田学东

作品数：2被引量：2H指数：1
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供职机构：中北大学更多>>
发文主题：HEMTSI基高电子迁移率晶体管刻蚀开关比更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《仪表技术与传感器》《传感器与微系统》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
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石墨烯晶体管的加工及测试研究被引量：2
《仪表技术与传感器》2014年第2期39-41,共3页王永存 薛晨阳 刘耀英 田学东 张文栋 李铁 
国家自然科学基金项目(61127008)
石墨烯晶体管因其超高响应频率和超小的体积成为新一代半导体基础器件的发展趋势。针对不同结构的石墨烯晶体管在电学特性上存在差异,通过化学气相沉积法(CVD)在铜箔上生长石墨烯薄膜,转移石墨烯薄膜到Si/SiO2基底上,经过光刻、等离子...
关键词：石墨烯 晶体管 氧等离子体刻蚀 狄拉克点 开关比 栅调制 
GaAs基HEMT嵌入式微加速度传感器力电耦合系数研究
《传感器与微系统》2013年第2期63-65,69,共4页田学东 薛晨阳 王永存 刘俊 唐军 
中国博士后科学基金资助项目(2011M50054);国家自然科学基金面上项目(61171056);国家自然科学基金重点资助项目(50730009)
设计加工了一种GaAs基高电子迁移率晶体管(HEMT)嵌入式微加速度传感器结构,通过软件仿真和实验测试相结合的方法,研究了所设计的微结构在平行于HEMT生长方向上(Z方向)不同加速度作用下敏感单元HEMT的力电耦合特性。实验结果表明:GaAs基H...
关键词：高电子迁移率晶体管 砷化镓 力电耦合系数 传感器 
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