谢宽仲

作品数：2被引量：2H指数：1
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供职机构：上海大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：金刚石薄膜反应离子刻蚀成像器件MGCX射线更多>>
发文领域：电子电信核科学技术更多>>
发文期刊：《核电子学与探测技术》《压电与声光》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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高分辨X射线成像器件——微间隙室(MGC)的研究
《核电子学与探测技术》2007年第1期57-61,共5页龙沪强 王芸 徐东 谢宽仲 卞建江 
国家自然科学基金资助项目(6020200)
详细讨论了微间隙室的基本结构、特性及其主要研究内容;并在此基础上,探讨了微间隙室采用金刚石薄膜作为阳极电极微条和阴极电极微条之间的极间绝缘材料的可能性和有效性。为在第三代同步光源上实现具有良好时间和空间分辨的成像实验或...
关键词：辐射成像探测器 同步光源 微间歇室 金刚石薄膜 
基于金刚石薄膜的微间隙室制备被引量：2
《压电与声光》2006年第6期692-695,共4页王芸 龙沪强 侯中宇 徐东 谢宽仲 蔡炳初 卞建江 
国家自然科学基金资助项目(60202008)
采用金刚石薄膜作为阴-阳极间绝缘介质层是一种新型的微间隙室（MGC）结构。该文详细介绍和讨论了采用常规的微细加工工艺制备基于金刚石薄膜介质层的MGC的制备技术，其典型结构为阳极微条宽20μm，微条间隔180μm，器件探测区面积为38m...
关键词：微间隙室 金刚石薄膜 反应离子刻蚀 热丝CVD 
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