。因此,我们利用飞秒激光直写技术制备出一种微纳光纤布拉格光栅(mFBG)与微纳小长周期光纤光...
关键词:微纳小长周期光纤光栅 微纳布拉格光纤光栅 飞秒激光直写技术 温度补偿 
基于飞秒激光直写技术的金属图案化研究(特邀)
《中国激光》2024年第12期431-439,共9页庞茂璋 邱毅伟 曹春 匡翠方 
国家自然科学基金(22105180);浙江省尖兵领雁重点研发项目(2023C01186、2023C01051);之江实验室重大科学项目(2020MC0AE01);浙江省自然科学基金(LQ22F050017)。
飞秒激光直写是一种新型的纳米加工技术,但由于飞秒激光和金属的光热效应会产生激光烧蚀现象,难以直接在金属上实现高质量图案转移。结合飞秒激光直写技术和剥离(lift-off)工艺,开发了一种新型金属图案转移技术,可成功实现亚微米精度(0...
关键词:激光技术 飞秒激光直写 剥离工艺 金属图案化 掩模板加工 光刻胶 
柔性铜-银复合薄膜的激光直写制备及其导热特性
《焊接学报》2023年第12期75-81,I0008,共8页姚煜 郭伟 刘通 周兴汶 
中国博士后科学基金(2023M732524);江苏省自然科学基金(BK20230497);江苏省卓越博士后计划(2023ZB548)。
随着柔性电子产品对高效热管理的需求不断增长,近年来制备高导电性柔性薄膜越来越受到人们的广泛关注.以聚酰亚胺(PI)为基底,采用激光直写技术制备铜(Cu)和铜-银(Cu-Ag)薄膜,并对制备的Cu-Ag薄膜进行了物相分析和结构表征.结果表明,铜...
关键词:激光直写技术 Cu薄膜 Cu-Ag薄膜 热导率 
激光直写ZnO/石墨烯的翻转型光电化学传感研究
《闽江学院学报》2023年第5期103-110,共8页雷宇芬 张佳怡 林歆彤 邱桢丽 陈毅挺 叶晓霞 
国家自然科学基金(22004053,22008035);福建省自然科学基金(2022J011114,2021J05203,2020J05131)。
采用激光直写技术原位合成了氧化锌/石墨烯(ZnO/LIG)电极,构建了一种信号翻转型光电化学(PEC)传感器用于检测二茂铁(Fc)。在存在目标物Fc时,电极信号从阳极光电流变成阴极光电流,光电信号极性发生明显翻转,有效消除了背景信号干扰,提高...
关键词:激光直写技术 氧化锌 石墨烯 光电化学传感器 二茂铁 
激光直写制备衍射光学元件的研究及应用被引量:1
《红外与激光工程》2023年第4期124-141,共18页梁广磊 孙树峰 王津 姜明明 张丰云 王茜 邵晶 曲志浩 王萍萍 
国家自然科学基金(51775289);山东省自然科学基金(ZR2018ZB0524);山东省重点研发计划项目(2019GGX104097,2019JZZY010402);高等学校学科创新引智计划(D21017);青岛西海岸新区2020年度科技源头创新专项项目(2020-103)。
衍射光学元件作为一种典型的微光学元件,其体积小、质量轻、设计自由度多、成像质量良好,在光学成像、光学数据存储、激光技术、生物医学等领域具有广阔的应用前景。随着现代光学系统的不断发展,对衍射光学元件的加工效率和制备精度提...
关键词:激光直写技术 衍射光学元件 直写系统对比 微纳制造 光学元件应用 
基于激光直写的柔性电阻抗成像传感器研究被引量:1
《传感技术学报》2022年第12期1603-1610,共8页董富贵 鞠宽 刘琦 章轩 高阳 肖飚 焦玲 轩福贞 
国家自然科学基金项目(51835003,61804054);武汉光电国家研究中心开放基金项目(2020WNLOKF007)。
基于柔性导电薄膜的电阻抗成像技术能够实现对外界刺激的二维可视化传感,在结构健康监测、人机交互、人体体征监测等领域具有广泛的应用前景。然而,现有的柔性导电薄膜多采用喷涂、浸涂和填充等方法来制备,需获取均匀分散导电浆料、且...
关键词:柔性薄膜传感器 结构健康监测 激光直写技术 EIT 电学性质各向异性 
纳米多孔MoNi/Al_(3)Ni_(2)材料制备及电催化析氢性能的研究被引量:2
《功能材料》2022年第11期11143-11149,共7页孙群翔 梁砚琴 朱胜利 李朝阳 姜辉 
开发非贵金属高效电催化剂是降低电解水制氢成本的关键。通过激光直写技术以及脱合金在泡沫镍基底上制备了一种自支撑的纳米多孔MoNi/Al_(3)Ni_(2)催化剂。该催化剂的纳米多孔结构增加了催化反应的活性位点,MoNi和Al_(3)Ni_(2)之间的协...
关键词:激光直写技术 析氢反应 MoNi/Al_(3)Ni_(2) 脱合金 
一种基于激光直写技术的自供电光电化学传感器
《闽江学院学报》2022年第5期41-48,共8页薛祥航 林歆彤 雷宇芬 邱桢丽 陈毅挺 刘明华 
国家自然科学基金(22004053);福建省自然科学基金(2022J011114,2020J01835,2021J05203,2021J011018);福州市科技项目(2021SG042)。
设计了一种基于激光直写技术制备的二氧化钛/石墨烯(TiO_(2)/Graphene)为光阳极和铂电极为阴极的葡萄糖自供电光电化学传感器。探究了钛源添加量、纳米激光作用仪输出功率与溶液pH对传感器性能的影响。实验结果表明,所设计的传感器对葡...
关键词:激光直写 二氧化钛/石墨烯 葡萄糖 自供电 光电化学传感器 
基于纳米颗粒热效应的飞秒激光高效直写金属铜微结构被引量:6
《中国激光》2022年第8期155-165,共11页崔梦雅 黄婷 肖荣诗 
国家自然科学基金(51975018)。
在Cu(NO_(3))_(2)前驱体溶液中添加硅纳米颗粒,采用飞秒激光在透明基底表面成功直写了导电金属铜微结构。前驱体溶液中的硅颗粒作为吸光粒子吸收激光能量后对溶液进行加热,使Cu^(2+)还原为金属铜并沉积在基底表面。结果表明:当激光光强...
关键词:激光技术 飞秒激光 激光直写技术 吸光粒子 铜微结构 导电性 
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