李玉平

作品数：4被引量：33H指数：4
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供职机构：中北大学电子与计算机科学技术学院电子测试技术国家重点实验室更多>>
发文主题：MEMS电容式超声传感器ANSYS传感器设计更多>>
发文领域：电子电信理学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《压电与声光》《传感器与微系统》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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基于C-SOI工艺的一维MEMS电容式超声传感器阵列被引量：7
《传感器与微系统》2015年第3期94-96,102,共4页李玉平 何常德 张娟婷 张慧 宋金龙 薛晨阳 
国家自然科学基金资助项目(61127008)
提出了一种新的基于C-SOI工艺制备的电容式微加工超声传感器(CMUT)的方法。通过对加工过程中一些关键工艺步骤进行测试,发现所加工的微传感器尺寸与设计尺寸基本一致,且刻蚀的空腔高度均匀,键合效果良好,证明了工艺流程的可行性。此外,...
关键词：电容式微加工超声传感器 C-SOI工艺 ANSYS 成像阵列 一致性 
电容式MEMS超声传感器设计与分析被引量：6
《传感器与微系统》2014年第11期73-75,共3页李玉平 何常德 张娟婷 张慧 宋金龙 薛晨阳 
国家"863"计划资助项目(2011AA040404);国家自然科学基金资助项目(51075375)
目前电容式MEMS超声传感器(CMUS)多为收发一体结构,但二种工作模式对传感器结构要求存在很大差异,设计时为了兼顾收发性能往往不能使传感器性能达到最优;此外,传统的电容式MEMS超声传感器还存在寄生电容大的缺点。针对以上问题,基于收...
关键词：电容式MEMS超声传感器 接收传感器 ANSYS 寄生电容 灵敏度 
一种基于MATLAB的CMUT阵列设计与成像仿真方法被引量：7
《传感技术学报》2014年第4期490-494,共5页张慧 何常德 苗静 李玉平 张文栋 薛晨阳 
国家自然科学基金项目(61127008);国家863计划项目(2011AA040404)
为了分析阵列设计参数与成像效果的关系,提高微电容超声传感器(CMUT)阵列设计的可靠性,提出了一种仿真CMUT阵列水下成像方法。设计了一种CMUT结构,振膜厚3μm,振动单元边长1.16 mm,ANSYS仿真得出中心频率为464 kHz。讨论了阵列参数与声...
关键词：电容式微加工超声传感器(CMUT) 阵列设计 空间脉冲响应理论 水下成像仿真 
MEMS电容式超声传感器设计被引量：16
《压电与声光》2013年第5期706-710,共5页于佳琪 何常德 张永平 苗静 李玉平 薛晨阳 张文栋 
"基于纳机电矢量水听器面阵的水下目标成像机理与技术研究"基金资助项目(61127008);"水陆交通安全传感器及系统"基金资助项目(2011AA040404)
在传统的电容式超声传感器(CMUT)制造过程中,用低压化学气相淀积技术形成的氮化硅薄膜残余应力大且机械性能难以预知。为此,设计了一种基于阳极键合技术的CMUT,传感器薄膜和空腔分别定义在均匀性好、残余应力低的SOI片和玻璃片上。建立...
关键词：电容式超声传感器 微机电系统（MEMS） 阳极键合 ANSYS 工艺流程 
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