电容压力传感器

作品数：26被引量：44H指数：4
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相关机构：沈阳市传感技术研究所沈阳仪表科学研究院有限公司罗斯蒙德公司厦门大学更多>>
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基于均匀微突结构的高灵敏柔性电容压力传感器
《合肥工业大学学报（自然科学版）》2024年第11期1448-1452,1471,共6页刘彩霞 李帅 胡若海 陈恒 张玉刚 
浙江省“领雁”研发攻关计划资助项目(2022C03052);教育部产学合作协同育人资助项目(220604730212902)。
针对可穿戴医疗设备、电子皮肤、柔性触摸显示屏等对高灵敏柔性压力传感器的感知需求,文章基于纳米氧化锌(ZnO)、酞酸酯偶联剂(PN-105,PN)和室温硫化硅橡胶(room temperature vulcanized silicone rubber,RTV)材料,结合丝网印刷技术制...
关键词：电容式柔性传感器 介电层 微突起结构 高灵敏 
基于三浦折纸电容式压力传感器的仿真与优化
《传感器与微系统》2024年第10期120-123,共4页孙鸿 李木军 
国家自然科学基金资助项目(51475442)。
柔性电容式压力传感器的灵敏度通常随压力的增加而衰减,这可能会影响其在具有环境压力情况下的应用。基于三浦折纸结构的柔性电容式压力传感器由于其特殊的折叠方式,可以同时改变电极之间的距离和正对面积来提高电容的相对变化率。本文...
关键词：柔性电容压力传感器 三浦折纸结构 灵敏度 有限元仿真 
静电纺丝CNTs/MXene/PVP复合纤维膜的制备及电容压力传感器性能检测
《传感器技术与应用》2023年第6期447-453,共7页张敏 顾宏 
本文主要利用静电纺丝法制备CNTs/MXene/PVP复合纤维膜作为电容压力传感器介电层,扫描电子显微镜对二维材料MXene进行形貌表征。通过一系列传感器性能研究,结果得出使用静电纺丝制备出的纤维膜比表面积大、力学性能好,灵敏度可达到0.533...
关键词：静电纺丝 磁控溅射 CNTs/MXene 复合纤维膜 电容压力传感器 
基于Pcap01的MEMS电容压力传感器测量电路设计被引量：2
《电子科技》2019年第3期57-60,共4页鲍丙豪 陈亮 
国家自然科学基金(51575248)~~
基于TDC原理文中提出了一种用于MEMS电容式压力传感器的微弱电容测量电路。该电路以微处理器STM32F103为控制核心,通过SPI总线对Pcap01芯片进行时序控制,完成电容数据的采集、分析、处理和显示。该电路具有体积小、抗干扰性强、分辨率...
关键词：MEMS 电容式压力传感器 Pcap01 TDC 微电容检测技术 微处理器 
SiC微加工工艺及其在高温电容压力传感器中的应用研究进展被引量：2
《传感器与微系统》2018年第12期1-4,12,共5页余开庆 程萍 丁桂甫 Roya MABOUDIAN 赵小林 姚景元 
综述了碳化硅(SiC)材料的薄膜沉积、刻蚀、减薄、键合、欧姆接触等微加工工艺,并以SiC高温电容压力传感器为典型应用,介绍了SiC高温压力传感器的研究现状。
关键词：碳化硅 微加工工艺 高温 电容压力传感器 
MEMS电容式压力传感器检测电路比较研究被引量：4
《电子科技》2015年第1期186-189,共4页黄雨濛 戚昊琛 胡智文 张鉴 
东南大学MEMS教育部重点实验室开放基金资助项目(LY13F010006);浙江省自然科学基金资助项目(LY12F02014);合肥工业大学科学研究发展基金资助项目(J2014HGXJ0091;J2014HGXJ0082)
介绍了MEMS电容式压力传感器检测电路的5种实现方式:脉宽调制法、运算放大器法、电荷注入法、调频法和AC运放法。并从稳定性、测量灵敏度及抗杂散性等方面介绍了不同方式下检测电路的优缺点,为MEMS电容式压力传感器提供了参考。
关键词：微电子机械系统 电容压力传感器 检测电路 优缺点 
MEMS无线无源电容压力传感器结构设计及制备
《半导体技术》2013年第11期827-830,共4页李颖 梁庭 林斯佳 喻兰芳 崔海波 
国家自然科学基金(51075375)
摘要：设计了一种无线无源电容压力传感器。传感器采用MEMS工艺由硅-玻璃浆料-硅键合而成，独特的三层结构设计用以实现高温环境下的测量。应用有限元分析软件对传感器结构进行了仿真分析，并详细介绍了其加工工艺；引进了一种新型的非...
关键词：无线无源传感器 压力传感器 MEMS 非接触测量 谐振频率 
电容压力传感器与电子血压计的结构原理及电子血压计的校准被引量：2
《中国医学装备》2013年第3期44-46,共3页王黎明 苏艳玲 王森 
目的:通过对电容压力传感器与电子血压计的结构、原理进行分析,修复受损的电容压力传感器,并对修复后的血压计进行校准。方法:利用常见的正常血压计做为标准压力计,使两血压计处于同一压力水平来校准血压计。结果:电容压力传感器修复后...
关键词：电容压力传感器 电子血压计 校准 频率调制 
用于火炮膛压测试的电容压力传感器接口电路设计被引量：1
《火炮发射与控制学报》2011年第1期72-76,共5页李新娥 祖静 马铁华 刘浪 
传统的火炮膛压测试仪采用压电传感器,其安装结构与测压器的小体积存在着矛盾,且有零点漂移的问题,因此提出采用基于测压器壳体的电容式压力传感器,通过分析传感器及膛压信号的特点,设计了基于PS021的传感器接口电路。PS021对传感器信...
关键词：仪器仪表技术 电容 压力传感器 接口电路 
高性能MEMS电容压力传感器的设计及其热分析被引量：10
《光学精密工程》2010年第5期1166-1174,共9页吕浩杰 胡国清 邹卫 吴灿云 陈羽锋 
国防军工科研资助项目(No.XDTH2009232A)
为了进一步提高接触式电容压力传感器的性能,设计了一种高性能双凹槽结构的接触式电容压力传感器,并对该传感器在高温环境中的总体性能进行了分析。推导了热传导和热弹性理论,并对影响传感器热分析的各个因素与温度的依赖关系进行了描述...
关键词：双凹槽接触式电容压力传感器(DTMCPS) 热分析 有限元法 
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