变截面梁的微电镀研究  

Research on Micro-electroplating of Beam with Variable Cross-section

作　　者：刘益芳[1] 吕文龙[1] 孙道恒[1] 

机构地区：[1]厦门大学,厦门,361005 厦门大学,厦门,361005 厦门大学,厦门,361005

出　　处：《中国机械工程》2005年第z1期404-406,共3页China Mechanical Engineering

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50275127);福建省自然科学基金资助项目(A0110003);福建省科技计划资助项目(2002H022)

摘　　要：介绍了微电镀原理和设计了微电镀平台,设计了悬臂梁的微电镀工艺流程.为了提高镍微电镀镀层的均匀性和降低镀层的内应力,以及如何解决表面积差异悬殊的镀层厚度的一致性问题,研究了不同电镀参数下的悬臂梁的电镀效果.实验结果表明,脉冲电源电镀优于直流电源电镀,且在阴极前放置细铁丝网、适当降低电流密度、增大占空比、延长电镀时间可以提高镀层厚度的一致性和镀层表面的均匀性.

关 键 词：悬臂梁 变截面 微电镀 一致性 

分 类 号：TQ153.43[化学工程—电化学工业]