李昕欣

作品数：114被引量：311H指数：9
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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：悬臂梁硅传感器硅片压阻更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程理学更多>>
发文期刊：《分析化学》《红外与毫米波学报》《应用化学》《无机材料学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划上海市科学技术委员会资助项目更多>>
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以十八烷胺疏水改性的HKUST-1为固定相的微型气相色谱柱被引量：2
《半导体技术》2024年第11期961-967,共7页张友为 金言 周海梅 郑丹 冯飞 李昕欣 赵斌 
新一代人工智能国家科技重大专项(2018AAA0103100);国家自然科学基金(62271473);上海应用技术大学科技发展基金(KJFZ2024-16)。
金属有机骨架(MOF)材料被广泛用作微型气相色谱柱(μGCC)固定相,对轻烃气体有着良好的分离效果,但是其有亲水特性,吸水后结构易崩塌,导致μGCC的分离性能降低。利用铜基金属有机骨架HKUST-1上的配位不饱和金属位点与十八烷胺通过配位作...
关键词：微型气相色谱柱 金属有机骨架(MOF)材料 固定相 疏水稳定性 轻烃气体 
基于MEMS芯片的磁性材料TEM表征技术
《微纳电子技术》2023年第8期1288-1294,共7页殷智伟 张学林 姚镭 于海涛 李昕欣 
国家重点研发计划(2021YFB3200600,2021YFB3200602)
传统透射电子显微镜(TEM)以电磁场为透镜,通常情况下磁性材料不能直接在TEM下进行观测,一般使用以碳为支撑膜的双联铜网作为样品载网,但仍然有一定的破损概率。设计并实现了一种新型的基于微电子机械系统(MEMS)芯片的磁性材料TEM表征技...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 透射电子显微镜(TEM) 磁性TEM芯片 磁性材料 氮化硅薄膜 
基于几何反弹簧结构的高分辨率MEMS加速度计
《仪表技术与传感器》2023年第5期5-9,共5页熊瑞宏 陈方 李昕欣 
科技部国家重点研发计划(2022YFB3205000);国家自然科学基金面上项目(61974156)。
为了提高MEMS加速度计分辨率和灵敏度,提出并设计了一种基于几何反弹簧原理的新型MEMS加速度计结构。拟采用静电力将加速度计静态工作点设置在梁低刚度位置来提高灵敏度。首先通过理论计算和有限元仿真,分析了几何反弹簧结构实现准零刚...
关键词：MEMS 加速度计 几何反弹簧 灵敏度 分辨率 线性度 
(111)硅片的高性能热堆式气体流量传感器及其封装技术研究
《机械工程学报》2023年第2期30-38,共9页黄涛 王家畴 李昕欣 
国家自然科学基金资助项目(62074151)。
流量测控在生物医疗、农业监测、汽车电子等方面具有举足轻重的作用。针对现有热堆式气体流量传感器普遍存在着器件尺寸大、灵敏度低、成本高等不足,基于(111)硅片的单面微机械加工工艺设计了一款p^(+)Si/Au热电堆式气体流量传感器。采...
关键词：热堆式气体流量传感器 单面硅微机械加工 p^(+)Si/Au热电堆 气流流道 
以金属有机骨架材料ZIF-8为固定相的硅基微气相色谱柱被引量：5
《高等学校化学学报》2021年第6期1736-1741,共6页赵阳洋 刘启勇 陈泊鑫 赵斌 周海梅 李昕欣 郑丹 冯飞 
国家重点研发计划项目(批准号:2018YFA0208504);中国科学院战略性先导科技专项(A类)(批准号:XDA22020504)和中国科学院科技服务网络计划(批准号:KFJ-STS-QYZD-090)资助。
基于微机电技术制备了一种含有椭圆微柱阵列的半填充柱;采用水热法合成了一种金属有机骨架材料ZIF-8,将其涂敷在微色谱柱的微沟道内壁上作为固定相.在30℃恒温下对芯片的分离性能进行了测试,结果表明,以ZIF-8为固定相的微色谱柱可以在7...
