《微细加工技术》

作品数：1244被引量：2061H指数：14
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《微细加工技术》
主办单位：中国电子科技集团公司第48研究所
最新期次：2008年6期更多>>
发文主题：离子注入电子束曝光机MEMS光刻金刚石更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>
发文作者：蔡炳初赵小林丁桂甫杨春生张玉林更多>>
发文机构：中国科学院上海交通大学清华大学中国科学技术大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划国家教育部博士点基金更多>>
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蔡炳初
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作品数：117被引量：402H指数：9
发文主题：微机电系统 MEMS 微机械 形状记忆合金 微驱动器
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 一般工业技术 电气工程 理学
赵小林
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作品数：134被引量：448H指数：9
发文主题：微机电系统 MEMS 微机械 微机电系统技术 电磁驱动
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程 理学
丁桂甫
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作品数：189被引量：591H指数：11
发文主题：微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 一般工业技术 化学工程 电气工程
张玉林
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作品数：75被引量：161H指数：6
发文主题：电子束 电子束光刻 微机电系统 抗蚀剂 聚合酶链式反应
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 机械工程 电气工程 政治法律
杨春生
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作品数：99被引量：296H指数：9
发文主题：电极 MEMS 微机电系统 压电 植入
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 电气工程 一般工业技术 机械工程
冯伯儒
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作品数：64被引量：164H指数：7
发文主题：光刻 相移掩模 光刻系统 干涉光刻 掩模
发文领域：电子电信 机械工程 自动化与计算机技术 理学 一般工业技术
顾文琪
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作品数：62被引量：69H指数：4
发文主题：电子束曝光机 聚焦离子束 液态金属离子源 电子束曝光 图形发生器
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 一般工业技术 电气工程 核科学技术
姚汉民
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作品数：76被引量：170H指数：6
发文主题：光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
发文领域：电子电信 机械工程 理学 自动化与计算机技术 生物学
徐东
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作品数：82被引量：228H指数：8
发文主题：碳纳米管 形状记忆合金 微驱动器 纳米 图形化
发文领域：一般工业技术 金属学及工艺 电子电信 自动化与计算机技术 交通运输工程
陈宝钦
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作品数：85被引量：241H指数：9
发文主题：电子束光刻 电子束曝光 电子束直写 抗蚀剂 电子束
发文领域：电子电信 机械工程 自动化与计算机技术 一般工业技术 理学
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