赵小林

作品数：134被引量：448H指数：9
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发文主题：微机电系统MEMS微机械微机电系统技术电磁驱动更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>
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应用于电磁驱动器的非线性平面微弹簧及其集成制造工艺研究
《传感技术学报》2020年第2期167-172,共6页邵秀锋 赵小林 戴旭涵 唐智勇 黄建泽 丁桂甫 
国家自然科学基金项目(51875337)。
平面微弹簧是MEMS器件(如微驱动器、开关等)中一种常用的微结构。目前,平面非线性微弹簧的设计、制造与应用正日益成为关注的焦点。本文针对微机械电磁驱动器的需求,研制了一种变形量在100 μm左右,弹性变形力在5 mN附近的非线性变刚度...
关键词：微机电系统 非线性平面微弹簧 仿真 集成制造 
SiC微加工工艺及其在高温电容压力传感器中的应用研究进展被引量：2
《传感器与微系统》2018年第12期1-4,12,共5页余开庆 程萍 丁桂甫 Roya MABOUDIAN 赵小林 姚景元 
综述了碳化硅(SiC)材料的薄膜沉积、刻蚀、减薄、键合、欧姆接触等微加工工艺,并以SiC高温电容压力传感器为典型应用,介绍了SiC高温压力传感器的研究现状。
关键词：碳化硅 微加工工艺 高温 电容压力传感器 
MEMS器件用叠层镍间结合强度的研究
《复旦学报（自然科学版）》2016年第2期205-208,214,共5页李雪萍 张丛春 姚锦元 王艳 汪红 丁桂甫 赵小林 
教育部科技支撑项目(625010105);上海市基础研究项目(12JC1404902);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室开放基金(KF13001)
针对MEMS器件用叠层镍间结合强度差这一难题,开展了基于盐酸化学刻蚀提高叠层镍间结合强度的工艺研究.主要考查了不同盐酸浓度、处理温度等对镍层层间结合强度的影响规律.借助SEM、Veeco轮廓分析仪等观察断面,分析结合强度改善的原因....
关键词：镍叠层微结构 化学刻蚀 粗糙度 结合强度 
BST铁电薄膜高频特性的仿真分析研究被引量：2
《电子元件与材料》2016年第4期29-34,共6页陈明明 张丛春 谢意达 丁桂甫 赵小林 高杨 
中物院超精密加工技术重点实验室开放基金资助(No.KF13001)
通过微波软件建模和理论分析方法来分析BST铁电薄膜材料在微波集成电路中的应用,旨在指导器件设计。借助microwave office和Ansoft HFSS&Q3D两个商业软件,构造微带传输线,共面波导传输线,微带低通滤波器和信号串扰等模型,并分析了加入...
关键词：微波传输 BST薄膜 群延时 S参数 串扰 仿真 
140GHz带状注弯折波导SU-8工艺与传输特性（英文）被引量：1
《强激光与粒子束》2015年第8期142-148,共7页谢辅强 丁桂甫 赵小林 程萍 
supported by the Hi-Tech Research and Development Program of China(2015AA041901)
对140GHz带状注弯折波导的色散特性和耦合阻抗进行了仿真。CST微波工作室的仿真表明该波导在140GHz时,波导内电磁波的轴向相速度为0.227c,且140GHz频率附近色散特性平坦。波导的耦合阻抗在140GHz时为5Ω左右。CST粒子工作室注波互作用...
关键词：弯折波导 仿真 微加工 测试 
静电驱动柔性振膜的吸合特性研究
《微纳电子技术》2015年第4期226-232,共7页张彧 王文 赵小林 丁桂甫 
国家自然科学基金资助项目(50976067)
对静电驱动柔性振膜的吸合特性进行了理论分析和实验观测。通过理论计算得到了静电驱动下柔性振膜与具有连续曲面的腔体实现完全吸合的吸合电压。完全吸合电压随振膜电极与腔体直径的偏差以及振膜初始应力的增大而增大。同时,通过实验...
关键词：静电驱动 柔性振膜 吸合特性 完全吸合电压 非中心对称 
硅通孔润湿性能影响因素的模拟仿真
《复旦学报（自然科学版）》2014年第2期192-197,共6页王昭瑜 岳恒 王溯 王艳 汪红 丁桂甫 赵小林 
科技部重大专项基金资助项目(02专项:2011ZX02702);中国物理科学院超精密加工技术重点实验室开放基金资助(KF13001)
使用Fluent流场仿真软件模拟了电镀液对硅通孔(TSV)的浸润过程,讨论了TSV深宽比、电镀液流速、电镀液表面张力、接触角以及压强等因素对TSV浸润过程的影响.通过对比仿真寻找出能在电镀之前使电镀液完全浸润TSV所有表面的预润湿处理方法...
关键词：硅通孔(TSV) Fluent流场仿真软件(Fluent) 预润湿 深宽比 流速 表面张力 接触角 
柔性微型阀对静电驱动振膜微泵压力性能的影响
《中国机械工程》2014年第1期92-96,102,共6页张彧 王文 赵小林 丁桂甫 
国家自然科学基金资助项目(50976067)
将最小能量法与均匀压力载荷下圆薄膜大变形半解析解相结合,分析了静电驱动柔性微型阀对静电驱动振膜微泵压升性能的影响。微型阀容积的引入会导致静电驱动振膜微泵的压升出现一定程度的降低,但降低幅度远小于阀门容积对常规定排量泵的...
关键词：微泵 微型阀 静电驱动 柔性振膜 
适用于微加工工艺的纳米多孔铜制备方法
《微纳电子技术》2014年第1期53-58,共6页岳恒 张丛春 李建华 杨卓青 汪红 丁桂甫 赵小林 
国家级重点实验室基金资助项目(9140C790103120C79268);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室开放基金资助项目(KF13001)
主要研究了一种适用于微加工工艺的纳米多孔铜（NPC）制备方法。采用酸性柠檬酸铜锌电镀体系制备出Cu68Zn32前驱合金，通过改变前驱合金在盐酸中去合金的时间可以对NPC的微观形貌及孔径分布进行有效控制。研究结果表明，在0．05mol／L...
关键词：电沉积 前驱合金 纳米多孔铜(NPC) 去合金 微加工工艺 
一种新型的电离式MEMS气体传感器被引量：1
《传感技术学报》2013年第4期467-470,共4页詹昌华 潘元志 赵小林 侯中宇 
国家自然科学基金项目(61274118/F040703,60906053/F040703)
实现了一种新型的电离式MEMS气体传感器,即线性阻抗电离式MEMS气体传感器。该传感器创新地采用了电导率而不是常用的击穿电压来检测不同的气体成分,这样可以避免高电压对器件的影响,提高器件工作状态的可重复性和稳定性。该器件在低压...
关键词：微机电系统 一维纳电极阵 电离式气体传感器 气体电导率 
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