铂薄膜电阻

作品数：6被引量：38H指数：3
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相关作者：车录锋肖素艳王跃林李昕欣张丛春更多>>
相关机构：中国科学院上海交通大学中国科学院力学研究所中国振华集团云科电子有限公司更多>>
相关期刊：《陶瓷学报》《传感器与微系统》《光学精密工程》《中国机械工程》更多>>
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铂薄膜电阻温度传感器玻璃密封材料的稳定性能研究被引量：1
《陶瓷学报》2024年第2期290-299,共10页吴昊 侯彬 洪嘉旺 王耀成 李志凯 汪伟 杜少杰 李丽 王晓春 
国家自然科学基金(52202094);江苏省产业项目(CJ20210122);前瞻与关键核心技术攻关(BE2023092-1);常州市应用基础研究江苏省产学研合作项目(BY2022789)。
针对铂薄膜电阻温度传感器中绝缘封装过程中存在的气密、绝缘等性能问题,研究了两种玻璃与铂薄膜温度传感器氧化铝基底间浸润性、气密性、绝缘性及热循环稳定性等性能,优选性能最佳的玻璃密封材料应用在铂薄膜温度传感器中。研究结果表...
关键词：铂薄膜电阻温度传感器 玻璃密封材料 浸润性能 密封性能 绝缘性能 热循环稳定性 
氧化铂、钛过渡层对铂薄膜温度传感器性能的影响被引量：2
《传感器与微系统》2023年第10期9-12,20,共5页吕振杰 庞雅文 杨伸勇 高向向 张丛春 
国家重点研发计划资助项目(2020YFB2009100)。
铂(Pt)薄膜电阻具有体积小、结构简单、电阻温度系数(TCR)高和响应速度快的优点,结合MEMS技术可以实现发动机叶片温度的检测,但纯Pt与衬底之间的结合力较差,易导致薄膜失效。采用磁控溅射分别制备了氧化铂(Pt_(x)O_(y))和钛(Ti)过渡层...
关键词：磁控溅射 铂薄膜电阻 过渡层 退火温度 温度传感器 
铂薄膜电阻温度传感器封装研究被引量：11
《测控技术》2021年第11期48-56,共9页庞雅文 张丛春 雷鹏 黄漫国 梁晓波 
封装可以保护铂薄膜电阻温度传感器避免机械损伤,减弱薄膜高温下热挥发和团聚现象,提升器件综合性能。设计了一种玻璃釉料/高温陶瓷胶/氧化铝3层复合封装结构。通过合理设计封装结构,选择封装材料,优化封装工艺,调节各层材料热膨胀系数(...
关键词：铂薄膜 电阻温度传感器 封装 TCR 稳定性 
基于陶瓷基体铂薄膜电阻热式气体质量流量计设计被引量：3
《传感器与微系统》2016年第2期71-73,77,共4页刘志亮 姜国光 
提出了一种基于陶瓷基体铂薄膜电阻热式气体质量流量计的设计方法,分析了热式气体流量计的原理,制作了陶瓷铂电阻流量敏感元件,为降低加热功耗,提出了通孔方案。设计了恒温差控制电路和MSP430单片机处理电路,并制作出了实际样机。采用...
关键词：热式 气体流量计 质量流量 
基于柔性MEMS皮肤技术温度传感器阵列的研究被引量：22
《光学精密工程》2005年第6期674-680,共7页肖素艳 车录锋 李昕欣 王跃林 
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2003AA404090)
采用MEMS皮肤技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功研制出8×8阵列铂薄膜热敏电阻温度传感器。实验采用热氧化硅片为机械载体,以便于旋涂液态聚酰亚胺柔性衬底上器件的加工。最后用湿法腐蚀方法将柔性器件从载体上释放下来。试验表明聚酰亚胺...
关键词：皮肤技术 聚酰亚胺 柔性衬底 铂薄膜电阻 温度传感器 
基于聚酰亚胺柔性衬底微温度传感器阵列的关键技术研究被引量：1
《中国机械工程》2005年第z1期184-188,共5页肖素艳 车录锋 李昕欣 王跃林 
国家863高技术研究发展计划资助项目(2003AA404090)
基于柔性MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功制作出8×8阵列的铂薄膜电阻微温度传感器.该器件特别适用于复杂几何体高曲率表面温度的实时监控.采用了两种方法制作柔性器件:第一种方法是将液态聚酰亚胺旋涂在有氧化物牺牲层的载体硅片上...
关键词：柔性 MEMS技术 聚酰亚胺 铂薄膜电阻 温度传感器 
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