微机械加工

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表面凹槽织构微机械加工及其摩擦学性能研究被引量：5
《工具技术》2021年第12期73-76,共4页杨立光 马文锁 高飞 李继锋 邓明 刘昭林 马磊 孟鸿超 
国家重点研发计划(2018YFB2000100)。
作为新兴的表面改性技术,表面织构化可以有效减少摩擦,在摩擦表面应用较为广泛。本文介绍了0Cr17Ni7Al表面织构微机械加工技术,研究了相同载荷及转速工况条件下的光滑表面与凹槽织构表面在摩擦过程中的摩擦性能及磨损机理。研究发现,精...
关键词：表面 微机械加工 凹槽 织构 摩擦 
低压化学气相淀积低应力氮化硅工艺研究被引量：4
《电子与封装》2021年第8期94-98,共5页王敬轩 商庆杰 杨志 
微机械加工(Micro-Electro Mechanical System,MEMS)工艺中常需要应用到低应力氮化硅作为结构层或钝化层材料,以降低圆片的翘曲。通过采用低压化学气相淀积工艺(Low Pressure Chemical-Vapor Deposition,LPCVD),优化工艺中反应气体流量...
关键词：微机械加工 低压化学气相淀积 低应力氮化硅 均匀性 
蝶翼式振动加速度传感器设计与制造被引量：3
《传感器与微系统》2021年第6期60-62,共3页李凯 单恒 蒲金飞 陈伟琪 吴学忠 侯占强 
国家自然科学基金资助项目(51505490)。
针对故障诊断与安全监测的应用需求,设计了一种大量程、体积小、高谐振频率的蝶翼式振动加速度传感器。通过COMSOL有限元分析(FEA)对敏感结构进行了分析与优化设计。采用了基于绝缘体上硅(SOI)圆片的敏感结构制造工艺完成了敏感结构的加...
关键词：振动传感器 加速度 蝶翼式 微机械加工 集成封装 
浅议微机电系统(MEMS)技术的发展与应用
《科教导刊（电子版）》2020年第13期270-270,共1页杨郁 
本文论述了微机械的概念、特点、研究概况和微机械的加工制造技术一微细加工技术.阐速了微机械与微/纳米科技、微电子技术之间的相互关系.分析了微机械研究的发展趋势及应用热点.
关键词：微机电系统 MEMS 微机械加工 
微机械加工技术及其在传感器中的应用研究
《中国航班》2020年第3期125-125,共1页王仁鑫 
近年来我国在微机械加工技术取得了突破性的进展,微机械加工技术是一项新兴技术,它在人们的生活和工作中发挥了不可或缺的作用,受到了社会的广泛关注。本文首先从 LIGA 技术、微放电加工技术、腐蚀技术、硅键合技术等四个方面对微机械...
关键词：微机械加工 微机械加工技术 传感器 应用 
超精密微机械制造技术研究被引量：2
《科技风》2019年第26期168-168,共1页岳韬 
随着我国工业技术的不断发展,精密微小零件已经广泛运用于高新技术领域,发展超精密微机械制造技术可以满足对现代医学、航空航天等领域的需求。本文确定了超精密微机械制造技术内涵,分析了超精密微机械制造技术的特点、关键技术和发展...
关键词：超精密微机械加工 微切削技术 机械制造 
基于LTCC技术的加速度计制造方法被引量：3
《电子与封装》2019年第6期6-8,11,共4页唐小平 卢会湘 严英占 
国家自然科学基金(61404119)
低温共烧陶瓷(LTCC)技术是实现电子设备小型化、高密度集成化的主流技术手段,可适用于耐高温、耐受恶劣环境下的特性要求。介绍了LTCC差分电容式加速度计结构,敏感质量块和4根悬臂梁结构都内嵌于LTCC多层基板,质量块和上下电容板之间通...
关键词：低温共烧陶瓷 加速度计 微机械加工 三维集成 
深度等离子体反应刻蚀技术制备擒纵机构
《微纳电子技术》2017年第8期570-573,共4页叶伟 崔立堃 王旭飞 方坤 
陕西省科技厅工业攻关项目(2016GY-050);陕西省教育厅重点实验室重点科研攻关项目(12JS033)
采用磁控溅射法在单晶硅基片上制备铝膜,并结合光刻技术将擒纵机构图形转移到铝膜。利用铝膜不与刻蚀气体反应的特性,将其取代光刻胶作为深度等离子体反应刻蚀制备擒纵机构时硅基片的掩蔽层,并且采用干氧的方法在擒纵机构表面生成一层S...
关键词：单晶硅 深度等离子体反应刻蚀 擒纵机构 微机械加工 光刻 
微型直接甲醇燃料电池的技术进展与挑战被引量：2
《电源技术》2017年第7期1092-1095,共4页张霞 王路文 耿友林 董林玺 王高峰 
国家自然科学基金(60806037;61076105);中央高校基本科研业务费专项资金资助(HIT.NSRIF.2009008)
随着便携式电子产品的普及化,人们对小体积及高性能的便携式电源的需求与日俱增。利用微机械加工技术制作的微型直接甲醇燃料电池具有体积小、质量轻、能量密度高、携带安全等特点,适用于民用数码产品(如笔记本电脑、手机等)和国防系统...
关键词：便携式电源 微型直接甲醇燃料电池 微机械加工 工作效能 
在微模具制作中的微机械加工技术应用被引量：3
《中国设备工程》2017年第14期168-169,共2页陈国兴 陈吉祥 蔡耀安 
科学技术水平的提高,使微型制作设计技术取得了显著成果。现阶段,微型技术在人们生活内已经广泛应用,就以微模具来说,也在逐渐完善成熟过程中,研究人员对微模具机械加工技术关注程度显著提升。本文对制作微模具的微机机械加工技术进行...
关键词：制作微模具 微机械加工技术 应用分析 
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