宋金龙

作品数：8被引量：24H指数：3
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供职机构：中北大学信息与通信工程学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室更多>>
发文主题：压阻式压敏电阻矩形梁三轴加速度传感器MEMS更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《压电与声光》《中北大学学报（自然科学版）》《仪表技术与传感器》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家杰出青年科学基金国防科技重点实验室基金更多>>
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一种面向MEMS矢量水听器的硅纳米线制备方法被引量：2
《中北大学学报（自然科学版）》2020年第5期455-460,共6页史一明 齐秉楠 白建新 宋金龙 王卫东 王任鑫 
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(61604134);国防科技重点实验室基金(6142109KF201804);博士后特别资助计划(2017T100171);实验室开放基金(JZ2018036WR)。
为了进一步提高MEMS矢量水听器灵敏度,把硅纳米线作为压敏单元,将硅纳米线工艺引入到MEMS矢量水听器制备过程中,利用其所具有的巨压阻效应来提高MEMS矢量水听器的灵敏度.本文提出了一种自上而下的微加工工艺方法,将TMAH(四甲基氢氧化铵...
关键词：MEMS矢量水听器 硅纳米线 自上而下法 TMAH各向异性腐蚀 干法刻蚀 半导体工艺 
一种微纳跨尺度一体化的MEMS矢量水听器被引量：1
《微纳电子技术》2020年第6期468-475,共8页史一明 齐秉楠 宋金龙 王任鑫 张国军 
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(61604134);国防科技重点实验室基金资助项目(6142109KF201804);博士后特别资助计划(2017T100171);实验室开放基金资助项目(JZ20180306 WR);中北大学青年学术带头人计划资助项目。
随着水下消声技术的发展,水下目标探测难度越来越大,单个水听器难以实现有效探测,需组成水听器阵列,而现有微电子机械系统(MEMS)矢量水听器存在粘接纤毛一致性相对较差、阵列应用相对困难等问题。设计了一种微纳跨尺度一体化MEMS矢量水...
关键词：一体化 矢量水听器 微电子机械系统(MEMS) 有限元仿真分析 微纳跨尺度 压阻 硅纳米线 
多参量微纳集成传感器被引量：1
《微纳电子技术》2019年第2期119-125,共7页宋金龙 何常德 王任鑫 薛晨阳 张文栋 
国家高技术研究发展计划(863)资助项目(2015AA042601);国家杰出青年科学基金资助项目(61525107);国家自然科学基金青年科学基金资助项目(61604134);山西省‘1331工程’重点学科建设计划经费资助项目
为了满足采煤机械工作状态在线监测在线分析系统对微纳传感系统小型化和集成化的要求,设计了一种将压阻式振动传感器与铂电阻温度传感器集成的多参量微纳集成传感器。振动传感器由一个惯性质量块、八个梁和边框组成,惯性质量块通过八个...
关键词：多参量微纳集成传感器 在线监测在线分析系统 小型化和集成化 压阻式振动传感器 铂电阻温度传感器 
基于压力分布测试的电容式压力传感器
《微纳电子技术》2018年第8期563-570,共8页何昱蓉 贾利成 何常德 宋军华 宋金龙 张文栋 
国家自然科学基金国家杰出青年科学基金资助项目(61525107);国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2015AA042601)
针对0-0.3 N压力的大小与分布测试,设计了一款电容式压力传感器。通过ANSYS仿真与Matlab数据分析,确定传感器单个敏感单元半径为80μm,腔高0.5μm,膜厚2.5μm。阵元内敏感单元呈行列排布。设计工艺加工流程与版图,并进行干法刻蚀、减薄...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 压力传感器 电感耦合等离子体(ICP)刻蚀 阳极键合 压力测试 
单片集成的压阻式加速度计设计及加工
《压电与声光》2018年第2期304-308,共5页何昱蓉 何常德 张文栋 宋金龙 
国家杰出青年科学基金资助项目(61525107)
针对现实环境下加速度方向多维测试的需求,提出了一种"四边八梁"的MEMS低加速度g(g=9.8m/s2)值压阻式三轴加速度传感器。根据其工作原理进行结构设计,并通过ANSYS与Matlab软件分析、优化结构参数。设计工艺流程并进行离子注入、ICP干法...
关键词：三轴加速度传感器 压阻效应 微机电系统(MEMS) 离子注入 深硅刻蚀 
微电容超声传感器的设计与测试被引量：7
《仪表技术与传感器》2015年第8期1-3,6,共4页穆林枫 张文栋 何常德 张睿 宋金龙 薛晨阳 
国家自然科学基金项目(61127008)
针对现有微电容超声传感器(CMUT)寄生电容大的问题,采用绝缘技术将振动薄膜与上电极金属完全隔离的方法,避免了掺杂效应的发生,从而减小了寄生电容。文中以电容变化率为主线,分别对微传感器和跨阻检测电路的电容变化率进行了计算和仿真...
关键词：微电容超声传感器 寄生电容 电容变化率 跨阻检测电路 系统测试 
基于C-SOI工艺的一维MEMS电容式超声传感器阵列被引量：7
《传感器与微系统》2015年第3期94-96,102,共4页李玉平 何常德 张娟婷 张慧 宋金龙 薛晨阳 
国家自然科学基金资助项目(61127008)
提出了一种新的基于C-SOI工艺制备的电容式微加工超声传感器(CMUT)的方法。通过对加工过程中一些关键工艺步骤进行测试,发现所加工的微传感器尺寸与设计尺寸基本一致,且刻蚀的空腔高度均匀,键合效果良好,证明了工艺流程的可行性。此外,...
关键词：电容式微加工超声传感器 C-SOI工艺 ANSYS 成像阵列 一致性 
电容式MEMS超声传感器设计与分析被引量：6
《传感器与微系统》2014年第11期73-75,共3页李玉平 何常德 张娟婷 张慧 宋金龙 薛晨阳 
国家"863"计划资助项目(2011AA040404);国家自然科学基金资助项目(51075375)
目前电容式MEMS超声传感器(CMUS)多为收发一体结构,但二种工作模式对传感器结构要求存在很大差异,设计时为了兼顾收发性能往往不能使传感器性能达到最优;此外,传统的电容式MEMS超声传感器还存在寄生电容大的缺点。针对以上问题,基于收...
关键词：电容式MEMS超声传感器 接收传感器 ANSYS 寄生电容 灵敏度 
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