微加速度传感器

作品数：66被引量：176H指数：9
导出分析报告
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
相关作者：温志渝刘妤王跃林唐彬车录锋更多>>
相关机构：重庆大学中国工程物理研究院电子工程研究所中国科学院中北大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金教育部科学技术研究重大项目国家教育部博士点基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
仿虾螯式抗冲击微加速度传感器设计被引量：1
《机械强度》2024年第2期410-415,共6页张旭 赵锐 石云波 祖凯旋 张洁宇 闫晓朋 
山西省基础研究计划面上项目(202103021224206);国家自然科学基金面上项目(52175524);山西省“1331工程”重点学科建设项目资助。
针对外弹道信息测量过程中,低量程微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)加速度传感器在上万g_n过载环境下的损坏问题,提出了一种仿虾螯式抗冲击微加速度传感器,可以实现抗过载30000g_n、量程50g_n的指标要求。有限元仿真...
关键词：加速度计 抗冲击 电容式 低量程 仿生缓冲结构 微机电系统 
浅析微加速度传感器的研究现状及发展趋势
《科教导刊（电子版）》2018年第11期265-265,共1页陈鑫 
介绍了为加速度传感器的研究现状、 基本原理及其分类和发展趋势. 重点论述了微加速度传感器的特点, 并对微加速度传感器领域内一些新的进展进行了讨论, 指出了微加速度传感器的发展趋势.
关键词：传感器 速度 电力系统 
贴片工艺对微加速度传感器CV特性的影响被引量：2
《仪表技术与传感器》2017年第1期11-14,共4页朱瑞丰 周晓峰 高守玮 车录锋 
针对设计制作的硅三明治MEMS电容式加速度传感器,利用COMSOL软件建立了封装结构有限元模型,仿真分析了贴片工艺对传感器芯片变形的影响。通过对贴片前后传感器CV特性曲线的测试,发现贴片后传感器在测量CV特性曲线时中间质量块会经历平...
关键词：加速度传感器 贴片工艺 有限元仿真 CV特性 
批量化微加速度计综合测试平台设计被引量：2
《电子器件》2016年第6期1317-1320,共4页王华 石云波 王艳阳 杨阳 
国家高技术研究发展计划项目(2013AA041109)
为了实现微加速度传感器的批量标定,能够更加方便地进行多个传感器的性能测试。基于SolidWorks软件平台设计了一种可一次进行多只传感器综合测试装置。该装置可分别进行翻转测试和振动测试,并且能够实现传感器测试夹具与测试平台的自动...
关键词：微加速度传感器 批量化测试 仿真设计 SOLIDWORKS 
空间手写笔笔迹检测系统的研究
《电脑知识与技术》2016年第9X期214-216,共3页生桂勇 
提出了一种基于微加速度计与微磁场强度传感器的空间笔迹检测系统,并对轨迹检测系统的算法进行了详细的描述。该系统可用于识别手写笔在三维空间的运动轨迹,并通过三维空间的姿态角变换矩阵将手写笔动态信息投影到二维坐标平面,经过一...
关键词：笔迹检测 微加速度传感器 微磁场强度传感器 
基于无掩模腐蚀技术的高性能微加速度传感器被引量：1
《传感器与微系统》2016年第3期53-55,59,共4页袁明权 唐彬 孙远程 熊壮 彭勃 
国家自然科学基金资助项目(51305412;61404121);行业预先研究项目(426010104);中国工程物理研究院超精密加工重点实验室资助项目(2012CJMZZ00003)
针对深沟槽内结构制作困难的问题,基于单晶硅各向异性腐蚀原理,推导了{100}单晶硅在KOH溶液中无掩模腐蚀过程台阶宽度与无掩模腐蚀深度之间的解析表达式,通过工艺实验确定了单晶硅{311}面与{100}面的腐蚀速率比;采用适合于三明治微加速...
关键词：微机械加工 微加速度传感器 各向异性腐蚀 无掩模 阳极键合 
接触式电容微加速度传感器的设计与分析(英文)
《传感技术学报》2014年第2期158-161,共4页刘妤 陈松 顾雯雯 
重庆理工大学启动基金项目
设计了一种新型接触式电容微加速度传感器。针对传感器结构,建立了考虑接触效应的周边固支圆形膜片在载荷作用下与基底"接触"前后的简化分析模型,并给出了接触半径的计算公式。为接触式传感器的研制奠定了理论基础。
关键词：MEMS加速度传感器 接触式 电容传感 圆膜片 
基于共振隧穿二极管的微加速度传感器设计被引量：1
《传感器与微系统》2013年第10期71-73,共3页郝晓剑 张斌珍 
国家自然科学基金资助项目(61176115)
介绍了共振隧穿效应,并在此基础上利用共振隧穿二极管(RTD)设计了共振隧穿压阻式的微加速度传感器实验检测方案。对所设计的微加速度传感器进行加速度的电压输出线性度、频率响应以及不同偏压下加速度计的灵敏度等进行全面系统测试,并...
关键词：共振隧穿 共振隧穿二极管 加速度传感器 测试 
GaAs基HEMT嵌入式微加速度传感器力电耦合系数研究
《传感器与微系统》2013年第2期63-65,69,共4页田学东 薛晨阳 王永存 刘俊 唐军 
中国博士后科学基金资助项目(2011M50054);国家自然科学基金面上项目(61171056);国家自然科学基金重点资助项目(50730009)
设计加工了一种GaAs基高电子迁移率晶体管(HEMT)嵌入式微加速度传感器结构,通过软件仿真和实验测试相结合的方法,研究了所设计的微结构在平行于HEMT生长方向上(Z方向)不同加速度作用下敏感单元HEMT的力电耦合特性。实验结果表明:GaAs基H...
关键词：高电子迁移率晶体管 砷化镓 力电耦合系数 传感器 
叉指电容式汽车安全气囊硅微加速度传感器的设计和分析
《今日科苑》2010年第20期61-61,71,共2页南昊 田露 
本文对一种基于MEMS技术的2-D梳状插指电容加速度传感器的设计方案进行了分析、研究和仿真。该加速度传感器使用同一衬底上整合的独立的相互垂直的梳状插指电容结构,实现平面上的加速度监测,灵敏度和分辨率满足汽车安全气囊用要求。
关键词：MEMS 加速度传感器 安全气囊 
全选清除导出
共7页<1234567>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部