SU-8

作品数：107被引量：206H指数：7
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SU-8光栅的制备及其衍射性能研究
《传感器与微系统》2025年第1期55-58,共4页鲁小鑫 王萧 张雪凤 王浪 岱钦 乌日娜 
2022年辽宁省“揭榜挂帅”科技计划重点项目;沈阳理工大学光选科研团队建设项目;辽宁省博士科研启动基金计划资助项目(2021-BS-161)。
衍射效率的大小是衡量光刻光栅性能优劣的重要指标。使用严格耦合波分析(RCWA)模拟得到周期10μm和12μm的SU-8微米光栅的各级次衍射效率。采用掩模版紫外光刻技术制作曝光时间分别为27,30,33,36 s的SU-8光栅。通过显微镜观察,发现曝光...
关键词：SU-8光刻胶 衍射效率 严格耦合波分析 
移动焦平面正反面曝光制备SU-8微结构及PDMS浓度梯度产生器
《量子电子学报》2023年第3期415-422,共8页陈启明 傅仁轩 徐勇军 刘益标 周金运 宋显文 
广州市科技计划项目(202102021302);广东工贸高层次人才专项基金(2021-gc-03,2021-gc-04)。
针对芯片实验室对浓度梯度产生器(CGG)的需求,为制作侧壁垂直的CGG,提出了一种移动焦平面正反面曝光制备SU-8光刻胶微结构的方法。该方法根据焦深将SU-8厚度分成多层,每曝光一次焦面向下移动一层,当曝光层数达到总层数一半时将样品翻转...
关键词：光电子学 浓度梯度产生器 焦面移动正反面曝光 SU-8 聚二甲基硅氧烷 
基于405nm LED光源DMD无掩模光刻SU-8的特征尺寸研究
《中国科技期刊数据库 工业A》2023年第4期166-169,共4页陈启明 宋显文 傅仁轩 周金运 胡益铭 
SupportedbyGuangzhouScienceandTechnologyPlanningProject(广州市科技计划项目,No.202102021302),FoundationforHigh-LevelTalentsinHigherEducationofGDPIC(广东工贸高层次人才专项基金,No.2021-gc-03,2021-gc-04)。
SU-8光刻胶具有良好的机械性能、耐化学腐蚀性和高的热稳定性,已成为制作高纵横比聚二甲基硅氧烷(PDMS)微流控芯片阳模的首选材料。本文突破了SU-8光致抗蚀剂在365 nm-400 nm波长范围内感光区的限制,通过多次曝光积累曝光强度,达到SU-8...
关键词：SU-8 PDMS DMD 无掩模光刻 特征尺寸 
High-throughput fabrication of large-scale metasurfaces using electron-beam lithography with SU-8 gratings for multilevel security printing被引量：1
《Photonics Research》2023年第3期I0040-I0047,共8页YOU SIN TAN HAO WANG HONGTAO WANG CHENGFENG PAN JOEL K.W.YANG 
National Research Foundation Singapore(NRF-CRP20-2017-0004,NRF-NRFI06-2020-0005)。
The field of metasurface research has rapidly developed in the past decade.Electron-beam lithography(EBL)is an excellent tool used for rapid prototyping of metasurfaces.However,Gaussian-beam EBL generally struggles wi...
关键词：LITHOGRAPHY beam dielectric 
光刻与化学机械抛光技术原位集成制备SU-8微透镜阵列被引量：1
《微纳电子技术》2023年第2期305-312,共8页张清泽 吴永进 马闯北 石现 孙云娜 丁桂甫 
垂直腔面发射激光器通常与微光学元件组合使用,以改善激光束的聚焦或准直效果。研究了一种光刻和化学机械抛光技术相结合的新工艺方法,用于原位制备SU-8微透镜阵列。通过调控光刻参数,可以精确控制微透镜的直径与高度。实验制备了不同...
