谷丹丹

作品数：6被引量：13H指数：2
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供职机构：厦门大学更多>>
发文主题：微机电系统压力传感器液相分离式硅基更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术理学动力工程及工程热物理更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《真空科学与技术学报》《仪表技术与传感器》《化工学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”福建省科技计划重点项目中国博士后科学基金更多>>
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多孔Ti基吸气剂的分子动力学仿真与性能表征
《真空科学与技术学报》2024年第12期1052-1058,共7页王天鹏 郑康 谷丹丹 吕文龙 宋运康 王凌云 
航空科学基金项目(NO.201908068004)。
吸气剂对维持MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)器件真空度起着至关重要的作用,目前常见的提升吸气剂性能的方法是在大比表面积的多孔支架上沉积吸气剂。为了验证多孔结构对提升吸气剂性能的突出作用,使用分子动力学仿真软件Lammp...
关键词：Ti基吸气剂 分子动力学模拟 多孔镍支架 热重法 定压法 
一种高灵敏度无线压力传感器的研究被引量：3
《仪表技术与传感器》2017年第10期20-22,58,共4页杨龙 王凌云 谷丹丹 王丽英 
航空科学基金资助项目(20160868004;20160868005)
为解决压力传感器在密闭空间、高旋、生物体内等不适用引线的问题,设计了一种无线压力传感器。对传感器进行原理分析及结构设计,采用MEMS工艺对硅片及BF33进行加工,并搭建了谐振频率-压力测试平台,对传感器性能进行测试。压力测试范围为...
关键词：无线测试 LC谐振 MEMS 压力传感器 
电纺中电流行为及其在形貌控制中的应用
《微纳电子技术》2011年第5期305-310,共6页谷丹丹 王凌云 孙道恒 席文明 
国家自然科学基金重点项目(51035002/E0512)
根据质量守恒和电荷守恒定律,在分析溶液中电荷形成及电流传导的理论基础上推导了电纺电流与纺丝电压以及溶液流量之间所存在的幂指数数学关系,并通过实验验证了该结果的正确性。利用I-V转换电路所记录的实时纺丝电流和纺丝结果的形貌对...
关键词：静电纺丝 电纺电流 电纺电压 形貌 反馈控制 
超声技术在硅湿法腐蚀中的应用被引量：8
《光学精密工程》2009年第1期166-171,共6页曾毅波 王凌云 谷丹丹 孙道恒 
国家自然科学基金资助项目(No.50675184);福建省科技计划重点项目(No.2002H022);回国留学人员基金资助项目;厦门大学新世纪优秀人才基金资助项目
为了获得平滑的硅湿法腐蚀表面，在硅湿法腐蚀中引入超声技术。对超声湿法腐蚀系统进行了改进，以确保腐蚀溶液的顶部和底部温差在0．5℃之内。采用60℃，10％质量分数的KOH溶液，在超声频率为59kHz，超声功率为60～180w（间隔10W）条...
关键词：湿法腐蚀 超声技术 表面粗糙度 激光共聚焦扫描显微镜 微机电系统 
红外微腔探测器中金属支撑柱的制备工艺研究
《厦门大学学报（自然科学版）》2008年第2期169-171,共3页何熙 陈松岩 方辉 罗仲梓 谷丹丹 
国家自然科学基金(60576001,50672079,60676027)资助
基于一般正胶光刻工艺的剥离工艺，所需胶膜的厚度要大大超过剥离薄膜的厚度.这样在剥离线宽小、厚度大的微腔结构探测器的金属互连柱图形时就会存在光刻分辨率低、剥离难的问题.本文重点研究了基于AZ5214E光刻胶图像反转性能的剥离工...
关键词：微互连柱 AZ5214E 反转 剥离 
微机电系统中的矩形通道内微气泡控制生长被引量：2
《化工学报》2007年第1期54-60,共7页董涛 杨朝初 毕勤成 张玉龙 谷丹丹 张春权 
国家自然科学基金项目(50406019);中国博士后科学基金项目(2004035669);江苏省博士后科学研究资助计划项目(苏人通2004[计]300号)~~
采用微机电系统(MEMS)硅加工工艺,设计、加工出了6种不同规格的实验用微气泡控制生长MEMS器件;构建了MEMS器件中微气泡控制生长实验系统并完成了实验,讨论了热负荷、微加热元宽度、微通道截面参数、工质流速及物性参数等对微气泡生长的...
关键词：微机电系统 微流体相变 微气泡生长 微小有限空间 矩形微通道 
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