王芸

作品数：7被引量：7H指数：2
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供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室更多>>
发文主题：场发射金刚石薄膜碳纳米管阳极压力传感器更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术核科学技术更多>>
发文期刊：《压电与声光》《材料科学与工程学报》《传感技术学报》《微细加工技术》更多>>
所获基金：上海市科学技术发展基金国家自然科学基金更多>>
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高分辨X射线成像器件——微间隙室(MGC)的研究
《核电子学与探测技术》2007年第1期57-61,共5页龙沪强 王芸 徐东 谢宽仲 卞建江 
国家自然科学基金资助项目(6020200)
详细讨论了微间隙室的基本结构、特性及其主要研究内容;并在此基础上,探讨了微间隙室采用金刚石薄膜作为阳极电极微条和阴极电极微条之间的极间绝缘材料的可能性和有效性。为在第三代同步光源上实现具有良好时间和空间分辨的成像实验或...
关键词：辐射成像探测器 同步光源 微间歇室 金刚石薄膜 
基于金刚石薄膜的微间隙室制备被引量：2
《压电与声光》2006年第6期692-695,共4页王芸 龙沪强 侯中宇 徐东 谢宽仲 蔡炳初 卞建江 
国家自然科学基金资助项目(60202008)
采用金刚石薄膜作为阴-阳极间绝缘介质层是一种新型的微间隙室（MGC）结构。该文详细介绍和讨论了采用常规的微细加工工艺制备基于金刚石薄膜介质层的MGC的制备技术，其典型结构为阳极微条宽20μm，微条间隔180μm，器件探测区面积为38m...
关键词：微间隙室 金刚石薄膜 反应离子刻蚀 热丝CVD 
旋涂法制备碳纳米管阴极及其场发射性能的测试被引量：1
《材料科学与工程学报》2006年第1期33-35,共3页钱开友 颜丙勇 王芸 叶枝灿 徐东 蔡炳初 
上海市科技发展基金资助(0214nm031)
采用Y2O3和Ni作催化剂,在H2和He混合气体气氛下通过弧光放电法得到高纯度的单壁碳纳米管。在用热氧化提纯法对高纯度碳纳米管产物进行进一步提纯后,用这种碳纳米管粉末与酒精配制成悬浮液,通过旋涂、干燥、退火等工艺得到碳纳米管阴极...
关键词：旋涂法 弧光放电法 碳纳米管 场发射 
场发射硅锥阵列的干法制备与研究被引量：2
《微细加工技术》2006年第1期56-60,共5页王芸 徐东 吴茂松 王莉 钱开友 叶枝灿 蔡炳初 
阐述了用于场发射压力传感器发射阴极的硅锥阵列的干法制备工艺,用反应离子刻蚀(RIE)的方法在76 mm(3 in.)的低阻硅片上制备出52个均匀分布的10×12的硅锥阵列,得到了曲率半径为25 nm^35 nm且具有良好一致性的尖锥。当阵列的场发射起始...
关键词：硅锥 干法刻蚀 RIE 场发射 
基于光刻胶回流特性的平面化工艺被引量：2
《微细加工技术》2005年第4期12-15,30,共5页叶枝灿 徐东 王芸 王莉 吴茂松 
研究了一种利用光刻胶的回流特性去除表面的磨痕,使其表面平整化的方法,结合牺牲层结构可以非常简便地制备出微机电器件中各种悬臂梁结构。着重研究了光刻胶的前烘胶温度、回流温度、回流时间对回流效果的影响。通过大量的实验得到了较...
关键词：光刻胶 回流 平面化 牺牲层 
碳纳米管场发射压力传感器结构设计与测试
《微细加工技术》2005年第2期69-72,共4页钱开友 王芸 叶枝灿 颜丙勇 徐东 蔡炳初 
上海市科技发展基金资助项目(0214nm031)
研制出了碳纳米管场发射压力传感器。在结构设计中提出了场发射压力传感器台阶双层阳极变形膜结构,计算机模拟证明,这种结构具有大量程与高灵敏度的优点。同时对这种结构的形变特性进行了实验测试,为传感器结构的整体尺寸设计提供了依...
关键词：碳纳米管 场发射 压力传感器 阳极变形膜 计算机模拟 
一种新场发射压力传感器阳极膜结构的模拟与测试
《传感技术学报》2005年第3期614-616,共3页钱开友 颜丙勇 林仰魁 王芸 徐东 蔡炳初 
上海市科技发展基金资助(0214nm031)
提出了场发射压力传感器阳极变形膜的双层膜结构。计算机模拟证明这种结构与已报道的单层膜相比具有大量程与高灵敏度的优点。对这种结构的形变特性进行了实验测试,考虑到测量误差与湿法刻蚀造成膜表面的不平整因素,测实结果与模拟结果...
关键词：场发射 压力传感器 阳极变形膜 计算机模拟 
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