关键词：微透镜阵列 SU-8 原位 化学机械抛光 垂直腔面发射激光器 
向列相液晶激光器件侧面辐射谱研究
《红外与激光工程》2023年第2期222-227,共6页乌日娜 宋云鹤 高芮 王萧 鲁小鑫 李业秋 岱钦 
国家自然科学基金(61705145);辽宁省高等学校创新人才支持计划(LR2016079);辽宁省自然科学基金(20180550330);沈阳理工大学科研创新团队建设项目(SYLUTD2020);高水平建设项目(SYLUXM202107)。
研究了向列相液晶激光器件侧面激光辐射谱,并深入分析了激光辐射机制。分别制备了传统液晶盒和引入SU-8光栅结构的两种器件,并注入向列相液晶TEB30A和激光染料PM597的混合物。利用Nd:YAG固体脉冲激光器倍频出的532 nm激光作为泵浦源正...
关键词：向列相液晶 SU-8光栅 多波长激光 随机激光 
Fabricating ion-conducting channel in SU-8 matrix for highperformance patternable polymer electrolytes被引量：1
《Nano Research》2023年第1期496-502,共7页Tianzhao Li Xuelei Pan Zhongzhuo Yang Fang Liu Kesong Yu Lin Xu Liqiang Mai 
This work was supported by the National Key Research and Development Program of China(No.2020YFA0715000);the National Natural Science Foundation of China(Nos.51802239,51832004);Foshan Xianhu Laboratory of the Advanced Energy Science and Technology Guangdong Laboratory(Nos.XHT2020-005,XHT2020-003);the Innovation and Entrepreneurship Training Program of School of Materials Science and Engineering,Wuhan University of Technology(No.CY202031).
Advances in electrochemical energy storage technologies drive the need for battery safety performance and miniaturization,which calls for the easily processable polymer electrolytes suitable for on-chip microbattery t...
关键词：polymer electrolytes patternable electrolytes on-chip battery lithium-ion battery 
Bionic MEMS for Touching and Hearing Sensations: Recent Progress, Challenges, and Solutions
《Journal of Bionic Engineering》2022年第3期590-615,共26页Chang Ge Edmond Cretu 
This paper reviews the recent progress on bionic microelectromechanical systems(MEMS)used for touching and hearing sensations,focusing on the following three types of devices:MEMS tactile sensors,MEMS directional micr...
关键词：Bionic MEMS Tactile sensor Directional microphone Vector hydrophone Polymeric micromachining PDMS SU-8 
Cu/SU-8复合结构的高精度机械研磨
《微纳电子技术》2022年第4期379-384,391,共7页田苗 周欣 陈舒静 张笛 瞿敏妮 毛海平 乌李瑛 
由于其独特的厚度优势,SU-8经常在微加工领域被用作模具,通过电镀实现金属的大深宽比结构。但是,由于电镀的特殊性,其获得的金属结构表面往往需要进行研磨整平。对在SU-8大深宽比结构中电镀金属后形成的复合结构的研磨进行研究,设计并...
关键词：复合结构 电镀 研磨 SU-8 粗糙度 
SU-8 cantilever with integrated pyrolyzed glass-like carbon piezoresistor
《Microsystems & Nanoengineering》2022年第1期269-280,共12页Jongmoon Jang Giulia Panusa Giovanni Boero Juergen Brugger 
The authors thank the Center of Micro/Nanotechnology(CMi)of EPFL for the microelectromechanical system(MEMS)fabrication support and Bio-Micro Robotics laboratory with Professor Hongsoo Choi of DGIST for the microforce probe system facility support.This work received funding from the European Research Council(ERC)under the European Union’s Horizon 2020 research and innovation program(Project“MEMS 4.0”,ERC-2016-ADG,Grant Agreement No.742683);the National Research Foundation of Korea(NRF)grant funded by the Korean government(MSIT)(No.2020R1F1A107422211).
Glass-like carbon(GC)is a nongraphitizing material composed entirely of carbon atoms produced from selected organic polymer resins by controlled pyrolysis in an inert atmosphere.The GC properties are a combination of ...
关键词：CANTILEVER GLASS CARBON 
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