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《微细加工技术》: 作品数：1244被引量：2063H指数：14; 导出分析报告; 主办单位：中国电子科技集团公司第48研究所; 最新期次：2008年6期更多>>; 发文主题：离子注入电子束曝光机MEMS光刻金刚石更多>>; 发文领域：电子电信自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>; 发文作者：蔡炳初赵小林丁桂甫杨春生张玉林更多>>; 发文机构：中国科学院上海交通大学清华大学中国科学技术大学更多>>; 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划国家教育部博士点基金更多>>

期刊简介

《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。