浅议微机电系统(MEMS)技术的发展与应用  

作　　者：杨郁 

机构地区：[1]徐州巴特工程机械股份有限公司,江苏徐州221004

出　　处：《科教导刊（电子版）》2020年第13期270-270,共1页The Guide of Science & Education (Electronic Edition)

摘　　要：本文论述了微机械的概念、特点、研究概况和微机械的加工制造技术一微细加工技术.阐速了微机械与微/纳米科技、微电子技术之间的相互关系.分析了微机械研究的发展趋势及应用热点.

关 键 词：微机电系统 MEMS 微机械加工 

分 类 号：TP273[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]