《微细加工技术》

作品数：1244被引量：2061H指数：14
导出分析报告
《微细加工技术》
主办单位：中国电子科技集团公司第48研究所
最新期次：2008年6期更多>>
发文主题：离子注入电子束曝光机MEMS光刻金刚石更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>
发文作者：蔡炳初赵小林丁桂甫杨春生张玉林更多>>
发文机构：中国科学院上海交通大学清华大学中国科学技术大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划国家教育部博士点基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
高析氢活性Ni-Mo-Zn合金电极的制备与表征被引量：3
《微细加工技术》2008年第6期22-25,共4页朱波 刘贵昌 施志聪 王华 刘伟 
采用两步电沉积方法在碱性柠檬酸盐-氨水络合体系中制备了含有Ni-Mo中间层的Ni-Mo-Zn电极,通过在热碱溶液中浸泡除去部分Zn后得到高析氢活性电极。SEM测试发现,该电极的合金镀层表面有多层结构和二级颗粒,它们经热碱溶液浸泡后会形成大...
关键词：Ni-Mo-Zn电极 电沉积 热碱浸泡 析氢 
SOI微加速度传感器结构设计与工艺实现被引量：2
《微细加工技术》2008年第6期26-27,64,共3页徐春晓 房立清 周新伟 
设计了一种基于SOI技术的压阻式抗冲击微加速度计,解决了电阻在高温时产生漏电流问题,有效扩展了其温度应用范围。设计方案合理应用光刻I、CP刻蚀等先进技术使其工艺得到实现。研究为下步耐高温压阻式传感器的制作提供了依据。
关键词：高温 抗冲击 微加速度传感器 SOI 
陶瓷釉用TiO_2光催化剂的制备研究被引量：3
《微细加工技术》2008年第6期28-30,36,共4页陈前林 吴建青 王龙现 
"教育部春晖计划"资助项目(Z2006-1-52015);贵州省自然科学基金(2005-2089);"贵阳市人才创新创业资金"资助项目
制备了SiO2-TiO2和SiO2-ZrO2-TiO2复合光催化剂,并将其加入到陶瓷釉料中,结果表明,SiO2-TiO2,SiO2-ZrO2-TiO2复合粉体经1 323 K煅烧后仍具有较好的光催化活性;但用SiO2改性的TiO2粉体添加到陶瓷釉料中,经1 323 K煅烧后,由于釉料中碱金...
关键词：TIO2 SIO2-TIO2 SiO2-ZrO2-TiO2 光催化陶瓷釉料 
低相位噪声毫米波平面振荡器研究
《微细加工技术》2008年第6期31-33,共3页程知群 周云芳 张胜 
国家自然科学基金资助项目(60476035;60776052)
设计了一种低相位噪声毫米波平面振荡器电路,采用在振荡器谐振端嵌入缺陷接地结构(DGS)方法来改善振荡器的相位噪声;同时在振荡器混合集成中采用了芯片倒扣技术减小寄生效应。分析并比较了嵌入和未嵌入DGS结构两种振荡器电路的性能。测...
关键词：缺陷接地结构 相位噪声 倒扣芯片 毫米波振荡器 
共缩聚法制备功能化P(St-MPS)/MCM-41核壳复合微球被引量：1
《微细加工技术》2008年第6期34-36,共3页赵彦生 陈凯 刘永梅 刘成岑 张向英 申迎华 
国家自然科学基金资助项目(50573053);山西省青年基金资助项目(20051007)
以聚(苯乙烯-γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷)(P(St-MPS))微球为核模版,十六烷基三甲基溴化铵为壳模版,以P(St-MPS)微球、正硅酸乙酯与MPS的混合物为硅源,直接在无皂乳液中通过共缩聚方法合成表面链有碳—碳双键功能基的P(St-MPS)/M...
关键词：共缩聚法 聚(苯乙烯-γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷) MCM-41 核壳复合微球 功能化 
Zn^(2+)和PO_4^(3-)复合掺杂α-Ni(OH)_2的结构及电化学性能
《微细加工技术》2008年第6期37-40,共4页刘长久 黄良花 赵卫民 邢春晓 刘爱芳 
广西科学研究与技术开发计划项目资助(桂科基0731001)
采用化学反应共沉淀法制备出Zn2+和PO43-阴阳离子复合掺杂的α-Ni(OH)2粉体材料。通过对其微结构表征和电化学性能的测试分析结果表明,随着阳离子Zn2+含量相对增加,阴离子PO43-含量相对减少,晶胞参数a和c逐渐增大,当把掺入Zn2+,PO43-的...
关键词：Α-NI(OH)2 Zn2+和PO43-阴阳离子 复合掺杂 电化学性能 
微气泡在矩形铂膜加热器上的控制性生长及振动被引量：1
《微细加工技术》2008年第6期41-44,57,共5页李倩 刘国华 徐进良 张伟 
国家自然科学基金资助项目(50776089);广东省自然科学基金资助项目(07000742)
采用标准MEMS加工工艺,设计出了5个50μm×20μm的串联铂膜微加热器并将其置于并联流动微通道内;在脉冲加热下观察铂膜上气泡的生长行为,实验研究了主流过冷度、流速以及铂膜功率等因素对气泡生长的影响;结果表明,气泡的生长延迟间差随...
关键词：铂膜微加热器 脉冲加热 流动沸腾 气泡振动 
反磁悬浮涡流旋转微陀螺的定子研究被引量：1
《微细加工技术》2008年第6期45-47,共3页刘凯 张卫平 陈文元 刘武 李凯 戴福彦 
国家自然科学基金资助项目(60402003);国防预研基金资助项目(9140A09020706JW0314)
介绍的一种反磁悬浮涡流旋转微陀螺的定子研究。利用现有实验设备,通过多次实验摸索,找到了一条实现反磁悬浮涡流旋转微陀螺下定子合理的工艺路径,并进行了测试,测试显示定子结构完整正常。
关键词：微陀螺 反磁悬浮 涡流旋转 下定子工艺 
MOCVD侧向外延生长GaN的研究
《微细加工技术》2008年第6期48-52,共5页朱丽虹 李晓莹 刘宝林 
国家自然科学基金资助项目(60276029);国家863计划资助项目(2004AA311020;2006AA032409);福建省科技项目和基金资助项目(2006H0092;A0210006;2005HZ1018)
在低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)系统中利用侧向外延生长(epitaxial lateral overgrowth,ELO)技术进行了二次外延GaN的研究。SEM观察结果表明,翼区和窗口区宽度比值不同的图形衬底,侧向和纵向的生长速率不同;其AFM表面形貌图像表...
关键词：低压金属有机化学气相沉积 氮化镓 侧向外延生长 原子力显微镜 扫描电子显微镜 拉曼散射谱 
大角度离子注入机控制系统软件设计
《微细加工技术》2008年第6期1-3,共3页伍三忠 吴学忠 
介绍了大角度离子注入机控制系统软件的设计和实现,重点介绍了控制系统的总体设计和系统软件的结构设计、软件的具体实施和系统软件主要模块的功能。
关键词：大角度离子注入机 系统软件 软件模块 软件结构 
全选清除导出
共123页<12345678910>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部