潘元志

作品数：1被引量：1H指数：1
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一种新型的电离式MEMS气体传感器被引量：1
《传感技术学报》2013年第4期467-470,共4页詹昌华 潘元志 赵小林 侯中宇 
国家自然科学基金项目(61274118/F040703,60906053/F040703)
实现了一种新型的电离式MEMS气体传感器,即线性阻抗电离式MEMS气体传感器。该传感器创新地采用了电导率而不是常用的击穿电压来检测不同的气体成分,这样可以避免高电压对器件的影响,提高器件工作状态的可重复性和稳定性。该器件在低压...
关键词：微机电系统 一维纳电极阵 电离式气体传感器 气体电导率 
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