邹卫

作品数：1被引量：10H指数：1
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供职机构：厦门大学物理与机电工程学院机电工程系更多>>
发文主题：MEMS热分析电容压力传感器有限元法高性能更多>>
发文领域：自动化与计算机技术更多>>
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高性能MEMS电容压力传感器的设计及其热分析被引量：10
《光学精密工程》2010年第5期1166-1174,共9页吕浩杰 胡国清 邹卫 吴灿云 陈羽锋 
国防军工科研资助项目(No.XDTH2009232A)
为了进一步提高接触式电容压力传感器的性能,设计了一种高性能双凹槽结构的接触式电容压力传感器,并对该传感器在高温环境中的总体性能进行了分析。推导了热传导和热弹性理论,并对影响传感器热分析的各个因素与温度的依赖关系进行了描述...
关键词：双凹槽接触式电容压力传感器(DTMCPS) 热分析 有限元法 
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