关键词：微色谱柱 金属有机骨架材料 固定相 微机电系统 轻烃的分离 
p+Si/Au热电堆式气体流量传感器一维模型及其应用被引量：2
《传感技术学报》2020年第2期161-166,共6页王珊珊 王家畴 李昕欣 
国家自然科学基金项目(61674160,61834007)。
为了优化热电堆式气体流量传感器的结构参数使其灵敏度达到最佳,建立了一个一维数学模型,此模型能够快速反映当器件关键尺寸变化时传感器输出电压的变化,有限元仿真软件结果证实了此一维模型的有效性。并利用此模型对一系列器件关键参...
关键词：热电堆式气体流量传感器 1-D数学模型 单面硅微机械加工 p+Si/Au 热电堆 
高量程加速度计横向各向异性响应的自由落杆冲击评估法（英文）
《微纳电子技术》2019年第9期734-744,753,共12页鲍海飞 宋朝辉 李昕欣 
采用自由落杆冲击法对悬臂梁型高量程加速度计(50000g)的横向响应进行研究。钢杆和铝合金杆作为冲击体与地面上放置的金属钢砧碰撞产生应力波作为激励源,用于表征加速度计的性能,其中加速度计固定在金属杆的顶端。该方法不仅可以测量加...
关键词：横向响应 高量程加速度计 冲击 物理效应 灵敏度 
分子版治未病——基于中医药理学与新一代技术装备的精准中医学发展前瞻被引量：17
《中药药理与临床》2019年第4期2-9,共8页赵军宁 张翼冠 胡镜清 任思冲 王超 谢春光 杨思进 戴瑛 华桦 李莉 鄢良春 杨安东 王剑波 李晓鲁 尹竹君 吴哲 周鹏 张伟 邓绍平 李昕欣 
国家重点基础研究发展计划(973)课题(2009CB522801);国家重大新药创制专项课题(2011ZX09401-304、2015ZX09501004-001-005、2018ZX09731008);国家自然科学基金面上项目(81073047);四川省科学技术厅重点项目(2018SZ0056);四川省中医药关键技术装备研发与产业化项目(Z-2019N-2)
中医治未病的本质是健康管理,分子版治未病是新一代中医精准健康管理。本文针对传统中医药理学与治未病的发展现状和瓶颈问题,以及系统生物学、新一代信息技术等在中医治未病领域应用的可行性和用途,探索建立基于中医药理学与分子生物...
关键词：治未病 中药药性理论 中医药理学 中医精准健康管理 分子生物学 新一代信息技术 中医药技术装备 精准中医学 
以介孔二氧化硅为固定相的高性能微色谱柱被引量：5
《分析化学》2019年第6期832-837,共6页杨雪蕾 赵斌 冯飞 周海梅 杨恒 李昕欣 
国家重点研发计划项目(No.2018YFA0208504);中国科学院战略性先导科技专项(A类)(No.XDA22020504);中国科学院科技服务网络计划(No.KFJ-STS-QYZD-090)资助;中科院前沿科学重点研究项目(No.QYZDJ-SSW-JSC001);上海市科委项目(No.18DZ1100601)~~
基于微机电系统(Micro-electro-mechanical system, MEMS)技术设计制造了一种含有椭圆微柱阵列的半填充微色谱柱,此微色谱柱内壁以孔径约2 nm、具有大比表面积的介孔二氧化硅(Mesoporous silica,MS)薄膜为固定相。在相同进样量下,采用...
关键词：介孔二氧化硅 半填充微色谱柱 微机电系统 
新型半填充微气相色谱柱芯片研究被引量：1
《传感器与微系统》2019年第6期5-8,共4页田博文 冯飞 赵斌 罗凡 杨雪蕾 李昕欣 
国家自然科学基金资助项目(91323304;60876081;61172151);上海市科委项目(14DZ1105102);国家高技术研究发展"863"计划资助项目(2009AA04Z317)
基于微机电系统(MEMS)技术设计制造了新型半填充微气相色谱柱(μGCC)芯片,芯片的微沟道内设计有排列整齐的椭圆微柱阵列。与现有半填充μGCC相比,新型μGCC的微沟道具有更大的表面积和更均匀的流速场分布,对芯片分离度和柱效的提高起着...
关键词：微机电系统 半填充微气相色谱柱 椭圆微柱 分离度 柱效 
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