徐布磊

作品数：1被引量：6H指数：1
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供职机构：厦门大学物理与机电工程学院更多>>
发文主题：压力传感器灵敏度谐振式压力传感器谐振式全对称更多>>
发文领域：自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《厦门大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家自然科学基金更多>>
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全对称谐振式压力传感器结构设计与仿真分析被引量：6
《厦门大学学报（自然科学版）》2012年第3期353-359,共7页江毅文 杜晓辉 占瞻 徐布磊 吕文龙 王凌云 孙道恒 
国家自然科学基金项目(51035002;50875222);中央高校基本科研业务费专项资金项目(2010121039)
提出了一种基于侧向驱动的全对称谐振式压力传感器结构.谐振结构采用侧向梳齿电容驱动,既保证了驱动力的线性特性,又由于本身的空气阻尼为滑膜阻尼,可以取得较高的品质因子.另外,设计的差分电容结构能进一步提高器件的检测灵敏度.经过AN...
关键词：谐振式 压力传感器 灵敏度 品质因子 
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