云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 张永平

张永平: 作品数：1被引量：16H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：中北大学更多>>; 发文主题：压敏电阻单片集成加速度计加速度传感器超声传感器更多>>; 发文领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>; 发文期刊：《压电与声光》更多>>

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MEMS电容式超声传感器设计被引量：16: 《压电与声光》2013年第5期706-710,共5页于佳琪何常德张永平苗静李玉平薛晨阳张文栋; "基于纳机电矢量水听器面阵的水下目标成像机理与技术研究"基金资助项目(61127008);"水陆交通安全传感器及系统"基金资助项目(2011AA040404); 在传统的电容式超声传感器(CMUT)制造过程中,用低压化学气相淀积技术形成的氮化硅薄膜残余应力大且机械性能难以预知。为此,设计了一种基于阳极键合技术的CMUT,传感器薄膜和空腔分别定义在均匀性好、残余应力低的SOI片和玻璃片上。建立...; 关键词：电容式超声传感器微机电系统（MEMS）阳极键合 ANSYS 工艺流程