肖素艳

作品数：5被引量：29H指数：3
导出分析报告
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：铂薄膜电阻聚酰亚胺温度传感器阵列温度传感器柔性衬底更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《光学精密工程》《中国机械工程》《微纳电子技术》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-5
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
基于PI衬底的柔性MEMS电容式触觉力传感器设计与制作被引量：4
《传感技术学报》2008年第2期280-283,共4页肖素艳 车录锋 李昕欣 王跃林 
国家高技术研究发展计划项目资助(2003AA404090)
论述了一种可应用于机器人或医学修补技术的触觉传感器及其在旋涂的柔性聚酰亚胺衬底的新制作方法。该传感器是由多层无机和有机薄膜组成的柔性薄膜结构。结合传感器结构特点及各结构层材料的加工性能,进行工艺优化整合。尤其首次在载...
关键词：柔性MEMS 触觉传感器 聚酰亚胺(PI) 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 
基于柔性MEMS皮肤技术温度传感器阵列的研究被引量：22
《光学精密工程》2005年第6期674-680,共7页肖素艳 车录锋 李昕欣 王跃林 
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2003AA404090)
采用MEMS皮肤技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功研制出8×8阵列铂薄膜热敏电阻温度传感器。实验采用热氧化硅片为机械载体,以便于旋涂液态聚酰亚胺柔性衬底上器件的加工。最后用湿法腐蚀方法将柔性器件从载体上释放下来。试验表明聚酰亚胺...
关键词：皮肤技术 聚酰亚胺 柔性衬底 铂薄膜电阻 温度传感器 
基于聚酰亚胺柔性衬底微温度传感器阵列的关键技术研究被引量：1
《中国机械工程》2005年第z1期184-188,共5页肖素艳 车录锋 李昕欣 王跃林 
国家863高技术研究发展计划资助项目(2003AA404090)
基于柔性MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功制作出8×8阵列的铂薄膜电阻微温度传感器.该器件特别适用于复杂几何体高曲率表面温度的实时监控.采用了两种方法制作柔性器件:第一种方法是将液态聚酰亚胺旋涂在有氧化物牺牲层的载体硅片上...
关键词：柔性 MEMS技术 聚酰亚胺 铂薄膜电阻 温度传感器 
M-Z型硅基ARROW压力传感器设计被引量：3
《微纳电子技术》2003年第7期429-431,437,共4页肖素艳 王东红 刘晓为 秦建勇 
分析了M Z型硅基ARROW压力传感器的结构设计参数 ,并用计算机软件ANSYS对如下参数进行有限元方法 (FEM )研究 ,模拟了硅弹性膜片应力分布 ,确定了弹性膜边缘是传感臂具有高灵敏度的理想位置 。
关键词：M-Z型 硅基ARROW 压力传感器 结构设计 抗共振反射光波导 有限元方法 光弹性效应 
硅基光波导压力传感器
《传感器技术》2002年第8期4-7,10,共5页肖素艳 王东红 高明 刘晓为 
硅基光波导压力传感器由于具有灵敏度高、耐高温、抗电磁场干扰能力强、微型等优点 ,特别适合于在特殊环境中的应用。简要介绍了全反射光波导和抗共振反射光波导压力传感器的结构特点、工作原理及其研究现状。
关键词：压力传感器 硅 光波导 抗共振反射 全反射 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部