MEMS原位集成传感器振动冲击试验研究  

Vibration and Shock Testing for Embedded MEMS Sensor for Intelligent Aero-engine Applications

作　　者：邵靖 段力[2] 胡铭楷 丁桂甫[2] 毛成龙 沈杰 静波[4] 

机构地区：[1]中国航发商用航空发动机有限责任公司,上海200241 [2]上海交通大学电子信息与电气工程学院,上海200240 [3]苏州泰斯特测控科技有限公司,苏州215164 [4]上海交通大学机械与动力工程学院,上海200240

出　　处：《振动．测试与诊断》2018年第3期548-552,共5页Journal of Vibration,Measurement & Diagnosis

摘　　要：智能航空发动机及其他机械系统的智能化需要抗高振动和大冲力的原位集成传感器,要满足高温、高振动、高冲击的苛刻工作环境。为此制作了发动机涡轮叶片原位集成高温温度传感器,并且进行了一系列的高温试验和振动冲击试验。该原位集成传感器利用微机电系统(micro-electro-mechanical-system,简称MEMS)制造技术制作在涡轮叶片表面,不仅可以原位测量高达800℃的环境温度,并且具有很高的机械强度,可以承受高达40g的振动和100g的冲力。

关 键 词：传感器 振动试验 冲击试验 MEMS微制造技术 原位集成 

分 类 号：U467.1[机械工程—车辆工程] TH113.1[交通运输工程—载运工具运用工程]