纳米加工技术

作品数:96被引量:114H指数:6
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相关作者:刘明陈宝钦刘波封松林宋志棠更多>>
相关机构:中国科学院中国科学院微电子研究所北京大学上海交通大学更多>>
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激光诱导薄膜材料二维图案化纳米加工技术(特邀)被引量:2
《光子学报》2023年第7期13-20,共8页黄佳旭 李峻 邱佩 徐少林 
深圳市科技项目(Nos.JCYJ20220818100408019,JSGG20210802154007021,KQTD20170810110250357)。
激光诱导周期性表面结构(Laser-Induced Periodic Surface Structures,LIPSS)是一种在激光辐照下自发生成的超衍射极限结构,但其结构类型较为单一。提出了一种新型的二维图案化激光纳米加工方法,通过同时利用激光诱导的热效应及表面等...
关键词:超快激光 激光诱导周期性表面结构 激光诱导褶皱 薄膜材料 二维纳米结构 飞秒激光 
基于硅模具制作的纳米裂纹及应变传感器
《微纳电子技术》2021年第4期337-341,共5页张之昊 李浩然 张思琦 刘军山 
国家重点研发计划资助项目(2020YFB2008500);国家自然科学基金资助项目(51875083);大连市科技创新基金资助项目(2020JJ25CY018)。
纳米裂纹制造技术作为一种非传统的纳米加工技术被应用于纳米线条、纳流控芯片和传感器等众多研究领域,然而纳米裂纹生成的随机性及其图案的不确定性限制了该项技术的发展。利用硅模具以及二次倒模工艺,在聚二甲基硅氧烷(PDMS)基底表面...
关键词:应变传感器 纳米裂纹 纳米加工技术 硅各向异性腐蚀 聚二甲基硅氧烷(PDMS)二次倒模 应变灵敏系数(GF) 
《材料导报》“柔性电子”专刊征文通知
《材料导报》2019年第24期4039-4039,共1页《材料导报》编辑部 
在《材料导报》新任主编黄维院士倡议下,由西北工业大学柔性电子研究院王学文教授、艾伟教授和程迎春教授共同担任客座编辑,期刊社策划了“柔性电子”专刊。聚焦柔性电子领域最新科研成果,包括有机光电材料、柔性有机/无机半导体材料、...
关键词:柔性传感器 有机光电材料 电子领域 征文通知 西北工业大学 纳米加工技术 存储器件 能源转换 
《材料导报》“柔性电子”专刊征文通知
《材料导报》2019年第22期3819-3819,共1页 
在《材料导报》新任主编黄维院士倡议下,由西北工业大学柔性电子研究院王学文教授、艾伟教授和程迎春教授共同担任客座编辑,期刊社策划了“柔性电子”专刊。聚焦柔性电子领域最新科研成果,包括有机光电材料、柔性有机/无机半导体材料、...
关键词:柔性传感器 有机光电材料 电子领域 征文通知 西北工业大学 纳米加工技术 存储器件 能源转换 
“生命科学仪器”专刊导读
《光学精密工程》2019年第6期F0002-F0002,共1页周连群 
生命科学是当今自然科学的热点研究领域之一,研究生命现象、揭示生命活动规律和生命本质。研究对象包括动物、植物、微生物及人类本身,其研究层次涉及分子、细胞、组织、器官、个体、群体及群落和生态系统。伴随着生命科学技术的高速发...
关键词:生命科学仪器 生命科学技术 单分子技术 导读 信息网络技术 纳米加工技术 自然科学 生命现象 
纳米器件
《现代物理知识》2018年第5期31-37,共7页褚卫国 
1.概述 随着1991年碳纳米管的发现,在全世界范围内掀起了研究纳米技术的热潮,而纳米器件及其加工制备水平是衡量纳米科技发展水平的重要标志。纳米器件是指利用微纳米加工技术制备得到的特征尺寸为纳米尺度(通常为1~100 nm)的具有...
关键词:纳米器件 科技发展水平 纳米加工技术 加工制备 纳米尺度 特征尺寸 碳纳米管 纳米技术 
双光束超分辨激光直写纳米加工技术被引量:20
《光电工程》2017年第12期1133-1145,共13页曹耀宇 谢飞 张鹏达 李向平 
国家自然科学基金项目(61605061);广东省自然科学基金(2016A030313088)
随着纳米技术的不断发展,各行业领域对纳米尺寸结构的加工需求与日剧增,激光直写加工技术作为一项重要的三维微纳结构加工手段,在多个现代科学技术领域得到了广泛应用。针对三维微纳结构制备,双光束超分辨激光加工技术,结合双光子聚合(T...
关键词:激光直写加工 光聚合 受激辐射损耗 超分辨光学技术 三维纳米结构 
香港理大研发最省电LED灯丝灯,光效为传统LED灯1.5倍
《新材料产业》2017年第4期80-80,共1页
香港理工大学利用新式纳米加工技术,成功研发市场上最省电LED灯丝灯,发光效率为传统LED灯1.5倍,售价和成本为传统LED灯的一半,灯丝灯的一年电费及碳排放更低于传统悭电胆的一半以下,预计今年中生产及推出市场。理大超精密加工技...
关键词:香港理工大学 LED灯 发光效率 灯丝 研发 传统 省电 纳米加工技术 
一种基于微\纳米加工技术的新型太赫兹片上螺旋天线被引量:2
《电子器件》2017年第2期276-279,共4页郭林 潘杰 
国家自然科学基金项目(61404157);南京邮电大学校级科研基金项目(NY214189和NY215146);中兴通讯产学研合作基金项目;河南省科技攻关计划项目(162102210332)
给出了一种基于微\纳米加工技术的3D片上天线结构,天线工作频率为1.5 THz。该天线结构包含圆柱形金属螺旋和衬底上的微带馈线2个部分。所提出的天线结构可以在单片晶圆上利用微\纳米加工技术实现,且方便与系统其他部分的电路集成于同一...
关键词:太赫兹(THz)天线 片上螺旋天线 微/纳米加工技术 微带线 
纳米加工技术中分子动力学的应用
《科技风》2017年第8期23-24,共2页邱旭民 
分子动力学通过在不同的状态下构成的分子体系中抽取样本,进行计算体系构型积分,再以构型积分的运算结果为基础完成计算体系的热力学量与其他宏观的性质,分子动力学的应用是较为广泛的。本文通过分析分子动力学的内容及原理,并对其在纳...
关键词:纳米加工技术 分子动力学 应用 分析 
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