SU-8

作品数：107被引量：206H指数：7
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《微纳电子技术》
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作品数：4652被引量：7349H指数：21
曾用名：半导体情报
issn：1671-4776cn：13-1314/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：MEMS 微电子机械系统 微机电系统 纳电子技术 CMP
发文领域：电子电信 机械工程 一般工业技术 自动化与计算机技术 理学
《光学精密工程》
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作品数：8845被引量：47005H指数：54
曾用名：光学机械
issn：1004-924Xcn：22-1198/TH
主办单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发文主题：光学 英文 图像处理 光学设计 空间相机
发文领域：自动化与计算机技术 机械工程 电子电信 理学 航空宇航科学技术
《微细加工技术》
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作品数：1244被引量：2063H指数：14
issn：1003-8213cn：43-1140/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第48研究所
发文主题：离子注入 电子束曝光机 MEMS 光刻 金刚石
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 一般工业技术 机械工程
《功能材料与器件学报》
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作品数：2301被引量：4644H指数：18
曾用名：科技通讯；科技通讯（上海）
issn：1007-4252cn：31-1708/TB
主办单位：中国材料研究学会；中国科学院上海微系统与信息技术研究所
发文主题：英文 MEMS 性能研究 X TIO
发文领域：电子电信 一般工业技术 理学 电气工程 自动化与计算机技术
《强激光与粒子束》
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作品数：12079被引量：26684H指数：32
issn：1001-4322cn：51-1311/O4
主办单位：四川核学会;中国工程物理研究院；中国核学会
发文主题：高功率微波 数值模拟 等离子体 高功率 强激光
发文领域：电子电信 理学 核科学技术 机械工程 电气工程
《传感器与微系统》
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作品数：9823被引量：32360H指数：36
曾用名：传感器技术
issn：2096-2436cn：23-1537/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所
发文主题：无线传感器网络 传感器 系统设计 微机电系统 WSNS
发文领域：自动化与计算机技术 电子电信 机械工程 电气工程 理学
《Optoelectronics Letters》
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作品数：2543被引量：2365H指数：11
issn：1673-1905cn：12-1370/TN
主办单位：天津理工大学
发文主题：BASED_ON FIBER INFORMATION OPTICAL TUNABLE
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 机械工程 一般工业技术
《Nano-Micro Letters》
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作品数：1894被引量：5026H指数：23
issn：2311-6706cn：31-2103/TB
主办单位：上海交通大学
发文主题：PEROVSKITE BATTERIES GRAPHENE SOLAR_CELL AQUEOUS
发文领域：一般工业技术 电气工程 化学工程 理学 自动化与计算机技术
《中国学术期刊文摘》
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作品数：15452被引量：239H指数：3
issn：1005-8923cn：11-3501/N
主办单位：科技导报社
发文主题：其他学科 基础学科 经济学 文摘 化学工程
发文领域：理学 农业科学 生物学 化学工程 自动化与计算机技术
《传感技术学报》
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作品数：8609被引量：34701H指数：44
issn：1004-1699cn：32-1322/TN
主办单位：东南大学;中国微米纳米技术学会
发文主题：无线传感器网络 传感器 MEMS 传感技术 无线传感网络
发文领域：自动化与计算机技术 电子电信 机械工程 理学 电气工程
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