张丛春

作品数：40被引量：142H指数：7
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供职机构：上海交通大学更多>>
发文主题：微机电系统技术磁控溅射双稳态热电偶温度传感器更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术化学工程金属学及工艺更多>>
发文期刊：《半导体技术》《硅酸盐学报》《微纳电子技术》《功能材料与器件学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划上海-AM基金上海市科委纳米专项基金更多>>
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用于特殊环境的薄膜应变计的制备与表征
《传感技术学报》2024年第4期589-596,共8页张丛春 康志鹏 雷鹏 闫博 
2023年度“慧眼行动”项目。
使用磁控溅射制备了卡玛合金薄膜应变计,研究了退火温度对薄膜微观结构的影响,测试了薄膜的电学性能以及压阻响应特性,并进行了环境实验。结果表明,随着退火温度升高,薄膜的电阻率逐渐下降,电阻温度系数则逐渐升高,在室温下有最小的电...
关键词：磁控溅射 薄膜应变计 电阻温度系数 应变因子 环境实验 
氧化铂、钛过渡层对铂薄膜温度传感器性能的影响被引量：2
《传感器与微系统》2023年第10期9-12,20,共5页吕振杰 庞雅文 杨伸勇 高向向 张丛春 
国家重点研发计划资助项目(2020YFB2009100)。
铂(Pt)薄膜电阻具有体积小、结构简单、电阻温度系数(TCR)高和响应速度快的优点,结合MEMS技术可以实现发动机叶片温度的检测,但纯Pt与衬底之间的结合力较差,易导致薄膜失效。采用磁控溅射分别制备了氧化铂(Pt_(x)O_(y))和钛(Ti)过渡层...
关键词：磁控溅射 铂薄膜电阻 过渡层 退火温度 温度传感器 
薄膜热电堆热流传感器频率响应动态特性研究被引量：3
《传感器与微系统》2022年第11期35-38,43,共5页刘云东 王高 张丛春 黄漫国 
山西省研究生创新资助项目(2021Y579)。
为了快速、准确地反映航空、航天部件瞬变热流的变化,需要热流传感器具有快速动态频率响应特性。传统测试方法的热流源频率调制方式粗略,热流上限低,无法满足未来高速热流传感器的测试要求。辐射热流测试系统以高功率半导体激光器作为...
关键词：频率调制 辐射热流测试系统 薄膜热电堆热流传感器 频率响应 
基于热电堆的新型高温薄膜热流传感器的研制被引量：6
《传感技术学报》2022年第9期1167-1173,共7页郭林琪 张梅菊 金毅 王禹森 胡国胜 杨伸勇 张丛春 
国家重点研发计划支持项目(2020YFB2009102)。
精确的热流测量对航空发动机设计至关重要,实时监测和获取发动机涡轮叶片表面精确的热流分布可以为航空发动机热端部件设计提供依据,也可以进行状态监测和故障诊断。薄膜热流传感器具有体积小、响应速度快、对工作环境的流动干扰小等优...
关键词：薄膜热流传感器 Pt/Pt-13Rh热电堆 塞贝克效应 高温高热流 
铂薄膜电阻温度传感器封装研究被引量：11
《测控技术》2021年第11期48-56,共9页庞雅文 张丛春 雷鹏 黄漫国 梁晓波 
封装可以保护铂薄膜电阻温度传感器避免机械损伤,减弱薄膜高温下热挥发和团聚现象,提升器件综合性能。设计了一种玻璃釉料/高温陶瓷胶/氧化铝3层复合封装结构。通过合理设计封装结构,选择封装材料,优化封装工艺,调节各层材料热膨胀系数(...
关键词：铂薄膜 电阻温度传感器 封装 TCR 稳定性 
双离子束溅射Al_(2)O_(3)薄膜高温绝缘特性的研究被引量：1
《电子元件与材料》2021年第4期311-315,共5页张丛春 黄漫国 梁晓波 闫博 
国家自然科学基金(11461063);新疆维吾尔自治区自然科学基金(2017D01A24);新疆财经大学基金(2019XTD002)。
随着薄膜传感器在航空工业中的应用,高温绝缘层的研究发展愈加重要。在此研究背景下,采用双离子束溅射的方法制备了Al2 O3薄膜高温绝缘层,探讨了溅射时的衬底温度对Al2 O3薄膜物相结构的影响,并研究了所制备的Al2 O3薄膜从室温至1000℃...
关键词：双离子束溅射沉积 Al_(2)O_(3)薄膜 衬底温度 高温绝缘 温度传感器 
MEMS铂薄膜温度传感器的电阻温度系数研究被引量：13
《传感技术学报》2020年第6期825-829,共5页侯晓伟 刘莉娜 吕阳 郑良广 张丛春 
国家重点研发计划项目(2016YFB1200401);宁波市工业重大科技专项攻关项目(2017B10017)。
采用MEMS工艺在硅衬底上制备了铂电阻薄膜温度传感器,在500℃、600℃、700℃和800℃四个温度点下对铂电阻样品进行了热处理,对样品在退火前后的电阻值进行了测试和对比分析。对800℃的退火样品的阻温特性进行了多次测量,其在零摄氏度的...
关键词：铂电阻 温度传感器 微机电系统 热处理 电阻温度系数 
高温ITO薄膜应变计制备及压阻性能被引量：5
《材料工程》2020年第4期145-150,共6页杨伸勇 张丛春 杨卓青 李红芳 姚锦元 黄漫国 汪红 丁桂甫 
上海市非硅微纳集成制造专业技术服务平台项目(17DZ2291400)。
高温薄膜应变计被广泛应用于极端条件热端构件的应变测量。ITO薄膜应变计通常能够应用于1000℃以上的应变测量,为了研究ITO薄膜的显微结构、XPS光谱、阻温特性及压阻响应,采用磁控溅射在陶瓷基底上制备了ITO薄膜应变计,并在高温纯N2中...
关键词：ITO薄膜应变计 热处理 高温应变测量 电阻温度系数 
MEMS薄膜热流传感器研制被引量：11
《传感器与微系统》2019年第5期71-73,共3页李娟 张丛春 杨申勇 丁桂甫 董威 段力 
基于微加工技术设计制备了一种微机电系统(MEMS)薄膜热流传感器。采用COMSOL软件,对不同结构参数MEMS薄膜热流计进行仿真模拟,通过对仿真结果对比和分析,优化热流传感器的设计参数。根据优化的设计参数利用MEMS工艺制备薄膜热流计。搭...
关键词：微机电系统技术 热流传感器 聚酰亚胺 COMSOL仿真 
MEMS高温温度传感器的研制与测量精度研究被引量：12
《传感技术学报》2017年第9期1352-1358,共7页邵靖 段力 王强 郑芳芳 谢开成 王云生 陶闻钟 高均超 胡铭楷 张丛春 汪红 丁桂甫 
中国航空发动机集团商用发动机有限责任公司的大力支持和资助下完成的
航空发动机智能化及其他机械系统的智能化需要原位集成制造的传感器,为此研制了发动机涡轮叶片原位集成高温传感器。该高温传感器采用MEMS微制造工艺将厚度在微米量级的微小传感器原位集成在航空发动机涡轮叶片表面,利用微技术制造的传...
关键词：传感器 高温测量 MEMS 微制造工艺 软光刻技术 铂金热电阻 
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