叶枝灿

作品数：5被引量：17H指数：2
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发文主题：场发射碳纳米管MEMS器件阳极键合共晶键合更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《材料科学与工程学报》《微细加工技术》《电子工艺技术》更多>>
所获基金：上海市科学技术发展基金国家自然科学基金更多>>
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旋涂法制备碳纳米管阴极及其场发射性能的测试被引量：1
《材料科学与工程学报》2006年第1期33-35,共3页钱开友 颜丙勇 王芸 叶枝灿 徐东 蔡炳初 
上海市科技发展基金资助(0214nm031)
采用Y2O3和Ni作催化剂,在H2和He混合气体气氛下通过弧光放电法得到高纯度的单壁碳纳米管。在用热氧化提纯法对高纯度碳纳米管产物进行进一步提纯后,用这种碳纳米管粉末与酒精配制成悬浮液,通过旋涂、干燥、退火等工艺得到碳纳米管阴极...
关键词：旋涂法 弧光放电法 碳纳米管 场发射 
场发射硅锥阵列的干法制备与研究被引量：2
《微细加工技术》2006年第1期56-60,共5页王芸 徐东 吴茂松 王莉 钱开友 叶枝灿 蔡炳初 
阐述了用于场发射压力传感器发射阴极的硅锥阵列的干法制备工艺,用反应离子刻蚀(RIE)的方法在76 mm(3 in.)的低阻硅片上制备出52个均匀分布的10×12的硅锥阵列,得到了曲率半径为25 nm^35 nm且具有良好一致性的尖锥。当阵列的场发射起始...
关键词：硅锥 干法刻蚀 RIE 场发射 
用于MEMS器件的键合工艺研究进展被引量：12
《电子工艺技术》2005年第6期315-318,共4页张东梅 叶枝灿 丁桂甫 汪红 
国家自然科学基金项目(No.10377009)
随着MEMS器件的广泛研究和快速进步,非硅基材料被广泛用于MEMS器件中。键合技术成为MEMS器件制作、组装和封装的关键性技术之一,它不仅可以降低工艺的复杂性,而且使许多新技术和新应用在MEMS器件中得以实现。目前主要的键合技术包括直...
关键词：直接键合 阳极键合 粘结剂键合 共晶键合 
基于光刻胶回流特性的平面化工艺被引量：2
《微细加工技术》2005年第4期12-15,30,共5页叶枝灿 徐东 王芸 王莉 吴茂松 
研究了一种利用光刻胶的回流特性去除表面的磨痕,使其表面平整化的方法,结合牺牲层结构可以非常简便地制备出微机电器件中各种悬臂梁结构。着重研究了光刻胶的前烘胶温度、回流温度、回流时间对回流效果的影响。通过大量的实验得到了较...
关键词：光刻胶 回流 平面化 牺牲层 
碳纳米管场发射压力传感器结构设计与测试
《微细加工技术》2005年第2期69-72,共4页钱开友 王芸 叶枝灿 颜丙勇 徐东 蔡炳初 
上海市科技发展基金资助项目(0214nm031)
研制出了碳纳米管场发射压力传感器。在结构设计中提出了场发射压力传感器台阶双层阳极变形膜结构,计算机模拟证明,这种结构具有大量程与高灵敏度的优点。同时对这种结构的形变特性进行了实验测试,为传感器结构的整体尺寸设计提供了依...
关键词：碳纳米管 场发射 压力传感器 阳极变形膜 计算机模拟 
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