段力

作品数：22被引量：58H指数：4
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发文领域：电子电信航空宇航科学技术金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>
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大藤峡人字闸门智能监控微机电系统传感器
《上海交通大学学报》2021年第11期1401-1407,共7页谢子仪 段力 翁昊天 
底枢轴承作为重要水利结构的支撑与转动构件,其在转合操作中造成的磨损直接影响闸门的正常运作和可靠性.在恶劣的深水工作条件下,为了更好地监测轴承磨损量,利用微机电系统,设计一种新型的薄膜电阻型磨损量传感器;进行磨损量测量表征实...
关键词：大藤峡 传感器 磨损 薄膜 智能监控 
基于双层薄膜热电偶的热障涂层隔温温度精确测量被引量：2
《航空发动机》2020年第5期49-54,共6页段力 翁昊天 姬中林 谢子仪 邹兵林 王盈 
为了解决热障涂层隔温温度测量方法缺乏规范性及精确测量体系欠缺的问题,提出在热障涂层上、下两侧制作薄膜型热电偶测量热障涂层隔温温度的试验方案,利用MEMS工艺在热障涂层两侧实现Pt/PtRh薄膜型(<1 um厚)热电偶微制造工艺,进行热障...
关键词：热障涂层 温度测量 薄膜传感器 微制造集成技术 隔温温度 航空发动机 
涡轮导叶片表面MEMS高温测量技术被引量：3
《航空制造技术》2020年第5期62-67,共6页段力 姬中林 翁昊天 李继保 林宇震 曹学强 
利用MEMS微制造集成技术,在航空发动机涡轮叶片表面成功地制作了薄膜高温温度传感器,攻克了叶片表面高温绝缘、曲表面光刻及高温可靠导线互联等一系列关键技术难关。对薄膜传感器及高温连线系统进行了一系列温度循环测量试验,读数可靠...
关键词：高温温度测量 航空发动机 薄膜传感器 原位集成 曲面光刻 MEMS微制造集成技术 
利用原位集成热电偶技术精准测量涡轮叶片表面高温温度的方法探究及误差分析被引量：4
《中国测试》2020年第1期7-11,23,共6页姬中林 段力 翁昊天 谢子仪 
为实现航空发动机涡轮叶片表面高温温度的精准测量,首先需要对涡轮叶片表面薄膜热电偶进行精确校准,而校准误差主要起源于被校准热电偶与标准热电偶之间存在的温度迟豫。为此,该文在测试样品表面成功原位集成薄膜热电偶和铂点热电偶,进...
关键词：温度迟豫 误差分析 高温测量 薄膜传感器 
航空发动机热障涂层导电性能研究被引量：2
《航空制造技术》2019年第17期81-87,共7页段力 姬中林 翁昊天 陈熙 杨志 邹兵林 王盈 李杰 王强 
传统的航空发动机热障涂层主要关注点是其热绝缘特性及可靠性的研究,并且已经形成了一整套基于YSZ的热障涂层技术,但是缺乏热障涂层高温导电性能的研究。另一方面,基于对航空发动机智能化的要求,需要在涡轮叶片表面制造电学器件(传感器)...
关键词：传感器 航空发动机智能化 热障涂层 高温温度测量 计算机仿真 
SiGe Recess工艺中TMAH蚀刻速率的研究与优化
《集成电路应用》2018年第11期25-30,共6页李帅臻 段力 
伴随着摩尔定律的发展,MOSFET的特征尺寸不断减小,90 nm节点以后,栅极SiO2介质的厚度已经接近物理极限,此时引入了high-k金属栅极,使摩尔定律能够继续往下延续。引入high-k金属栅极的同时又采用了应变硅技术,很好地解决了载流子迁移率...
关键词：集成电路制造 SIGE RECESS TMAH蚀刻速率 TMAH溶氧溶氧量 
航空发动机涡轮叶片原位集成高温MEMS传感器的研制被引量：2
《航空发动机》2018年第4期56-60,共5页段力 高均超 丁桂甫 邵靖 毛成龙 沈杰 静波 
为了满足智能高性能航空发动机高温、高振动、高冲击的苛刻工作要求,采用MEMS(Micro-elect ro-mechanical-syst em,微机电系统)薄膜技术制作了发动机涡轮叶片原位集成高温温度传感器,并进行了高温下的温度试验和振动冲击试验。试验结果...
关键词：高温测量技术 传感器 抗振动 抗冲击 航空发动机 
MEMS原位集成传感器振动冲击试验研究被引量：2
《振动．测试与诊断》2018年第3期548-552,共5页邵靖 段力 胡铭楷 丁桂甫 毛成龙 沈杰 静波 
智能航空发动机及其他机械系统的智能化需要抗高振动和大冲力的原位集成传感器,要满足高温、高振动、高冲击的苛刻工作环境。为此制作了发动机涡轮叶片原位集成高温温度传感器,并且进行了一系列的高温试验和振动冲击试验。该原位集成传...
关键词：传感器 振动试验 冲击试验 MEMS微制造技术 原位集成 
设计和工艺参数对声表面波器件性能的影响
《微纳电子技术》2017年第11期752-759,共8页胡铭楷 翁昊天 刘骏尘 付学成 史丽云 丁桂甫 张亚非 段力 
国家自然科学基金资助项目(F040801)
设计并制作了多种声表面波(SAW)器件,并研究了设计参数与工艺参数对器件特性的影响。首先在同一块掩膜板内设计了多组不同尺寸与间距参数的SAW器件,然后用微电子机械系统(MEMS)微加工工艺在Mg_xZn_(1-x)O/Si压电薄膜和128°YZ与XZ取向的...
关键词：声表面波(SAW)器件 压电薄膜 射频器件 谐振频率 回波损耗 
MEMS高温温度传感器的研制与测量精度研究被引量：12
《传感技术学报》2017年第9期1352-1358,共7页邵靖 段力 王强 郑芳芳 谢开成 王云生 陶闻钟 高均超 胡铭楷 张丛春 汪红 丁桂甫 
中国航空发动机集团商用发动机有限责任公司的大力支持和资助下完成的
航空发动机智能化及其他机械系统的智能化需要原位集成制造的传感器,为此研制了发动机涡轮叶片原位集成高温传感器。该高温传感器采用MEMS微制造工艺将厚度在微米量级的微小传感器原位集成在航空发动机涡轮叶片表面,利用微技术制造的传...
关键词：传感器 高温测量 MEMS 微制造工艺 软光刻技术 铂金热电阻 
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