侯中宇

作品数:6被引量:6H指数:2
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供职机构:上海交通大学更多>>
发文主题:气体传感器碳纳米管气体间隙电极极化电极更多>>
发文领域:自动化与计算机技术文化科学一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊:《固体电子学研究与进展》《传感技术学报》《微细加工技术》《压电与声光》更多>>
所获基金:国家自然科学基金更多>>
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微纳电极阵等离子体微系统
《传感技术学报》2024年第5期737-742,共6页丁衡高 侯中宇 
发现微纳尺度结构效应能调控电荷分布,在空间中激励形成极化带电场,极化带电场中原子、分子间相互作用的特异性产生了极化带效应。设计产生极化带效应的微纳电极阵结构,通过非硅微/纳加工技术集成形成微纳电极阵等离子体微系统(NPMEMS),...
关键词:微机电系统 微纳电极阵 等离子体 
一种新型的电离式MEMS气体传感器被引量:1
《传感技术学报》2013年第4期467-470,共4页詹昌华 潘元志 赵小林 侯中宇 
国家自然科学基金项目(61274118/F040703,60906053/F040703)
实现了一种新型的电离式MEMS气体传感器,即线性阻抗电离式MEMS气体传感器。该传感器创新地采用了电导率而不是常用的击穿电压来检测不同的气体成分,这样可以避免高电压对器件的影响,提高器件工作状态的可重复性和稳定性。该器件在低压...
关键词:微机电系统 一维纳电极阵 电离式气体传感器 气体电导率 
碳纳米管微电极的直流介质阻挡放电特性
《微纳电子技术》2011年第1期21-25,36,共6页王雨化 侯中宇 回兵 徐东 
国家自然科学基金(60871032)
研究了一种基于碳纳米管尖端的直流介质阻挡放电(DBD)微结构,使用MEMS加工工艺制作出深宽比0.5的侧壁相对的叉指状金属电极,在电极上电泳多壁碳纳米管,采用真空磁控溅射沉积二氧化硅介质层。在大气压下测试了所制备的DBD微结构样品的直...
关键词:碳纳米管(CNT) 电泳碳纳米管 介质阻挡放电 微机电系统(MEMS) 气敏传感器 
碳纳米管在混合电场下的运动规律及应用研究被引量:2
《固体电子学研究与进展》2007年第3期309-313,390,共6页邢晓凌 方芳 侯中宇 张亚非 
上海市科委交叉领域创新团队专项课题资助(No03DZ14025);上海科委科技项目(No:0552nm033)资助
根据介电电泳理论关于碳纳米管在电场下的运动规律,对直流和高频电场驱动下影响碳纳米管运动的因素进行了实验对比,讨论了电压、频率、电极间距、挥发时间和溶剂种类等因素。直流和高频电场对碳纳米管的取向排布和杂质分离效果有不同影...
关键词:碳纳米管 电场 排布 分离 
碳纳米管在MEMS微电极中的应用研究被引量:1
《微细加工技术》2007年第2期60-64,共5页魏星 侯中宇 徐东 张亚非 蔡炳初 
采用丝网印刷技术,将配制好的碳纳米管浆料涂敷到金属衬底上,形成碳纳米管薄膜,用四探针仪及表面轮廓仪分别测量了薄膜的方块电阻和表面粗糙度.结果表明,将碳纳米管球磨1 h,以质量比10%~12%与有机溶剂混合配制成浆料,丝网印刷后在真空...
关键词:碳纳米管 薄膜 丝网印刷 微电极 MEMS 
基于金刚石薄膜的微间隙室制备被引量:2
《压电与声光》2006年第6期692-695,共4页王芸 龙沪强 侯中宇 徐东 谢宽仲 蔡炳初 卞建江 
国家自然科学基金资助项目(60202008)
采用金刚石薄膜作为阴-阳极间绝缘介质层是一种新型的微间隙室(MGC)结构。该文详细介绍和讨论了采用常规的微细加工工艺制备基于金刚石薄膜介质层的MGC的制备技术,其典型结构为阳极微条宽20μm,微条间隔180μm,器件探测区面积为38m...
关键词:微间隙室 金刚石薄膜 反应离子刻蚀 热丝CVD 
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