钛酸锶钡薄膜

作品数：88被引量：127H指数：6
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掺杂改性增强钛酸锶钡薄膜介电性能的研究进展被引量：1
《化工新型材料》2023年第S02期71-75,79,共6页汤健 刘军 傅志鹏 
国家自然科学基金(12072133)
钛酸锶钡(Ba_(x)Sr_(1-x)TiO_(3),BST)薄膜具备高介电常数、低介电损耗,以及高介电可调谐性等优点,是微波可调谐应用的潜在候选材料。综述了掺杂改性BST薄膜的研究进展,分别对A位掺杂、B位掺杂和双位共掺杂改性进行了总结和分析,对不同...
关键词：钛酸锶钡 掺杂 介电性能 
BST薄膜射频磁控溅射工艺与介电性能研究
《兵器材料科学与工程》2021年第4期81-86,共6页李明利 余琼 汤彬彩 陈晓露 
总装备部预先研究项目(62201070307);内蒙古自然科学基金(2018MS05017)。
用射频磁控溅射在单晶氧化铝基片上制备钛酸锶钡(BaxSr1-xTiO3,BST)薄膜。研究溅射功率、基片温度、靶基距、溅射气压、气氛组成、溅射时间等溅射参数、热处理条件对薄膜表面形貌及生长过程的影响,测试薄膜的介电常数、介电损耗及介电...
关键词：钛酸锶钡薄膜 射频磁控溅射 工艺参数 表面形貌 介电性能 
基于BST薄膜移相器的双频相控阵天线
《南开大学学报（自然科学版）》2020年第3期25-28,共4页张赟 金杰 
国家自然科学基金(61571320)。
为减小无源相控阵列天线的尺寸,提高阵列天线的转向能力,对以铁电薄膜移相器为移相单元的相控阵列天线进行了研究,提出了一种工作于15 GHz与18 GHz的双频1×4扇形微带贴片天线阵模型.该天线阵由共面叉指电容波导型铁电薄膜移相器、扇形...
关键词：相控阵天线 钛酸锶钡薄膜移相器 叉指电容 双频微带天线 
BST薄膜的制备工艺与太赫兹介电特性测试
《电子工程学院学报》2019年第3期21-26,共6页董博文 马华 王军 娄菁 冯明德 
国家自然科学基金(61671467).
经过多组对比实验,通过XRD、AFM、SEM等表征手段优化了BST薄膜的制备工艺。结合BST基薄膜器件的电极制备、微结构加工制备了太赫兹频段电可调的频率选择表面。通过太赫兹测试系统验证了在太赫兹频段BST薄膜的可调性,在电场作用下通带频...
关键词：钛酸锶钡薄膜 太赫兹 介电特性 工艺参数 磁控溅射 
BST薄膜的制备工艺与太赫兹介电特性测试
《空军工程大学学报（自然科学版）》2018年第6期97-102,共6页董博文 马华 王军 娄菁 冯明德 
国家自然科学基金(61671467)
经过多组对比实验,通过XRD、AFM、SEM等表征手段优化了BST薄膜的制备工艺。结合BST基薄膜器件的电极制备、微结构加工制备了太赫兹频段电可调的频率选择表面。通过太赫兹测试系统验证了在太赫兹频段BST薄膜的可调性,在电场作用下通带频...
关键词：钛酸锶钡薄膜 太赫兹 介电特性 工艺参数 磁控溅射 
退火气氛对Mn掺杂钛酸锶钡薄膜的影响
《黄山学院学报》2017年第3期28-31,共4页何聚 黄志永 许媛 刘琦 
安徽省教育厅自然科学研究项目(KJHS2017B01;KJHS2016B03;KJHS2015B02);安徽省国际科技合作计划项目(1704e1002208)
采用金属有机物分解法制备了(Ba_(0.95)Mn_(0.05))_(0.4)Sr_(0.6)TiO_3薄膜,比较了两种退火气氛对样品的微观特性及磁性能的影响。XRD和AFM测试结果表明两种薄膜均为标准的钙钛矿结构,氧气退火样品具有更好的a轴取向和更大的晶粒度。磁...
关键词：BMST薄膜 MN掺杂 自旋玻璃 氧空位 
磁控溅射参数对钛酸锶钡薄膜生长及介电性能的影响
《陕西师范大学学报（自然科学版）》2016年第6期26-30,共5页杨佳 张运英 谢晓康 边小兵 周剑平 
国家自然科学基金(51372148);中央高校基本科研业务费创新团队项目(GK201401003)
使用射频磁控溅射系统在Pt/SiO_2/Si基片上沉积了Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3(BST)薄膜,研究了溅射过程中氧氩比与溅射总气压对BST薄膜生长过程及介电性能的影响。通过XRD衍射仪、原子力显微镜等对在不同条件下制备出的薄膜样品进行了性能测...
关键词：射频磁控溅射 钛酸锶钡薄膜 表面形貌 沉积速率 介电性能 
铈镁交替掺杂Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜高调谐性能
《物理学报》2016年第14期261-267,共7页胡一明 廖家轩 杨函于 王思哲 吴孟强 徐自强 冯婷婷 巩峰 
国家自然科学基金(批准号:51172034;61101030);四川省科技计划(批准号:2015GZ0047;2015GZ0130)资助的课题~~
根据Ce掺杂、Mg掺杂以及Y和Mn交替掺杂可分别使Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3(BST)薄膜的介电调谐率、介电损耗和综合介电性能提高、降低和提高的特点,采用改进的溶胶-凝胶(sol-gel)法制备了6层Ce和Mg交替掺杂BST薄膜,并研究其结构及介电性能....
关键词：铈镁交替掺杂 钛酸锶钡薄膜 高调谐 介电性能 
K和Mg高浓度交替掺杂BST薄膜介电性能研究
《稀有金属材料与工程》2015年第S1期24-27,共4页张未芳 廖家轩 黄家奇 魏雄邦 吴孟强 
国家自然科学基金(51172034;61101030);电子科技大学中青年学术带头人培养基金(Y02018023601053)
在Si/SiO_2/Ti/Pt基片上用改进的溶胶-凝胶法制备了高掺杂浓度的Mg掺杂、K掺杂及Mg/K交替掺杂(K掺杂表层)的钛酸锶钡(BST)薄膜,并研究了其介电性能。X射线衍射(XRD)表明,薄膜为钙钛矿多晶结构。高浓度掺杂能细化晶粒、促进受主掺杂,K掺...
关键词：钛酸锶钡薄膜 钾镁交替掺杂 高浓度掺杂 介电性能 
磁控溅射参数对钛酸锶钡薄膜生长及介电性能的影响
《陕西师范大学学报（自然科学版）》2014年第5期37-42,共6页谢晓康 缑园渊 杨佳 边小兵 周剑平 
国家自然科学基金资助项目(51372148);中央高校基本科研业务费创新团队资助项目(GK201401003)
在Pt/Ti/SiO2/Si(110)衬底上利用射频磁控溅射法制备了Ba1-xSrxTiO3(BST)薄膜.基于薄膜的形核理论,研究了成膜时间、衬底温度、溅射功率、溅射气压、氧氩比、退火热处理等参数对薄膜的表面形貌和介电性能的影响.结果表明:在其他溅射参...
关键词：射频磁控溅射 钛酸锶钡薄膜 表面形貌 介电性能 
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