云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 微细加工技术

《微细加工技术》: 作品数：1244被引量：2061H指数：14; 导出分析报告; 主办单位：中国电子科技集团公司第48研究所; 最新期次：2008年6期更多>>; 发文主题：离子注入电子束曝光机MEMS光刻金刚石更多>>; 发文领域：电子电信自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>; 发文作者：蔡炳初赵小林丁桂甫杨春生张玉林更多>>; 发文机构：中国科学院上海交通大学清华大学中国科学技术大学更多>>; 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划国家教育部博士点基金更多>>