BST薄膜

作品数：121被引量：204H指数：8
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BST薄膜射频磁控溅射工艺与介电性能研究
《兵器材料科学与工程》2021年第4期81-86,共6页李明利 余琼 汤彬彩 陈晓露 
总装备部预先研究项目(62201070307);内蒙古自然科学基金(2018MS05017)。
用射频磁控溅射在单晶氧化铝基片上制备钛酸锶钡(BaxSr1-xTiO3,BST)薄膜。研究溅射功率、基片温度、靶基距、溅射气压、气氛组成、溅射时间等溅射参数、热处理条件对薄膜表面形貌及生长过程的影响,测试薄膜的介电常数、介电损耗及介电...
关键词：钛酸锶钡薄膜 射频磁控溅射 工艺参数 表面形貌 介电性能 
基于BST薄膜移相器的双频相控阵天线
《南开大学学报（自然科学版）》2020年第3期25-28,共4页张赟 金杰 
国家自然科学基金(61571320)。
为减小无源相控阵列天线的尺寸,提高阵列天线的转向能力,对以铁电薄膜移相器为移相单元的相控阵列天线进行了研究,提出了一种工作于15 GHz与18 GHz的双频1×4扇形微带贴片天线阵模型.该天线阵由共面叉指电容波导型铁电薄膜移相器、扇形...
关键词：相控阵天线 钛酸锶钡薄膜移相器 叉指电容 双频微带天线 
低损耗掺杂BST薄膜的射频磁控溅射沉积及其阻抗特性研究被引量：1
《功能材料》2019年第4期4126-4129,共4页陈含笑 盛苏 
国家自然科学青年科学基金资助项目(61302046)
利用射频磁控溅射法和快速热退火处理,在高电阻Si基片上制备了具有较低介电损耗的MgO掺杂Ba_(0.25)Sr_(0.75)TiO_3(BST)铁电薄膜。通过XRD和SEM,分别对BST铁电薄膜的微结构和表面形貌进行了分析。利用铁电分析仪和低频阻抗分析仪分别测...
关键词：可调谐微波器件 铁电薄膜 磁控溅射 介电损耗 铁电性能 
Y^(3+)掺杂BST/ZrO_2复合薄膜的制备及介电性能研究
《人工晶体学报》2016年第7期1963-1969,共7页姜楠 刘军 洪玮 张娟 吴伟骏 林鹏飞 骆英 
运用溶胶-凝胶法在Si/SiO_2/Ti/Pt基底上制备了掺杂不同量的Y^(3+)的单层Ba_(0.65)Sr_(0.35)TiO_3(BST)薄膜和并联结构的BST/ZrO_2复合薄膜。研究发现:当BST溶胶中掺入了适量的Y^(3+)后,制备的单层BST的表面形貌得到改善,介电性能提高;...
关键词：溶胶-凝胶法 BST薄膜 BST/ZrO2复合薄膜 介电性能 
BST铁电薄膜高频特性的仿真分析研究被引量：2
《电子元件与材料》2016年第4期29-34,共6页陈明明 张丛春 谢意达 丁桂甫 赵小林 高杨 
中物院超精密加工技术重点实验室开放基金资助(No.KF13001)
通过微波软件建模和理论分析方法来分析BST铁电薄膜材料在微波集成电路中的应用,旨在指导器件设计。借助microwave office和Ansoft HFSS&Q3D两个商业软件,构造微带传输线,共面波导传输线,微带低通滤波器和信号串扰等模型,并分析了加入...
关键词：微波传输 BST薄膜 群延时 S参数 串扰 仿真 
磁控溅射BST薄膜的透射电镜分析
《科技创新导报》2015年第17期125-126,共2页周巧玲 舒云峰 
基于Ba_xS_(rl-x)TiO_2(BST)在微波调制器件上的应用,采用射频磁控溅射在Si衬底上制备了BST铁电薄膜,利用透射电子显微镜(TEM)对薄膜的内部结构进行了分析,得到BST薄膜的生长方式由最初的随机取向生长转变为最后的(111)面择优取向生长。
关键词：BST薄膜 磁控溅射 TEM 
K和Mg高浓度交替掺杂BST薄膜介电性能研究
《稀有金属材料与工程》2015年第S1期24-27,共4页张未芳 廖家轩 黄家奇 魏雄邦 吴孟强 
国家自然科学基金(51172034;61101030);电子科技大学中青年学术带头人培养基金(Y02018023601053)
在Si/SiO_2/Ti/Pt基片上用改进的溶胶-凝胶法制备了高掺杂浓度的Mg掺杂、K掺杂及Mg/K交替掺杂(K掺杂表层)的钛酸锶钡(BST)薄膜,并研究了其介电性能。X射线衍射(XRD)表明,薄膜为钙钛矿多晶结构。高浓度掺杂能细化晶粒、促进受主掺杂,K掺...
关键词：钛酸锶钡薄膜 钾镁交替掺杂 高浓度掺杂 介电性能 
掺杂浓度对钾镁交替掺杂BST薄膜介电性能的影响
《稀有金属材料与工程》2015年第S1期28-31,共4页杨函于 廖家轩 王思哲 魏雄邦 吴孟强 
国家自然科学基金(51172034;61101030);电子科技大学中青年学术带头人培养基金(Y02018023601053)
用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备掺杂浓度(1~15)mol%的钾和镁交替掺杂钛酸锶钡(BST)薄膜,研究掺杂浓度对薄膜结构和介电性能的影响。X射线衍射(XRD)表明,薄膜为钙钛矿结构。扫描电镜(SEM)显示,薄膜致密、晶粒大小均匀、低浓度下薄膜表面更...
关键词：BST薄膜 钾镁交替掺杂 掺杂浓度 介电性能 
镁和钾交替掺杂BST薄膜优化设计与介电特性研究
《稀有金属材料与工程》2015年第S1期32-35,共4页廖家轩 杨函于 王思哲 张未芳 黄家奇 魏雄邦 吴孟强 
国家自然科学基金(51172034;61101030);电子科技大学中青年学术带头人培养基金(Y02018023601053)
根据K掺杂BST(KBST)和Mg掺杂BST(MBST)薄膜的优点,设计K和Mg三明治交替掺杂BST薄膜KBST/MBST/KBST(K/M/K)和MBST/KBST/MBST(M/K/M),用溶胶-凝胶(sol-gel)法在Si/Si O2/Ti/Pt基片上制备该薄膜,研究其介电特性。薄膜为立方钙钛矿结构,平...
关键词：镁钾交替掺杂 优化设计 BST薄膜 介电特性 
微波调谐铈钇共掺Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜的改性机制研究
《纳米科技》2014年第5期29-36,共8页廖家轩 王思哲 尉旭波 徐自强 汪澎 
用改进的溶胶一凝胶法制备光滑致密的预晶化铈（Ce）和锰（Mn）共掺钛酸锶钡（CeMn—SST）薄膜。电容－电压曲线表明，随着薄膜厚度的增加，综合介电性能大幅度改善，8层薄膜显示介电常数约为1300、低于0．007介电损耗、高于58％调谐率...
关键词：BST薄膜 铈和锰共掺杂 介电调谐性能 改性机制 溶胶-凝胶法 
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