吕文龙

作品数：9被引量：28H指数：3
导出分析报告
供职机构：厦门大学更多>>
发文主题：微电铸悬臂梁谐振式压力传感器镍阳极键合更多>>
发文领域：化学工程电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《中国机械工程》《半导体技术》《功能材料与器件学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金福建省自然科学基金福建省科技计划重点项目福建省科技计划项目更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-9
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
多孔Ti基吸气剂的分子动力学仿真与性能表征
《真空科学与技术学报》2024年第12期1052-1058,共7页王天鹏 郑康 谷丹丹 吕文龙 宋运康 王凌云 
航空科学基金项目(NO.201908068004)。
吸气剂对维持MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)器件真空度起着至关重要的作用,目前常见的提升吸气剂性能的方法是在大比表面积的多孔支架上沉积吸气剂。为了验证多孔结构对提升吸气剂性能的突出作用,使用分子动力学仿真软件Lammp...
关键词：Ti基吸气剂 分子动力学模拟 多孔镍支架 热重法 定压法 
原位生长包/芯/包层界面的氧化硅基阵列波导光栅
《半导体技术》2018年第2期131-135,共5页吕文龙 张春权 吕金科 吕苗 
福建省工业高校产学合作项目(2014H6024)
阵列波导光栅（AWG）是密集波分复用光通信和芯片光谱仪中的核心芯片,提出了一种新的AWG制造方法,在制作芯层时采用原位生长包层/芯层/包层三明治结构,采用化学气相沉积（CVD）工艺原位生成芯层和上下包层的界面,避免了原来分别生长芯...
关键词：阵列波导光栅(AWG) 氧化硅 光波导 原位生长 包/芯/包层界面 
基于气浮喷射的MEMS封装中通孔的金属互联被引量：1
《厦门大学学报（自然科学版）》2014年第5期689-692,共4页吕文龙 占瞻 虞凌科 杜晓辉 王凌云 孙道恒 
国家自然科学基金(51105320)
在微机电系统(MEMS)圆片级封装中,通孔缺陷极有可能降低芯片与外界电互联的可靠性.采用气浮沉积的方法,在通孔底部沉积纳米银浆,形成低电阻的Ag/Al/Si欧姆接触结构,解决了电极间的电学连接问题.根据AJTM300气溶胶喷射系统的特点,选择50n...
关键词：圆片级封装 气浮沉积 金属互联 欧姆接触 纳米银浆 
全对称谐振式压力传感器结构设计与仿真分析被引量：6
《厦门大学学报（自然科学版）》2012年第3期353-359,共7页江毅文 杜晓辉 占瞻 徐布磊 吕文龙 王凌云 孙道恒 
国家自然科学基金项目(51035002;50875222);中央高校基本科研业务费专项资金项目(2010121039)
提出了一种基于侧向驱动的全对称谐振式压力传感器结构.谐振结构采用侧向梳齿电容驱动,既保证了驱动力的线性特性,又由于本身的空气阻尼为滑膜阻尼,可以取得较高的品质因子.另外,设计的差分电容结构能进一步提高器件的检测灵敏度.经过AN...
关键词：谐振式 压力传感器 灵敏度 品质因子 
PECVD淀积SiO_2的应用被引量：15
《功能材料与器件学报》2008年第1期33-37,共5页吕文龙 罗仲梓 何熙 张春权 
研究了PECVD腔内压力、淀积温度和淀积时间等工艺条件对SiO2薄膜的结构、淀积速率和抗腐蚀性等性能的影响。结果表明,利用剥离工艺,并采用AZ5214E光刻胶作为剥离掩模成功制作了约2μm厚的包裹在金属铝柱周围的SiO2隔热掩模。
关键词：PECVD SIO2 AZ5214E 剥离 
利用微电铸制作镍悬臂梁被引量：1
《厦门大学学报（自然科学版）》2005年第5期658-660,共3页刘益芳 崔宏巍 吕文龙 孙道恒 杨防祖 
国家自然科学基金(50275127)资助
为了设计出导电的Ni微变截面悬臂梁,采用了基于成熟的电镀技术的微电铸工艺.在分析悬臂梁的变截面结构和搭建微电铸试验平台之后,设计了整个工艺流程,利用近紫外线厚胶光刻、Ni微电铸、去除牺牲层等工艺实现了悬臂梁的制作.工艺实验结...
关键词：悬臂梁 微电铸 铸层 
微电铸及其在MEMS中的应用被引量：4
《厦门大学学报（自然科学版）》2005年第B06期316-318,共3页吕文龙 陈义华 孙道恒 
福建省自然科学基金(A0110003);福建省科技计划重点项目(2002H022)资助
研究了微电铸在MEMS结构层制造工艺中的可行性并搭建了微电铸实验系统,通过对不同Watts镍电解液的成分实验得到了一组性能较好的成分配比.通过晶种层材料的实验得出TiCu作为晶种层材料的优点.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中...
关键词：微电铸 应用 MEMS结构 实验系统 制造工艺 成分配比 镍电解液 脉冲电铸 设计要求 悬臂梁 结构层 陀螺仪 微机械 材料 晶种 驱动 方波 
变截面梁的微电镀研究
《中国机械工程》2005年第z1期404-406,共3页刘益芳 吕文龙 孙道恒 
国家自然科学基金资助项目(50275127);福建省自然科学基金资助项目(A0110003);福建省科技计划资助项目(2002H022)
介绍了微电镀原理和设计了微电镀平台,设计了悬臂梁的微电镀工艺流程.为了提高镍微电镀镀层的均匀性和降低镀层的内应力,以及如何解决表面积差异悬殊的镀层厚度的一致性问题,研究了不同电镀参数下的悬臂梁的电镀效果.实验结果表明,脉冲...
关键词：悬臂梁 变截面 微电镀 一致性 
表面微加工中镍的微电铸被引量：1
《中国机械工程》2005年第z1期407-409,共3页吕文龙 陈义华 孙道恒 
福建省自然科学基金资助项目(A0110003);福建省科技计划重点项目(2002H022)
介绍了微电铸工艺的基本原理以及脉冲电铸的特点.搭键了电铸实验系统,通过对Watts镍电解液的成分实验得到了一种性能较好的成分配比.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等MEMS结构,得到了一组较有价值...
关键词：微电铸 脉冲 表面微加工 镍 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部