集成Pt电极电化学微流控芯片制作工艺研究  

Fabrication of Electrochemical Microfluidic Chip Integrated Pt Micro Electrode

作　　者：罗怡[1] 刘冲[1] 刘军山[1] 徐敏[1] 

机构地区：[1]大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116024 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116024 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116024 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116024

出　　处：《中国机械工程》2005年第z1期94-95,共2页China Mechanical Engineering

基　　金：国家863高技术研究发展计划资助项目(2004AA404260);辽宁省博士启动基金资助项目(20041073)

摘　　要：研究了一种集成Pt电极的安培型电化学微流控芯片的制备方法.在清洗后的SODA-LIME玻璃上涂敷正性光刻胶光刻,显影后开窗于微电极图形部分,利用射频溅射台溅射Pt后,采用剥离的方法得到Pt微电极.在另一玻璃基片上采用湿法腐蚀的方法得到微通道.微电极与微通道出口的对准工艺在自行研制的立体显微镜下完成,对准后的芯片在马弗妒中热键合,获得集成Pt电极的玻璃电化学微流控芯片.

关 键 词：电化学 微流控芯片 剥离工艺 

分 类 号：O657.8[理学—分析化学]